JP6084119B2 - クライオポンプ - Google Patents
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Description
P=at(1−t)/(t(1−a)+a)
捕捉確率aは吸着領域の性能を表す定数である。したがって、上式は、吸着クライオパネル構造の排気確率Pと吸着クライオパネル2の通過確率tとの関係を表す。
Claims (6)
- シールド開口および前記シールド開口に対向するシールド底部を有する放射シールドと、
前記放射シールドに囲まれ、前記シールド開口から前記シールド底部へと向かう方向に沿って配列された複数のクライオパネルの配列と、を備え、
前記複数のクライオパネルの配列は、
前記シールド開口に向けられ非凝縮性気体の入射を受けるトップパネル前面と、前記シールド底部に向けられ非凝縮性気体の吸着領域を備えるトップパネル背面と、を備え、前記シールド開口に最も近接する吸着トップパネルと、
前記トップパネル背面に対向する非凝縮性気体の反射面を備え、前記吸着トップパネルの直下に隣接する反射クライオパネルと、
両面に非凝縮性気体の吸着領域を備え、前記反射クライオパネルの下方に位置する少なくとも1つの吸着クライオパネルと、を備え、
前記吸着トップパネルは、前記トップパネル前面から前記トップパネル背面へと貫通する多数の穴を有することを特徴とするクライオポンプ。 - 前記放射シールドを第1冷却温度に冷却し、前記複数のクライオパネルの配列を前記第1冷却温度より低い第2冷却温度に冷却するよう構成されている冷凍機を備えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記吸着トップパネルは、10%以上70%以下の非凝縮性気体の通過確率を有することを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記吸着トップパネルと前記反射クライオパネルとの距離が前記多数の穴の穴幅以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記多数の穴の穴幅が20mm以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記反射クライオパネルの前記反射面には非凝縮性気体の吸着領域が存在せず、
前記反射クライオパネルは、前記シールド底部に向けられ非凝縮性気体の吸着領域を備える反射クライオパネル背面を備え、前記反射面から前記反射クライオパネル背面へと貫通する多数の穴を有することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
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