JP6806583B2 - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6806583B2 JP6806583B2 JP2017020092A JP2017020092A JP6806583B2 JP 6806583 B2 JP6806583 B2 JP 6806583B2 JP 2017020092 A JP2017020092 A JP 2017020092A JP 2017020092 A JP2017020092 A JP 2017020092A JP 6806583 B2 JP6806583 B2 JP 6806583B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- cryopump
- top cryopanel
- flat plate
- accommodating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
- F04B39/06—Cooling; Heating; Prevention of freezing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
- F04B37/085—Regeneration of cryo-pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2210/00—Working fluid
- F05B2210/10—Kind or type
- F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Claims (6)
- 高温冷却ステージおよび低温冷却ステージを備える冷凍機と、
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口から軸方向に筒状に延在する放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部であって、前記クライオポンプ吸気口に最も近接して配置されたトップクライオパネルを含む軸方向に配列された複数のクライオパネルを備える低温クライオパネル部と、
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、前記クライオポンプ吸気口に配置されトップクライオパネル収容区画を形成するトップクライオパネル収容クライオパネルと、を備え、
前記トップクライオパネル収容クライオパネルは、前記トップクライオパネルの上面に対向する中心平板と、前記中心平板に対し軸方向下向きかつ径方向外向きに傾斜してまたは前記中心平板に対し軸方向下向きに垂直に、前記中心平板の外周から延在し、トップクライオパネルの外周を全周にわたって囲む外周部と、を備え、
前記トップクライオパネル収容区画は、前記トップクライオパネル収容クライオパネルの前記中心平板と前記外周部により定まる円すい台状または円筒状の空間であることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記トップクライオパネル収容クライオパネルは、前記クライオポンプの外から前記トップクライオパネルへのガス分子の直接の入射を完全に遮蔽するように前記トップクライオパネルに近接配置されていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記トップクライオパネル収容クライオパネルの前記外周部は、前記中心平板に対し軸方向下向きかつ径方向外向きに傾斜して前記中心平板の外周から延在し、前記トップクライオパネルの外周を全周にわたって囲む下方傾斜部であり、
前記トップクライオパネル収容区画は、前記中心平板と前記下方傾斜部により定まる円すい台状の空間であることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。 - 前記低温クライオパネル部の前記複数のクライオパネルは、前記トップクライオパネルの軸方向下方に隣接配置された隣接クライオパネルを含み、前記隣接クライオパネルは、前記トップクライオパネルの下面に対向するクライオパネル中心部と、前記クライオパネル中心部に対し軸方向上向きかつ径方向外向きに傾斜して前記クライオパネル中心部の外周から延在する上方傾斜部と、を備え、
前記隣接クライオパネルの前記上方傾斜部は、前記トップクライオパネル収容クライオパネルの下方傾斜部に沿って周方向に延在し、
前記トップクライオパネル収容区画へのリング状入口が、前記上方傾斜部と前記下方傾斜部との間に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記低温クライオパネル部の前記複数のクライオパネルのうち前記トップクライオパネルのみが、前記トップクライオパネル収容区画に収容されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記トップクライオパネルは、平板であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017020092A JP6806583B2 (ja) | 2017-02-07 | 2017-02-07 | クライオポンプ |
TW107101986A TWI682101B (zh) | 2017-02-07 | 2018-01-19 | 低溫泵 |
PCT/JP2018/003573 WO2018147181A1 (ja) | 2017-02-07 | 2018-02-02 | クライオポンプ |
CN201880008074.6A CN110234878B (zh) | 2017-02-07 | 2018-02-02 | 低温泵 |
KR1020197021086A KR102342229B1 (ko) | 2017-02-07 | 2018-02-02 | 크라이오펌프 |
US16/533,117 US11512687B2 (en) | 2017-02-07 | 2019-08-06 | Cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017020092A JP6806583B2 (ja) | 2017-02-07 | 2017-02-07 | クライオポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018127914A JP2018127914A (ja) | 2018-08-16 |
JP6806583B2 true JP6806583B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=63108165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017020092A Active JP6806583B2 (ja) | 2017-02-07 | 2017-02-07 | クライオポンプ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11512687B2 (ja) |
JP (1) | JP6806583B2 (ja) |
KR (1) | KR102342229B1 (ja) |
CN (1) | CN110234878B (ja) |
TW (1) | TWI682101B (ja) |
WO (1) | WO2018147181A1 (ja) |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4718241A (en) * | 1985-10-31 | 1988-01-12 | Helix Technology Corporation | Cryopump with quicker adsorption |
US5001903A (en) * | 1987-01-27 | 1991-03-26 | Helix Technology Corporation | Optimally staged cryopump |
US4791791A (en) * | 1988-01-20 | 1988-12-20 | Varian Associates, Inc. | Cryosorption surface for a cryopump |
US4815303A (en) * | 1988-03-21 | 1989-03-28 | Duza Peter J | Vacuum cryopump with improved first stage |
US5211022A (en) * | 1991-05-17 | 1993-05-18 | Helix Technology Corporation | Cryopump with differential pumping capability |
JP3309229B2 (ja) * | 1992-07-16 | 2002-07-29 | アルバック・クライオ株式会社 | ターボ分子ポンプ付クライオポンプ装置 |
JPH10213065A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Nec Kyushu Ltd | 可変バッフル型クライオポンプ |
JPH11343972A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
US7313922B2 (en) * | 2004-09-24 | 2008-01-01 | Brooks Automation, Inc. | High conductance cryopump for type III gas pumping |
JP4430042B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2010-03-10 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよび半導体製造装置 |
US20090038319A1 (en) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopanel and Cryopump Using the Cryopanel |
US20100011784A1 (en) * | 2008-07-17 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump louver extension |
JP5527110B2 (ja) * | 2010-08-27 | 2014-06-18 | アイシン精機株式会社 | クライオポンプ |
JP5460644B2 (ja) | 2011-05-12 | 2014-04-02 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP6013886B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-10-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP6057782B2 (ja) * | 2013-03-05 | 2017-01-11 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP6084119B2 (ja) * | 2013-05-27 | 2017-02-22 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
KR102438453B1 (ko) * | 2014-03-21 | 2022-08-30 | 에드워즈 배큠 엘엘시 | 극저온펌프 하이브리드 정면 어레이 |
-
2017
- 2017-02-07 JP JP2017020092A patent/JP6806583B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-19 TW TW107101986A patent/TWI682101B/zh active
- 2018-02-02 WO PCT/JP2018/003573 patent/WO2018147181A1/ja active Application Filing
- 2018-02-02 KR KR1020197021086A patent/KR102342229B1/ko active IP Right Grant
- 2018-02-02 CN CN201880008074.6A patent/CN110234878B/zh active Active
-
2019
- 2019-08-06 US US16/533,117 patent/US11512687B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI682101B (zh) | 2020-01-11 |
CN110234878A (zh) | 2019-09-13 |
TW201829915A (zh) | 2018-08-16 |
JP2018127914A (ja) | 2018-08-16 |
CN110234878B (zh) | 2020-09-22 |
KR20190109411A (ko) | 2019-09-25 |
KR102342229B1 (ko) | 2021-12-21 |
WO2018147181A1 (ja) | 2018-08-16 |
US11512687B2 (en) | 2022-11-29 |
US20190360478A1 (en) | 2019-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6710604B2 (ja) | クライオポンプ | |
US11644024B2 (en) | Cryopump | |
US11828521B2 (en) | Cryopump | |
WO2018147187A1 (ja) | クライオポンプ | |
WO2020049917A1 (ja) | クライオポンプ | |
JP6806583B2 (ja) | クライオポンプ | |
US10550830B2 (en) | Cryopump | |
JP6857046B2 (ja) | クライオポンプ | |
WO2023145296A1 (ja) | クライオポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200609 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6806583 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |