JP6871751B2 - クライオポンプ - Google Patents
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Description
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口から軸方向に筒状に延在する放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部であって、複数のクライオパネルと、軸方向に柱状に配列された複数の伝熱体と、を備え、前記複数のクライオパネルおよび前記複数の伝熱体が軸方向に積み重ねられている低温クライオパネル部と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
Claims (13)
- 高温冷却ステージおよび低温冷却ステージを備える冷凍機と、
前記高温冷却ステージに熱的に結合され、クライオポンプ吸気口から軸方向に筒状に延在する放射シールドと、
前記低温冷却ステージに熱的に結合され前記放射シールドに囲まれた低温クライオパネル部と、を備え、
前記低温クライオパネル部の上部構造は、前記クライオポンプ吸気口と前記低温冷却ステージとの間で軸方向に配列された複数の上部クライオパネルと、軸方向に柱状に配列された複数の伝熱体と、を備え、各上部クライオパネルが金属で形成され、各伝熱体が金属で形成され、前記複数の上部クライオパネルおよび前記複数の伝熱体が前記上部構造の中心部で軸方向に積み重ねられ、
前記低温クライオパネル部の下部構造は、複数の下部クライオパネルと、前記低温冷却ステージから軸方向下方に延びているパネル取付部材と、を備え、前記複数の下部クライオパネルが前記パネル取付部材を介して前記低温冷却ステージに取り付けられていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記上部クライオパネルは、第1金属で形成され、前記伝熱体は、第2金属で形成され、前記第1金属は、前記第2金属と異なることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記第1金属は、第1の熱伝導率を有し、前記第2金属は、第2の熱伝導率を有し、前記第2の熱伝導率は、前記第1の熱伝導率より小さいことを特徴とする請求項2に記載のクライオポンプ。
- 前記複数の上部クライオパネルは、第1の熱容量を有し、前記複数の伝熱体は、第2の熱容量を有し、前記第2の熱容量は、前記第1の熱容量より小さいことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記複数の伝熱体は、軸方向に円柱状に配列され、前記複数の伝熱体の各々が円形状端面を有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 少なくとも1つの上部クライオパネルは、伝熱体の円形状端面に相当する大きさの中心円盤と、前記中心円盤から前記クライオポンプ吸気口に向けて傾斜した円錐状クライオパネル面と、を備えることを特徴とする請求項5に記載のクライオポンプ。
- 少なくとも1つの上部クライオパネルは、伝熱体の円形状端面より大径の平坦円盤であることを特徴とする請求項5または6に記載のクライオポンプ。
- 前記低温クライオパネル部の上部構造は、前記複数の上部クライオパネルおよび前記複数の伝熱体を軸方向に貫通する締結部材を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記伝熱体の中心部は固形物とされていることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記低温クライオパネル部の上部構造は、上部クライオパネルと伝熱体との間に介在層を備えることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記伝熱体の外径は、前記上部クライオパネルの外径の1/2より小さく、1/10より大きいことを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記複数の上部クライオパネルおよび前記複数の伝熱体は、クライオポンプ中心軸上に配置され、前記低温冷却ステージは、前記クライオポンプ中心軸から外れて配置されている請求項1から11のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記複数の上部クライオパネルおよび前記複数の伝熱体は、前記クライオポンプ中心軸に垂直な方向に延在する伝熱ブロックにより前記低温冷却ステージに固定されている請求項12に記載のクライオポンプ。
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