JP6077023B2 - 静電気除去装置及び静電気除去方法 - Google Patents

Description

本発明は、静電気除去装置及び静電気除去方法に関する。

従来、液晶パネル、有機ＥＬパネル、半導体、精密電子部品など、静電気による放電現象によって破壊される虞れのあるワークを、ワーク固定用テーブルから分離する際に、イオナイザからのイオン風（イオン化気体）をワークの上面に吹き付けて、静電気（剥離帯電）による放電現象を防止する静電気除去装置及び静電気除去方法があった（例えば、特許文献１参照）。

特開平７−３１２３３７号公報

図10に示すように、従来は、分離する際に、イオナイザ92からのイオン風をワークＷの表て面Ｗａに吹き付けて、除電を行っていたが、イオン風のイオンはワークＷの表て面Ｗａに付着するため、固定用テーブル91からワークＷを剥離した瞬間に、ワークＷの裏面Ｗｂに発生する電荷（図10においてプラス電荷）と、固定用テーブル91の表て面91ａに発生する電荷（図10においてマイナス電荷）とを、中和することは困難で、ワークＷと固定用テーブル91の間で放電現象が起こるという虞れがあった。
また、イオン風によって、ワークＷの表て面Ｗａと裏面Ｗｂとが電気的に中和しているように見えるが、実際は、ワークＷの表て面Ｗａに、電荷（図10においてマイナス電荷）がたまった状態となる。この状態で、浮遊粉塵等の異物がワークＷの表て面Ｗａに落下して、その電荷と接触すると、電荷の電界によるクーロン力が異物を吸着させてしまうといった問題があった。

そこで、本発明は、静電気によるワークと固定用テーブルとの間の放電現象を確実に防止できると共に、異物の吸着を防止可能な静電気防止装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の静電気除去装置は、裏面が平滑面状のワークが載置された固定用テーブルの表て面から上記ワークを分離する際に発生する静電気を除去する静電気除去装置に於て、上記表て面から上記ワークを分離するための分離手段は、リフトピンと、電動アクチュエータと、該電動アクチュエータと上記リフトピンとを連結する連結部材と、を備え、上記固定用テーブルの裏面側に配設された上記連結部材に、上記イオナイザを設け、かつ、該イオナイザは、上記固定用テーブルに貫設された孔に挿通可能なイオン風噴出用円筒状のノズル、及び、該ノズルの下部に配設される電極針を備え、上記表て面から上記ワークを分離する際に、ワーク分離速度と同一速度をもって上記孔に挿通される上記ノズルの下部に配設された上記電極針から交互に発生するプラスイオンとマイナスイオンを、上記イオン風として、上記表て面と上記ワークの裏面との間に形成される間隙空間部に噴出させるように構成したものである。

また、本発明の静電気除去方法は、裏面が平滑面状のワークが載置された固定用テーブルの表て面から上記ワークを分離する際に発生する静電気を除去する静電気除去方法に於て、上記表て面から上記ワークを分離するための分離手段として、リフトピンと、電動アクチュエータと、該電動アクチュエータと上記リフトピンとを連結する連結部材と、を設け、上記固定用テーブルの裏面側に配設した上記連結部材に、上記イオナイザを設け、かつ、該イオナイザに、上記固定用テーブルに貫設された孔に挿通可能なイオン風噴出用円筒状のノズルを設けると共に、該ノズルの下部に、電極針を設け、上記表て面から上記ワークを分離する際に、ワーク分離速度と同一速度をもって上記ノズルを上記孔に挿通させ、該孔を挿通する上記ノズルの下部に配設されている上記電極針から交互にプラスイオンとマイナスイオンを発生させて、イオン風として、上記表て面と上記ワークの裏面との間に形成される間隙空間部に噴出させる方法である。
または、裏面が平滑面状のワークを保持するための固定用テーブルに孔を貫設して、上記固定用テーブルから上記ワークを分離する際に発生する静電気を防止するためのイオナイザを、上記固定用テーブルの裏面側に配設し、上記固定用テーブルから上記ワークを分離する際に、上記イオナイザからのイオン風を、上記孔を介して、上記固定用テーブルの上記表て面と上記ワークの裏面との間に形成される間隙空間部に噴出させ、上記固定用テーブルから第１所定分離距離までの範囲において上記ワークが分離する際の分離速度が、第１所定分離距離を越え第２所定分離距離までの範囲において上記ワークが分離する際の分離速度よりも遅くなるように、上記固定用テーブルから上記ワークを分離させる方法である。

本発明によれば、剥離帯電によってワークの裏面と固定用テーブルの表て面に発生する電荷を完全に中和することができ、放電現象によるワークの破壊を確実に防止できる。狭い間隙空間部を利用して、イオン濃度を大きく低下させずに、剥離帯電が発生している二面に対して、イオン風を素早く当てることで、効率良く除電（中和）を行うことができる。特に、固定用テーブルからワークを分離した瞬間に除電でき、放電の危険を防ぎ得る。１本の電極針で除電可能な範囲が広くなって、装置の簡素化を実現できる。電荷による異物吸着を確実に防止でき、除塵ヘッド等の洗浄機による異物除去効果を向上させることができる。

本発明の静電気防止装置の実施の一形態を示す断面正面図である。 平面図である。 分離距離と分離速度の関係を示すグラフ図である。 分離した瞬間の状態を示す断面正面図である。 分離した瞬間の状態を示す断面正面図である。 分離完了直後の状態を示す断面正面図である。 分離回数と帯電量の関係を示すグラフ図である。 実施例の作用を説明するための平面図であって、（ａ）は除塵前のワークの表て面を示す平面図であり、（ｂ）は除塵後のワークの表て面を示す平面図である。 従来例の問題点を説明するための平面図であって、（ａ）は除塵前のワークの表て面を示す平面図であり、（ｂ）は除塵後のワークの表て面を示す平面図である。 従来技術を説明するための断面正面図である。 ワークが撓む場合を説明するための断面正面図である。 他の実施形態の断面正面図である。 他の実施形態の要部拡大断面図である。 他の実施形態の分離開始状態を示す断面正面図である。

以下、図示の実施形態に基づき本発明を詳説する。
本発明に係る静電気除去装置は、図１に示すように、裏面Ｗｂが平滑面状のワーク（基材）Ｗを保持（載置）するための固定用テーブル１と、図示省略するがワークＷの裏面Ｗｂと固定用テーブル１の表て面１ａを密着させて固定するためのワーク固定手段と、ワーク固定手段による固定が解除された後に固定用テーブル１の表て面１ａとワークＷの裏面Ｗｂとを分離させるための分離手段（剥離手段）３と、分離手段３にて固定用テーブル１からワークＷを分離させる際に発生する静電気を防止するためのイオナイザ（除電器）２と、を備えている。

イオナイザ２は、プラスイオンとマイナスイオンを交互に発生させるための電極針21と、パージエアやキャリアガス等の搬送気体を吐出する吐出口22と、を有し、さらに、発生させたイオンを搬送気体と共にイオン風（イオン気体流とも呼ばれる）として噴出させる円筒状（煙突状）のノズル20を有している。

そして、イオナイザ２を、固定用テーブル１の裏面１ｂ（ワークＷの裏面Ｗｂ）側に設けている。
分離前の状態で、ノズル20の先端20ａを、固定用テーブル１に貫設したノズル用の孔11に挿入して配設している。
また、図２に示すように、ノズル20の先端20ａは、平面視で格子状（格子の交点状）に配設し、１つのワークＷ及び固定用テーブル１に複数のイオナイザ２を対応させている。なお、ノズル20及び孔11は、平面視で千鳥状に配設しても良い。要するに、散点状に配設されている。

分離手段３は、固定用テーブル１の表て面１ａに対して先端部31ａが出没自在に設けられた複数のリフトピン31，31と、複数のリフトピン31を駆動（昇降）させるための電動アクチュエータ32と、リフトピン31と電動アクチュエータ32を連結する連結部材33と、を備えている。
分離前の状態で、リフトピン31の先端部31ａを、固定用テーブル１に貫設したリフトピン用の貫通孔12に挿入して配設している。
分離手段３は、電動アクチュエータ32の直線運動によって、リフトピン31の先端部31ａを固定用テーブル１の表て面１ａから突出させ、固定用テーブル１に載置したワークＷの裏面Ｗｂに当接させて、ワークＷの裏面Ｗｂを水平面状に保持しつつ分離（剥離）させる。

そして、イオナイザ２を、上記連結部材33に取着して、リフトピン31及び電動アクチュエータ32と連結し、リフトピン31と連動するように設け、イオナイザ２が、リフトピン31の移動方向へ、リフトピン上昇速度と同一速度をもって上昇するように構成している。
つまり、イオナイザ２が、ワーク分離方向へ、ワーク分離速度と同一速度をもって移動し、リフトピン31が突出しワークＷの裏面Ｗｂが固定用テーブル１の表て面１ａから離間しても、ノズル20の先端20ａと、ワークＷの裏面Ｗｂの間の間隔寸法Ｓが一定に保持されるように構成している。

さらに、固定用テーブル１からワークＷを離間させる際の分離速度を制御するためのＣＰＵやシーケンサ、コンピュータ等の制御部５を備えている。
制御部５は、電動アクチュエータ32に電気的に接続され、図３に実線又は二点鎖線で示すように、固定用テーブル１の表て面１ａから第１所定分離距離Ｈａまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度が、第１所定分離距離Ｈａを越え第２所定分離距離Ｈｂまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度よりも遅くなるように、分離手段３を制御するものである。
言い換えると、固定用テーブル１の表て面１ａから第１所定分離距離Ｈａまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度が、基準分離速度Ｕａ以下になるように制御し、第１所定分離距離Ｈａを越え第２所定分離距離Ｈｂまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度を、基準分離速度Ｕａよりも速くなるように制御するものである。

固定用テーブル１の表て面１ａから分離終了状態のワークＷの裏面Ｗｂまでの距離を分離終了距離Ｈｅとすると、第１所定分離距離Ｈａは、分離終了距離Ｈｅの１％以上３５％以下の値、好ましくは１％以上２０％以下の値とし、第２所定分離距離Ｈｂは、分離終了距離Ｈｅの７０％以上１００％以下の値とするのが望ましい。

図示省略のワーク固定手段は、固定用テーブル１の表て面に開口する吸着孔と、吸着孔を介してワークＷを負圧吸引して固定するための吸引ポンプ（真空ポンプ）及び吸引路や吸引配管等である吸引固定装置、或いは、ワークＷを押さえる機械式クランプ装置等、ワークＷの裏面Ｗｂを固定用テーブル１の表て面１ｂに接触（密着）させて固定可能であれば良い。あるいは、ワーク固定手段を省略しても良い場合もある。

また、ワークＷは、半導体、液晶パネル、有機ＥＬパネル、ＩＣパッケージ、ＣＭＯＳセンサ等の精密電子部品、ガラス基板等のような、固定用テーブル１の表て面１ａから分離する際に、剥離帯電によって帯電する虞れのある部材である。

次に、本発明に係る静電気除去方法及び静電除去装置の使用方法（作用）について説明する。
先ず、固定用テーブル１に孔11を貫設すると共にイオナイザ２にノズル20を設ける。
そして、イオナイザ２を、固定用テーブル１の裏面１ｂ側に配設すると共にノズル20の先端20ａを孔11に配設する。また、リフトピン31の先端部31ａを貫通孔12に配設する。

次に、固定用テーブル１の表て面１ａにワークＷの裏面Ｗｂを接触するように載置し、ワーク固定手段により固定用テーブル１にワークＷを固定する。
ワークＷに表面処理剤の塗布や密着強化剤の塗布、或いは、ワークＷと他部材との結合、熱処理等の所定の作業工程を行う。
そして、所定の作業工程後に、ワーク固定手段によるワークＷの固定を解除する。

ワーク固定解除後に、ワークＷの洗浄や搬送等の次の所定の作業工程を行うために、リフトピン31を上昇（分離手段３を作動）させ、固定用テーブル１の表て面１ａからワークＷの裏面Ｗｂを分離させる。

ここで、図１に示すように、分離手段３にてワークＷを分離する直前（分離開始の数秒前）に、イオナイザ２を起動させ、マイナスイオン及びプラスイオンの発生を開始する（除電分離工程開始）。

図４に示すように、分離が開始されると、固定用テーブル１の表て面１ａとワークＷの裏面Ｗｂとの間の間隙空間部Ｊに、孔11を介して、イオン風が噴出される。
分離すると直ぐに、剥離帯電により、固定用テーブル１がマイナス帯電すると共にワークＷがプラス帯電する（ワークＷの裏面Ｗｂにプラス電荷が存在すると共に固定用テーブル１の表て面１ａにマイナス電荷が存在する）。このまま分離を進めると、放電現象が起こり、ワークＷが破壊される虞れがある。
ところが、図４乃至図５に示すように、分離開始から、瞬間的に（分離開始から０．１秒以内に）、ワークＷの裏面Ｗｂに存在するプラス電荷と、固定用テーブル１の表て面１ａに存在するマイナス電荷を、イオン風のプラスイオン及びマイナスイオンによって完全に中和し、放電現象を防止する。

また、固定用テーブル１からワークＷを分離する際に（除電分離工程において）、イオン風は、ワークＷの裏面Ｗｂにノズル20によって吹き付けられ、ワークＷに沿って流れる。図２に一点鎖線で示す円のように、イオン風をノズル20を中心とした円形に拡散させて流す。
例えば、ワークＷの表て面Ｗａに向けてイオン風を吹き付ける従来の場合は、電極針21を５０〜１００ｍｍ間隔で配設して除電を行う必要があったが、本発明の装置及び方法では、１本の電極針21で、半径２００〜３００ｍｍの除電を行うことができ、ワークＷの単位面積あたりに必要な電極針21の本数を少なくできる。

また、固定用テーブル１からワークＷを分離する際に、ノズル20の先端20ａとワークＷの裏面Ｗｂの間の間隔寸法Ｓを一定に保持するように、孔11にノズル20を挿通させて、ノズル20の先端20ａを間隙空間部Ｊに侵入させつつ、イオン風の吹き付けを行う。
ワークＷの裏面Ｗｂに吹き付けられるイオン量（濃度）が安定し、確実に除電効果が得られる。なお、図４及び図５は、間隙空間部Ｊや間隔寸法Ｓを実際よりも大きく図示している。

さらに、固定用テーブル１から第１所定分離距離Ｈａまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度を、基準分離速度Ｕａ以下の速度にする。
間隙空間部Ｊが急激に広くならず、イオン密度（濃度）の急激な低下や、イオンの拡散速度の急激な低下を防止し、除電効果が効率良く行われる。

第１所定分離距離Ｈａを越えると、第２所定分離距離Ｈｂ（又は、分離終了距離Ｈｅ）まで、分離速度を基準分離速度Ｕａよりも速くして、生産効率（生産速度）を向上させる。

そして、図６に示すように、ワークＷが分離終了距離Ｈｅまで分離すると、イオナイザ２の作動を停止する（除電分離工程終了）。
ワークＷの表て面Ｗａ及び裏面Ｗｂに、剥離帯電による電荷が無く、ワークＷの表て面Ｗａにイオン風による電荷（イオン）が大量に蓄積されず、浮遊粉塵等の異物が落下してワークＷの表て面Ｗａに乗っても、電荷接触による吸着が無く、除塵ヘッド７等の洗浄機による異物除去効果を向上させることができる。

ここで、図７に、分離毎に分離完了状態でのワークＷの帯電量を測定した比較試験結果のグラフ図を示す。
イオナイザ２を起動させずに固定用テーブル１に対してワークＷを接触・分離を繰り返した比較例をバツ（×）印で示し、本発明に係る実施例（図１乃至図６参照）を黒丸（●）印で示し、図10に示すようにイオナイザ92をワークＷの表て面Ｗａに吹き付けるように構成した従来例を三角（△）印で示している。ワークＷはガラス基板とした。

図７から明らかなように、比較例（×印）は、イオナイザ２を起動していないため、１回目の分離で帯電量が最も少ないが、ワークＷが電気的に中和されておらず、静電気による放電現象が発生する虞れがある。さらに、分離回数が増えるにつれて、帯電量が増加している。
従来例（△印）は、イオナイザ92により電気的に中和されているように見えるが、イオナイザ92からのイオンがワークＷの表て面Ｗａに蓄積されるため、帯電量が多くなっている。つまり、浮遊粉塵等の異物が吸着する虞れが高いと言える。
実施例（●印）は、イオナイザ２により電気的に中和され、分離を繰り返し行っても、比較例及び従来例に比べて帯電量が非常に少なく、異物吸着の虞れが殆ど無いと言える。

図８（ａ）に示すように、実施例は、帯電量が少ないため、分離完了状態で、ワークＷの表て面Ｗａに異物が落下しても電荷による吸着が発生せず（付着力が弱く）、除塵ヘッド７にて除塵を行うと、図８（ｂ）に示すように、きれいに除塵できる。
しかし、従来例や比較例のように帯電量が多いと、図９（ａ）に示すように、ワークＷの表て面Ｗａに無数の異物が吸着する。そして、除塵ヘッド７（図６参照）を走行させて除塵を行っても、電荷による吸着力が強く、図９（ｂ）に示すように、異物が波模様（縞模様）のように残存し、除塵ヘッド７の性能を十分に発揮できていない。
なお、除塵ヘッド７は、ワークＷに平行に走行し、ワークＷの表て面Ｗａに向かって、エアを噴出し、異物をワークＷから剥離させ、エアと異物を吸引ノズルから吸入して除塵を行うものである。また、図８及び図９において異物を実際よりも大きく図示している。

ここで、図11に示すように、ワークＷが薄いガラス板や薄いプラスチック板のように剛性の小さく撓みやすい部材の場合、リフトピン31にて押し上げた部位から分離（剥離）が始まり、ノズル20の先端20ａ近傍の分離が始まらず（図11に示すＹの区域が密着状態のままとなり）、イオン風が直ぐに分離開始部位（リフトピン31の先端部31ａ近傍）Ｑに流れず静電気を防止できない場合がある。
そこで、図12乃至図14に示す他の実施形態では、ノズル20を、リフトピン31と兼用している。
図13に示すようにノズル20は、先端部20ｄが丸山状（球頭状）に形成され、丸山の裾部20ｅにイオン風が噴出する噴出孔20ｆを開口している。噴出孔20ｆは、ノズル20の軸心廻りに複数設けられ、斜め上方へ開口するように設けている。頂部（先端）20ａがワークＷに当接しても噴出孔20ｆが塞がれず確実にイオン風を噴出でき、かつ、ワークＷの裏面Ｗｂに沿ってイオン風が薄い膜状（平面状）に拡散しつつ流れる。

図14に示すように、ノズル20を固定用テーブル１の孔11に挿入し、ノズル20の先端部20ｄでワークＷの裏面Ｗｂを押し上げて、固定用テーブル１から分離させつつイオン風を噴出させる。ワークＷが撓みやすい部材であっても、ノズル20の先端20ａがワークＷの裏面Ｗｂに当接して、ワークＷの裏面Ｗｂと固定用テーブル１の表て面１ａの間の分離開始部位Ｑにイオン風を送り静電気を防止できる。さらに、図４乃至図６を用いて説明したように、間隙空間部Ｊにイオン風を噴出させて、静電気を防止する。ところで、図11，図12，図14に於ては、（図１，図４，図５等に示した）プラス電荷，マイナス電荷の図示を省略している。

なお、本発明は、設計変更可能であって、固定用テーブル１は、表て面１ａが、傾斜状や垂直面状のものであっても良い。つまり、図示のようにワークＷが上下方向に分離するものに限らず、水平方向に分離するものであっても良い。分離手段３はリフトピン31を用いたものに限らず、負圧吸引部材を吸盤部材をワークＷに吸着させて、ワークＷを分離させる構造とするも良い。

以上のように本発明の静電気除去装置は、裏面Ｗｂが平滑面状のワークＷを固定用テーブル１の表て面１ａから分離手段３で分離する際に発生する静電気を防止するためのイオナイザ２を、固定用テーブル１の裏面１ｂ側に設け、固定用テーブル１に貫設した孔11を介して、イオナイザ２からのイオン風を、固定用テーブル１の表て面１ａとワークＷの裏面Ｗｂとの間に形成される間隙空間部Ｊに噴出させるように構成したので、剥離帯電によってワークＷの裏面Ｗｂと固定用テーブル１の表て面１ａに発生する電荷を完全に中和することができ、放電現象によるワークＷの破壊を確実に防止できる。狭い間隙空間部Ｊを利用して、イオン濃度を大きく低下させずに、剥離帯電が発生している二面に対して、イオン風を素早く当てることで、効率良く除電（中和）を行うことができる。特に、固定用テーブル１からワークＷを分離した瞬間に除電でき、放電の危険を防ぎ得る。１本の電極針21で除電可能な範囲が広くなって、装置の簡素化を実現できる。電荷による異物吸着を確実に防止でき、除塵ヘッド７等の洗浄機による異物除去効果を向上させることができる。

また、イオナイザ２にイオン風を噴出させるための円筒状のノズル20を設け、ノズル20を固定用テーブル１の孔11に挿入したので、安定したイオン濃度のイオン風をワークＷに吹き付けることができる。イオン風をノズル20を中心とした円形状に拡散させることができ、効率良くイオンを作用させることができる。１つのワークＷ及び固定用テーブル１に対応させるイオナイザ２の電極針21の本数を少なくでき、装置の小型化・簡略化に貢献できる。

また、イオナイザ２はワーク分離方向へワーク分離速度と同一速度をもって移動するように分離手段３と連動連結され、ノズル20の先端20ａとワークＷの裏面Ｗｂの間の間隔寸法Ｓが一定に保持されるように構成したので、ワークＷの裏面Ｗｂに吹き付けるイオン量（濃度）が安定し、効率良くイオンをワークＷに作用させることができる。確実に除電効果を得ることができる。ワークＷの裏面Ｗｂに発生する電荷を瞬間的に中和させることができる。

また、分離手段３はワークＷの裏面Ｗｂを押し上げるためのリフトピン31を備え、イオナイザ２にイオン風を噴出させるためのノズル20を設け、ノズル20の先端部20ｄは丸山状であってイオン風が噴出する噴出孔20ｆを有し、さらに、ノズル20を固定用テーブル１の孔11に挿入し、ノズル20をリフトピン31と兼用したので、ワークＷが薄いガラス板のように剛性の小さく撓みやすい部材であっても分離開始部位Ｑにイオン風を送り確実にかつ瞬間に放電現象によるワークＷの破壊を防止できる。

また、本発明の静電気除去方法は、裏面Ｗｂが平滑面状のワークＷを保持するための固定用テーブル１に孔11を貫設して、固定用テーブル１からワークＷを分離する際に発生する静電気を防止するためのイオナイザ２を、固定用テーブル１の裏面１ｂ側に配設し、固定用テーブル１からワークＷを分離する際に、イオナイザ２からのイオン風を、孔11を介して、固定用テーブル１の表て面１ａとワークＷの裏面Ｗｂとの間に形成される間隙空間部Ｊに噴出させるので、剥離帯電によってワークＷの裏面Ｗｂと固定用テーブル１の表て面１ａに発生する電荷を完全に中和することができ、放電現象によるワークＷの破壊を確実に防止できる。狭い間隙空間部Ｊを利用して、イオン濃度を大きく低下させずに、剥離帯電が発生している二面に対して、イオン風を素早く当てることで、効率良く除電（中和）を行うことができる。特に、固定用テーブル１からワークＷを分離した瞬間に除電でき、放電の危険を防ぎ得る。１本の電極針21で除電可能な範囲が広くなって、装置の簡素化を実現できる。電荷による異物吸着を確実に防止でき、除塵ヘッド７等の洗浄機による異物除去効果を向上させることができる。

また、イオナイザ２に、イオン風を噴出させるための円筒状のノズル20を設け、固定用テーブル１からワークＷを分離する際に、孔11にノズル20を挿通させて、ノズル20の先端20ａを間隙空間部Ｊに侵入させるので、安定したイオン濃度のイオン風をワークＷに吹き付けることができる。イオン風をノズル20を中心とした円形状に拡散させることができ、効率良くイオンを作用させることができる。１つのワークＷ及び固定用テーブル１に対応させるイオナイザ２の電極針21の本数を少なくでき、装置の小型化・簡略化に貢献できる。

また、固定用テーブル１からワークＷを分離する際に、イオナイザ２をワーク分離方向へワーク分離速度と同一速度をもって移動させ、ノズル20の先端20ａとワークＷの裏面Ｗｂの間の間隔寸法Ｓを一定に保持しつつイオン風の噴出を行うので、ワークＷの裏面Ｗｂに吹き付けるイオン量（濃度）が安定し、効率良くイオンをワークＷに作用させることができる。確実に除電効果を得ることができる。ワークＷの裏面Ｗｂに発生する電荷を瞬間的に中和させることができる。

また、固定用テーブル１から第１所定分離距離Ｈａまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度が、第１所定分離距離Ｈａを越え第２所定分離距離Ｈｂまでの範囲においてワークＷが分離する際の分離速度よりも遅くなるように、固定用テーブル１からワークＷを分離させるので、分離した直後にイオン濃度（密度）を大きく低下させることなく、無駄なく、イオン風をワークＷに沿わせて拡散させ、瞬間的な除電を実現できる。生産効率（速度）を低下させずに、分離中の除電を行うことができる。

また、イオナイザ２にイオン風を噴出させるためのノズル20を設け、ノズル20の先端部20ｄを丸山状に形成すると共にイオン風が噴出する噴出孔20ｆを形成し、ノズル20を固定用テーブル１の孔11に挿入し、ノズル20の先端部20ｄでワークＷの裏面Ｗｂを押し上げて、固定用テーブル１から分離させつつ間隙空間部Ｊにイオン風を噴出させるので、ワークＷが薄いガラス板のように剛性の小さく撓みやすい部材であっても分離開始部位Ｑにイオン風を送り確実にかつ瞬間に放電現象によるワークＷの破壊を防止できる。

１ 固定用テーブル
１ａ 表て面
１ｂ 裏面
２ イオナイザ
３ 分離手段
11 孔
20 ノズル
20ａ 先端
20ｄ 先端部
20ｆ 噴出孔
21 電極針
31 リフトピン
32 電動アクチュエータ
33 連結部材
Ｈａ 第１所定分離距離
Ｈｂ 第２所定分離距離
Ｊ 間隙空間部
Ｓ 間隔寸法
Ｗ ワーク
Ｗａ 表て面
Ｗｂ 裏面

Claims (3)

1. 裏面（Ｗｂ）が平滑面状のワーク（Ｗ）が載置された固定用テーブル（１）の表て面（１ａ）から上記ワーク（Ｗ）を分離する際に発生する静電気を除去する静電気除去装置に於て、
   上記表て面（１ａ）から上記ワーク（Ｗ）を分離するための分離手段（３）は、リフトピン（31）と、電動アクチュエータ（32）と、該電動アクチュエータ（32）と上記リフトピン（31）とを連結する連結部材（33）と、を備え、
   上記固定用テーブル（１）の裏面（１ｂ）側に配設された上記連結部材（33）に、上記イオナイザ（２）を設け、かつ、該イオナイザ（２）は、上記固定用テーブル（１）に貫設された孔（11）に挿通可能なイオン風噴出用円筒状のノズル（20）、及び、該ノズル（20）の下部に配設される電極針（21）を備え、
   上記表て面（１ａ）から上記ワーク（Ｗ）を分離する際に、ワーク分離速度と同一速度をもって上記孔（11）に挿通される上記ノズル（20）の下部に配設された上記電極針（21）から交互に発生するプラスイオンとマイナスイオンを、上記イオン風として、上記表て面（１ａ）と上記ワーク（Ｗ）の裏面（Ｗｂ）との間に形成される間隙空間部（Ｊ）に噴出させるように構成したことを特徴とする静電気除去装置。
2. 裏面（Ｗｂ）が平滑面状のワーク（Ｗ）が載置された固定用テーブル（１）の表て面（１ａ）から上記ワーク（Ｗ）を分離する際に発生する静電気を除去する静電気除去方法に於て、
   上記表て面（１ａ）から上記ワーク（Ｗ）を分離するための分離手段（３）として、リフトピン（31）と、電動アクチュエータ（32）と、該電動アクチュエータ（32）と上記リフトピン（31）とを連結する連結部材（33）と、を設け、
   上記固定用テーブル（１）の裏面（１ｂ）側に配設した上記連結部材（33）に、上記イオナイザ（２）を設け、かつ、該イオナイザ（２）に、上記固定用テーブル（１）に貫設された孔（11）に挿通可能なイオン風噴出用円筒状のノズル（20）を設けると共に、該ノズル（20）の下部に、電極針（21）を設け、
   上記表て面（１ａ）から上記ワーク（Ｗ）を分離する際に、ワーク分離速度と同一速度をもって上記ノズル（20）を上記孔（11）に挿通させ、該孔（11）を挿通する上記ノズル（20）の下部に配設されている上記電極針（21）から交互にプラスイオンとマイナスイオンを発生させて、イオン風として、上記表て面（１ａ）と上記ワーク（Ｗ）の裏面（Ｗｂ）との間に形成される間隙空間部（Ｊ）に噴出させることを特徴とする静電気除去方法。
3. 裏面（Ｗｂ）が平滑面状のワーク（Ｗ）を保持するための固定用テーブル（１）に孔（11）を貫設して、
   上記固定用テーブル（１）から上記ワーク（Ｗ）を分離する際に発生する静電気を防止するためのイオナイザ（２）を、上記固定用テーブル（１）の裏面（１ｂ）側に配設し、
   上記固定用テーブル（１）から上記ワーク（Ｗ）を分離する際に、上記イオナイザ（２）からのイオン風を、上記孔（11）を介して、上記固定用テーブル（１）の上記表て面（１ａ）と上記ワーク（Ｗ）の裏面（Ｗｂ）との間に形成される間隙空間部（Ｊ）に噴出させ、
   上記固定用テーブル（１）から第１所定分離距離（Ｈａ）までの範囲において上記ワーク（Ｗ）が分離する際の分離速度が、第１所定分離距離（Ｈａ）を越え第２所定分離距離（Ｈｂ）までの範囲において上記ワーク（Ｗ）が分離する際の分離速度よりも遅くなるように、上記固定用テーブル（１）から上記ワーク（Ｗ）を分離させることを特徴とする静電気除去方法。

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