JP6077023B2 - 静電気除去装置及び静電気除去方法 - Google Patents
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また、イオン風によって、ワークWの表て面Waと裏面Wbとが電気的に中和しているように見えるが、実際は、ワークWの表て面Waに、電荷(図10においてマイナス電荷)がたまった状態となる。この状態で、浮遊粉塵等の異物がワークWの表て面Waに落下して、その電荷と接触すると、電荷の電界によるクーロン力が異物を吸着させてしまうといった問題があった。
または、裏面が平滑面状のワークを保持するための固定用テーブルに孔を貫設して、上記固定用テーブルから上記ワークを分離する際に発生する静電気を防止するためのイオナイザを、上記固定用テーブルの裏面側に配設し、上記固定用テーブルから上記ワークを分離する際に、上記イオナイザからのイオン風を、上記孔を介して、上記固定用テーブルの上記表て面と上記ワークの裏面との間に形成される間隙空間部に噴出させ、上記固定用テーブルから第1所定分離距離までの範囲において上記ワークが分離する際の分離速度が、第1所定分離距離を越え第2所定分離距離までの範囲において上記ワークが分離する際の分離速度よりも遅くなるように、上記固定用テーブルから上記ワークを分離させる方法である。
本発明に係る静電気除去装置は、図1に示すように、裏面Wbが平滑面状のワーク(基材)Wを保持(載置)するための固定用テーブル1と、図示省略するがワークWの裏面Wbと固定用テーブル1の表て面1aを密着させて固定するためのワーク固定手段と、ワーク固定手段による固定が解除された後に固定用テーブル1の表て面1aとワークWの裏面Wbとを分離させるための分離手段(剥離手段)3と、分離手段3にて固定用テーブル1からワークWを分離させる際に発生する静電気を防止するためのイオナイザ(除電器)2と、を備えている。
分離前の状態で、ノズル20の先端20aを、固定用テーブル1に貫設したノズル用の孔11に挿入して配設している。
また、図2に示すように、ノズル20の先端20aは、平面視で格子状(格子の交点状)に配設し、1つのワークW及び固定用テーブル1に複数のイオナイザ2を対応させている。なお、ノズル20及び孔11は、平面視で千鳥状に配設しても良い。要するに、散点状に配設されている。
分離前の状態で、リフトピン31の先端部31aを、固定用テーブル1に貫設したリフトピン用の貫通孔12に挿入して配設している。
分離手段3は、電動アクチュエータ32の直線運動によって、リフトピン31の先端部31aを固定用テーブル1の表て面1aから突出させ、固定用テーブル1に載置したワークWの裏面Wbに当接させて、ワークWの裏面Wbを水平面状に保持しつつ分離(剥離)させる。
つまり、イオナイザ2が、ワーク分離方向へ、ワーク分離速度と同一速度をもって移動し、リフトピン31が突出しワークWの裏面Wbが固定用テーブル1の表て面1aから離間しても、ノズル20の先端20aと、ワークWの裏面Wbの間の間隔寸法Sが一定に保持されるように構成している。
制御部5は、電動アクチュエータ32に電気的に接続され、図3に実線又は二点鎖線で示すように、固定用テーブル1の表て面1aから第1所定分離距離Haまでの範囲においてワークWが分離する際の分離速度が、第1所定分離距離Haを越え第2所定分離距離Hbまでの範囲においてワークWが分離する際の分離速度よりも遅くなるように、分離手段3を制御するものである。
言い換えると、固定用テーブル1の表て面1aから第1所定分離距離Haまでの範囲においてワークWが分離する際の分離速度が、基準分離速度Ua以下になるように制御し、第1所定分離距離Haを越え第2所定分離距離Hbまでの範囲においてワークWが分離する際の分離速度を、基準分離速度Uaよりも速くなるように制御するものである。
先ず、固定用テーブル1に孔11を貫設すると共にイオナイザ2にノズル20を設ける。
そして、イオナイザ2を、固定用テーブル1の裏面1b側に配設すると共にノズル20の先端20aを孔11に配設する。また、リフトピン31の先端部31aを貫通孔12に配設する。
ワークWに表面処理剤の塗布や密着強化剤の塗布、或いは、ワークWと他部材との結合、熱処理等の所定の作業工程を行う。
そして、所定の作業工程後に、ワーク固定手段によるワークWの固定を解除する。
分離すると直ぐに、剥離帯電により、固定用テーブル1がマイナス帯電すると共にワークWがプラス帯電する(ワークWの裏面Wbにプラス電荷が存在すると共に固定用テーブル1の表て面1aにマイナス電荷が存在する)。このまま分離を進めると、放電現象が起こり、ワークWが破壊される虞れがある。
ところが、図4乃至図5に示すように、分離開始から、瞬間的に(分離開始から0.1秒以内に)、ワークWの裏面Wbに存在するプラス電荷と、固定用テーブル1の表て面1aに存在するマイナス電荷を、イオン風のプラスイオン及びマイナスイオンによって完全に中和し、放電現象を防止する。
例えば、ワークWの表て面Waに向けてイオン風を吹き付ける従来の場合は、電極針21を50〜100mm間隔で配設して除電を行う必要があったが、本発明の装置及び方法では、1本の電極針21で、半径200〜300mmの除電を行うことができ、ワークWの単位面積あたりに必要な電極針21の本数を少なくできる。
ワークWの裏面Wbに吹き付けられるイオン量(濃度)が安定し、確実に除電効果が得られる。なお、図4及び図5は、間隙空間部Jや間隔寸法Sを実際よりも大きく図示している。
間隙空間部Jが急激に広くならず、イオン密度(濃度)の急激な低下や、イオンの拡散速度の急激な低下を防止し、除電効果が効率良く行われる。
ワークWの表て面Wa及び裏面Wbに、剥離帯電による電荷が無く、ワークWの表て面Waにイオン風による電荷(イオン)が大量に蓄積されず、浮遊粉塵等の異物が落下してワークWの表て面Waに乗っても、電荷接触による吸着が無く、除塵ヘッド7等の洗浄機による異物除去効果を向上させることができる。
イオナイザ2を起動させずに固定用テーブル1に対してワークWを接触・分離を繰り返した比較例をバツ(×)印で示し、本発明に係る実施例(図1乃至図6参照)を黒丸(●)印で示し、図10に示すようにイオナイザ92をワークWの表て面Waに吹き付けるように構成した従来例を三角(△)印で示している。ワークWはガラス基板とした。
従来例(△印)は、イオナイザ92により電気的に中和されているように見えるが、イオナイザ92からのイオンがワークWの表て面Waに蓄積されるため、帯電量が多くなっている。つまり、浮遊粉塵等の異物が吸着する虞れが高いと言える。
実施例(●印)は、イオナイザ2により電気的に中和され、分離を繰り返し行っても、比較例及び従来例に比べて帯電量が非常に少なく、異物吸着の虞れが殆ど無いと言える。
しかし、従来例や比較例のように帯電量が多いと、図9(a)に示すように、ワークWの表て面Waに無数の異物が吸着する。そして、除塵ヘッド7(図6参照)を走行させて除塵を行っても、電荷による吸着力が強く、図9(b)に示すように、異物が波模様(縞模様)のように残存し、除塵ヘッド7の性能を十分に発揮できていない。
なお、除塵ヘッド7は、ワークWに平行に走行し、ワークWの表て面Waに向かって、エアを噴出し、異物をワークWから剥離させ、エアと異物を吸引ノズルから吸入して除塵を行うものである。また、図8及び図9において異物を実際よりも大きく図示している。
そこで、図12乃至図14に示す他の実施形態では、ノズル20を、リフトピン31と兼用している。
図13に示すようにノズル20は、先端部20dが丸山状(球頭状)に形成され、丸山の裾部20eにイオン風が噴出する噴出孔20fを開口している。噴出孔20fは、ノズル20の軸心廻りに複数設けられ、斜め上方へ開口するように設けている。頂部(先端)20aがワークWに当接しても噴出孔20fが塞がれず確実にイオン風を噴出でき、かつ、ワークWの裏面Wbに沿ってイオン風が薄い膜状(平面状)に拡散しつつ流れる。
1a 表て面
1b 裏面
2 イオナイザ
3 分離手段
11 孔
20 ノズル
20a 先端
20d 先端部
20f 噴出孔
21 電極針
31 リフトピン
32 電動アクチュエータ
33 連結部材
Ha 第1所定分離距離
Hb 第2所定分離距離
J 間隙空間部
S 間隔寸法
W ワーク
Wa 表て面
Wb 裏面
Claims (3)
- 裏面(Wb)が平滑面状のワーク(W)が載置された固定用テーブル(1)の表て面(1a)から上記ワーク(W)を分離する際に発生する静電気を除去する静電気除去装置に於て、
上記表て面(1a)から上記ワーク(W)を分離するための分離手段(3)は、リフトピン(31)と、電動アクチュエータ(32)と、該電動アクチュエータ(32)と上記リフトピン(31)とを連結する連結部材(33)と、を備え、
上記固定用テーブル(1)の裏面(1b)側に配設された上記連結部材(33)に、上記イオナイザ(2)を設け、かつ、該イオナイザ(2)は、上記固定用テーブル(1)に貫設された孔(11)に挿通可能なイオン風噴出用円筒状のノズル(20)、及び、該ノズル(20)の下部に配設される電極針(21)を備え、
上記表て面(1a)から上記ワーク(W)を分離する際に、ワーク分離速度と同一速度をもって上記孔(11)に挿通される上記ノズル(20)の下部に配設された上記電極針(21)から交互に発生するプラスイオンとマイナスイオンを、上記イオン風として、上記表て面(1a)と上記ワーク(W)の裏面(Wb)との間に形成される間隙空間部(J)に噴出させるように構成したことを特徴とする静電気除去装置。 - 裏面(Wb)が平滑面状のワーク(W)が載置された固定用テーブル(1)の表て面(1a)から上記ワーク(W)を分離する際に発生する静電気を除去する静電気除去方法に於て、
上記表て面(1a)から上記ワーク(W)を分離するための分離手段(3)として、リフトピン(31)と、電動アクチュエータ(32)と、該電動アクチュエータ(32)と上記リフトピン(31)とを連結する連結部材(33)と、を設け、
上記固定用テーブル(1)の裏面(1b)側に配設した上記連結部材(33)に、上記イオナイザ(2)を設け、かつ、該イオナイザ(2)に、上記固定用テーブル(1)に貫設された孔(11)に挿通可能なイオン風噴出用円筒状のノズル(20)を設けると共に、該ノズル(20)の下部に、電極針(21)を設け、
上記表て面(1a)から上記ワーク(W)を分離する際に、ワーク分離速度と同一速度をもって上記ノズル(20)を上記孔(11)に挿通させ、該孔(11)を挿通する上記ノズル(20)の下部に配設されている上記電極針(21)から交互にプラスイオンとマイナスイオンを発生させて、イオン風として、上記表て面(1a)と上記ワーク(W)の裏面(Wb)との間に形成される間隙空間部(J)に噴出させることを特徴とする静電気除去方法。 - 裏面(Wb)が平滑面状のワーク(W)を保持するための固定用テーブル(1)に孔(11)を貫設して、
上記固定用テーブル(1)から上記ワーク(W)を分離する際に発生する静電気を防止するためのイオナイザ(2)を、上記固定用テーブル(1)の裏面(1b)側に配設し、
上記固定用テーブル(1)から上記ワーク(W)を分離する際に、上記イオナイザ(2)からのイオン風を、上記孔(11)を介して、上記固定用テーブル(1)の上記表て面(1a)と上記ワーク(W)の裏面(Wb)との間に形成される間隙空間部(J)に噴出させ、
上記固定用テーブル(1)から第1所定分離距離(Ha)までの範囲において上記ワーク(W)が分離する際の分離速度が、第1所定分離距離(Ha)を越え第2所定分離距離(Hb)までの範囲において上記ワーク(W)が分離する際の分離速度よりも遅くなるように、上記固定用テーブル(1)から上記ワーク(W)を分離させることを特徴とする静電気除去方法。
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