JP6069020B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、貼付けローラでウェハに貼付した帯状の原接着シートをカッタ刃でウェハ外形に沿って切断し、原接着シート巻取部(回収手段)で原接着シートの不要部分を巻き取って回収するように構成されている。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、原反RSを図1中実線で示すようにセットする。次に、支持手段9によって搬送されるウェハWFが所定位置に達したことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段に検知されると、繰出手段2が回動モータ23を駆動し、ウェハWFの移動速度と略同速で原反RSを繰り出すとともに、回収手段5が回動モータ51を駆動し、剥離シートRLに所定の張力を付与しつつ回収ローラ52で剥離シートRLを回収する。これにより、剥離板3で剥離シートRLから接着シートASが剥離され、当該接着シートASが押圧ローラ4でウェハWFに押圧されて貼付されるとともに、回収ローラ52の外周に回収物RBが形成される。
そして、接着シートASが貼付されたウェハWFは、図示しない搬送手段によって次の工程に搬送され、以降上記同様の動作を繰り返す。
さらに、押圧ローラ4にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよく、エア噴き付けにより押圧する構成を採用することもできる。
また、貼付手段は、接着シートASに押圧力を付与する駆動機器を押圧ローラ4に設けてもよいし、接着シートASに付与する押圧力を検知するロードセルや圧力計等の検知手段を備えてもよいし、ウェハWFの外形よりも大きい接着シートASを貼付した後、ウェハWFの外形に沿って接着シートASを切断する切断手段を備えてもよい。
また、蓄積手段6は、第1および第2保持部材63、66で剥離シートRLを挟持するかわりに、回動モータ51の駆動を停止することで、駆動ローラ24と回収ローラ52との間で剥離シートRLを弛ませて当該剥離シートRLを蓄積してもよい。
さらに、第1および第2保持部材63、66のうちの一方を移動させないで固定したもので構成してもよい。
2 繰出手段
3 剥離板(剥離手段)
4 押圧ローラ(貼付手段)
5 回収手段
6 蓄積手段
7 切断手段
AS 接着シート
RF 剥離シート
RS 原反
WF ウェハ(被着体)
Claims (3)
- 接着シートが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離シートから剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する貼付手段と、
前記剥離手段で前記接着シートが剥離された剥離シートを回収する回収手段と、
前記回収手段に回収される前の剥離シートを弛ませて蓄積可能な蓄積手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記蓄積手段は、前記剥離シートを駆動機器で挟持する一対の保持部材を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 接着シートが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記剥離シートから剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートが剥離された剥離シートを回収する工程と、
回収される前の剥離シートを弛ませて蓄積する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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