TWI630164B - 線性移動旋動裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明實現一種線性移動旋動裝置，其可實現物品支持部沿著第1方向的移動及其繞著移動軸心的旋動雙方，同時亦可抑制大型化或重量增加。線性移動旋動裝置備有：支持部，支持一體設有物品支持部之***作構件，繞著移動軸心自由旋動且沿著第1方向自由移動；及直線移動體，藉由驅動部沿著第1方向移動。***作構件是從沿著移動軸心的方向看來，以離開移動軸心的部分來與直線移動體連結。線性移動旋動裝置備有動作狀態切換部，其自由切換線性移動狀態與旋動狀態，而前述線性移動狀態限制***作構件繞著移動軸心的旋動，且容許***作構件沿著第1方向的移動，前述旋動狀態容許***作構件繞著移動軸心的旋動，且限制***作構件沿著第1方向的移動。

Description

線性移動旋動裝置 發明領域
本發明是關於一種線性移動旋動裝置，其令支持物品之物品支持部，沿著直線狀之第1方向移動，且令該物品支持部，繞著與第1方向正交之移動軸心旋動。
發明背景
如上述之線性移動旋動裝置設於例如在工廠等搬運物品的天花板搬運車。天花板搬運車構成如，行進部行進於從天花板吊掛之行進軌道上。於行進部，支持有物品支持部。於該物品支持部，備有夾持物品之夾持部及升降驅動夾持部之升降驅動部。天花板搬運車是於使夾持部下降的狀態下，於受授物品之受授處之間，受授搬運對象物品。此時，藉由線性移動旋動裝置，來調整物品支持部在俯視上之物品的位置及姿勢。藉此，以夾持部夾持之物品在俯視上的位置及姿勢會與受授處合適，天花板搬運車可對於受授處，正確受授物品。
於日本特開2000-161457號公報(專利文獻1)，揭示了線性移動旋動裝置之一例。該線性移動旋動裝置具有 物品支持部，其與繞著沿上下方向之移動軸心自由旋動之小齒輪一體地旋動。該小齒輪是由相對向的一對齒條夾住。一對齒條之各齒條安裝於，藉由螺旋軸旋轉而沿著螺旋軸移動之塊(block)。各塊是與各個螺旋軸螺合。一對齒條之各齒條隨著螺旋軸的旋轉，往沿著螺旋軸之旋轉軸心的方向(該方向作為「第1方向」)移動。再者，對應於一對螺旋軸，設有一對馬達，將該等螺旋軸進行旋轉驅動。
在使用這類線性移動旋動裝置，令物品支持部沿著第1方向移動時，控制2個馬達的旋轉，以使一對齒條往相同方向，恰好移動與物品支持部之移動量相應的移動量。另，令物品支持部繞著沿上下方向之移動軸心旋動時，控制2個馬達以使各個齒條的移動量不同。總言之，可因應2個齒條的移動量的差距，來使物品支持部旋動。
發明概要
如上述，專利文獻1之線性移動旋動裝置在實現物品支持部沿著第1方向的移動、及物品支持部繞著沿上下方向之移動軸心的旋動時，需要2個驅動部。然而，若對於線性移動旋動裝置設置2個驅動部，則可能裝置會大型化，亦或線性移動旋動裝置的重量變重。在須以天花板側支持荷重之天花板搬運車，尤其期望抑制這種線性移動旋動裝置的大型化或重量增加。
因此，期望實現一種線性移動旋動裝置，其可實現物品支持部沿著第1方向的移動(線性移動)、及繞著與第1 方向正交之移動軸心的旋動雙方，同時亦可抑制大型化或重量增加。
本發明之線性移動旋動裝置之特徵構成在於如下點：一種線性移動旋動裝置，令支持物品之物品支持部沿著直線狀之第1方向移動，且令前述物品支持部繞著與前述第1方向正交之移動軸心旋動；備有：***作構件，一體地設有前述物品支持部；支持部，將前述***作構件繞著前述移動軸心自由旋動地支持，且將前述***作構件沿著前述第1方向自由移動地支持；及直線移動體，藉由驅動部沿著前述第1方向移動；前述***作構件是從沿著前述移動軸心的方向看來，以離開前述移動軸心的部分來與前述直線移動體連結；進一步備有動作狀態切換部，其自由切換線性移動狀態與旋動狀態，而前述線性移動狀態限制前述***作構件繞著前述移動軸心的旋動，且容許前述***作構件沿著前述第1方向的移動，前述旋動狀態容許前述***作構件繞著前述移動軸心的旋動，且限制前述***作構件沿著前述第1方向的移動。
若依據此構成，藉由於線性移動狀態下(限制***作構件繞著移動軸心的旋動，且容許***作構件沿著第1方向的移動的狀態)，令直線移動體沿著第1方向移動，可令***作構件沿著第1方向移動。亦即，可令與***作構件 一體設置之物品支持部，沿著第1方向移動(可令其線性移動)。又，於旋動狀態(容許***作構件繞著移動軸心的旋動，且限制***作構件沿著第1方向的移動的狀態)下，藉由令直線移動體沿著第1方向移動，可令***作構件繞著移動軸心旋動。亦即，可令與***作構件一體設置之物品支持部，沿著移動軸心旋動。
如此，藉由備有將直線移動體沿著第1方向移動操作用之單一驅動部，可執行物品支持部沿著第1方向的移動、及物品支持部繞著移動軸心的旋動雙方。因此，可抑制線性移動旋動裝置的大型化或重量增加。亦即，可實現一種線性移動旋動裝置，可實現物品支持部沿著第1方向的移動、及物品支持部繞著沿上下方向的移動軸心的旋轉雙方，同時亦可抑制其大型化或重量增加。
在此，前述驅動部宜備有：螺旋軸，配設成為旋轉軸心沿著前述第1方向的姿勢；及旋轉馬達，將該螺旋軸繞著前述旋轉軸心進行旋轉驅動；前述直線移動體宜以會隨著前述螺旋軸的旋轉而沿著前述第1方向移動的方式，安裝於前述螺旋軸。若依據此構成，由於直線移動體會藉由受到旋轉馬達旋轉驅動之螺旋軸，沿著第1方向移動，因此可精度良好地調整直線移動體沿著第1方向的移動量。因此，實現線性移動(藉由直線移動體的移動，物品支持部沿著第1方向的移動)及旋動(物品支持部繞著沿上下方向之移動軸心的旋轉)時，可精度良好地調整物品支持部沿著第1方向的移動量、及物品支持部繞著移動軸心的旋轉量。
又，本發明之線性移動旋動裝置作為一態樣宜備有控制部，其控制前述驅動部及前述動作狀態切換部的運作；前述控制部宜執行線性移動驅動控制與旋動控制，而前述線性移動驅動控制是藉由將前述動作狀態切換部切換成前述線性移動狀態，令前述驅動部運作，以使前述物品支持部沿著前述第1方向移動，前述旋動控制是藉由將前述動作狀態切換部切換成前述旋動狀態，令前述驅動部運作，以使前述物品支持部繞著旋轉軸心旋動。亦即，藉由控制部控制動作狀態切換部的切換狀態及驅動部的運作，可自動切換物品支持部的線性移動與旋動，能夠獲得可用性良好的線性移動旋動裝置。
1‧‧‧天花板搬運車
2‧‧‧行進軌道
2S‧‧‧軌道支持體
11‧‧‧行進部
12‧‧‧主體部
12B‧‧‧螺旋軸
12C‧‧‧罩蓋部
12D‧‧‧螺旋軸支持體
12G‧‧‧導軌
12Ga‧‧‧起立部
12S‧‧‧支持板
19a‧‧‧金屬線
21a‧‧‧塊體
21b‧‧‧扣合銷
22‧‧‧旋動軸部
23‧‧‧線性移動用支持體
24‧‧‧連結構件
24h‧‧‧長孔部
30‧‧‧夾持部
31‧‧‧夾持用搖動體
35‧‧‧升降驅動部
B‧‧‧容器
Bf‧‧‧凸緣
Bh‧‧‧容器主體
D1‧‧‧第1方向
H‧‧‧控制部
J‧‧‧支持部
L‧‧‧動作狀態切換部
L1‧‧‧第1鎖定機構
L2‧‧‧第2鎖定機構
L3‧‧‧鎖定機構
L1a、L3a‧‧‧主體部
L1b、L3b‧‧‧鎖銷
M1‧‧‧位置調整用驅動部
M2‧‧‧升降驅動部
M3‧‧‧夾持部驅動部
M4‧‧‧行進驅動部
MK‧‧‧旋轉馬達
S‧‧‧物品支持部
W‧‧‧行進車輪
X1‧‧‧旋動軸部之軸心
#1~#7、#11~#19‧‧‧步驟
圖1是實施形態之天花板搬運車之部分中斷側視圖。
圖2是線性移動旋動裝置之整體構成圖。
圖3是控制方塊圖。
圖4是說明線性移動驅動控制與旋動控制之流程圖。
圖5是說明線性移動驅動控制之俯視圖。
圖6是說明旋動控制之俯視圖。
圖7是說明有搬運指令時之物品支持部的位置調整之流程圖。
圖8是其他實施形態之天花板搬運車之部分中斷側視圖。
圖9(a)、(b)是說明其他實施形態之線性移動驅動控制及 旋動控制之俯視圖。
用以實施發明之形態
作為將本發明之線性移動旋動裝置適用於天花板搬運車時之範例，根據圖式來說明本發明之實施形態。如圖1所示，天花板搬運車1備有：行進部11，自由行進於從設於天花板之軌道支持體2S吊掛之行進軌道2上；及主體部12，從行進部11吊掛並受支持。行進部11備有：行進車輪W，旋轉移動於行進軌道2上；及行進驅動部M4，將該行進車輪W進行旋轉驅動。天花板搬運車1是以收納有半導體基板之容器B作為搬運對象物品，於複數個處理裝置之受授處(以下稱為作業站)之間搬運容器B而3而構成。於處理裝置，對於半導體基板製造中途之半製品等，進行預定處理而構成。
主體部12是於行進部11之行進方向前後，備有罩蓋部12C，如圖1所示，在側視上形成為朝下方開口之C字形。主體部12是以水平姿勢之支持板12S區劃為上下。於支持板12S之下側，備有支持容器B之物品支持部S，於支持板12S之上側，設有後述之線性移動旋動裝置。再者，線性移動旋動裝置是為了令物品支持部S沿著直線狀之第1方向D1移動，且令物品支持部S繞著與第1方向D1且沿著上下方向之移動軸心(後述之“X1”)旋動而使用。
物品支持部S備有：夾持部30，其夾持容器B；及升降驅動部35，其將夾持部30進行升降驅動。夾持部30 備有夾持用搖動體31，其藉由夾持部驅動部M3而自由移動於相互接近方向及離隔方向。夾持用搖動體31藉由夾持部驅動部M3的驅動而呈接近狀態，藉此與安裝於容器B之容器主體Bh上端之凸緣Bf扣合。總言之，夾持用搖動體31是在與凸緣Bf扣合的狀態下夾持容器B。又，夾持用搖動體31藉由夾持部驅動部M3的驅動而呈離隔狀態，藉此解除與凸緣Bf之扣合，將容器B從夾持狀態釋放。
再者，從夾持部驅動部M3對夾持用搖動體31之驅動力傳遞，是利用例如進給螺旋機構或曲柄機構等習知機構來實現，故省略說明。又，為使夾持部30可安定夾持容器B，夾持用搖動體31與凸緣Bf構成如以俯視上所規定「設定扣合位置關係」的形態來扣合。
於升降驅動部35，支持有升降驅動部M2。於升降驅動部M2備有：升降用馬達；及升降用捲筒，由該升降用馬達進行旋轉驅動。由該升降用捲筒捲取或送出之金屬線19a之端部連接於夾持部30。夾持部30成為從升降驅動部35，藉由金屬線19a吊掛支持的狀態。藉由令升降用馬達進行正轉驅動或反轉驅動，夾持部30會上升或下降。
接著，根據圖1~3來說明本實施形態之線性移動旋動裝置。於支持板12S，設有在俯視上與行進部11之行進方向呈正交之狹縫。又，於支持板12S，沿著該狹縫之開口端部設有導軌12G，導引線性移動用支持體23的移動。線性移動用支持體23如圖2及圖3所示形成為矩形。於俯視上與線性移動用支持體23之行進部11之行進方向前後相對向之 邊，成為與導軌12G之起立部12Ga抵接的狀態。藉此，線性移動用支持體23維持在俯視上與導軌12G相對之姿勢而自由移動。又，線性移動用支持體23之底面部構成為，與導軌12G之水平部上面之摩擦小的狀態。於本實施形態，成為於線性移動用支持體23之底面部支持軸承滾珠的構造，例如以摩擦係數小的材質，構成線性移動用支持體23之底面部亦可。於本實施形態，由導軌12G所形成的線性移動用支持體23之導引方向相當於第1方向D1。
又，於線性移動用支持體23安裝有第1鎖定機構L1，其備有主體部L1a及鎖銷L1b而構成。第1鎖定機構L1藉由使鎖銷L1b成為突出狀態，與導軌12G之起立部12Ga抵接，可成為限制線性移動用支持體23對於導軌12G之相對移動之鎖定狀態。又，第1鎖定機構L1藉由使鎖銷L1b成為退縮狀態，從導軌12G離隔，可成為容許線性移動用支持體23對於導軌12G之相對移動之釋放狀態。
又，線性移動用支持體23係於俯視上大致中央，支持旋動軸部22自由旋動。於旋動軸部22下端，固定有升降驅動部35。因此，升降驅動部35是對於線性移動用支持體23，以旋動軸部22作為旋動軸心，相對自由旋動地受到支持。
於支持板12S，於行進部11之行進方向一側的端部，螺旋軸12B是以其旋轉軸心成為沿著導軌12G的姿勢(亦即沿著第1方向D1的方向)的方式，由螺旋軸支持體12D自由旋轉地支持。又，於支持板12S上設有旋轉馬達MK，將螺 旋軸12B進行旋轉驅動。進而於螺旋軸12B備有塊體21a，其具有與該螺旋軸12B螺合之母螺絲，隨著螺旋軸12B的旋轉而沿著螺旋軸12B自由移動。因此，塊體21a是以會隨著螺旋軸12B的旋轉而沿著第1方向D1移動的方式，安裝於螺旋軸12B。塊體21a是於上方備有扣合銷21b，其與後述連結構件24之長孔部24h扣合。
連結構件24是與旋動軸部22連結為一體旋動，於俯視上，以旋動軸部22作為旋動中心而自由旋動。又，於連結構件24與旋動軸部22之間設有電磁式之第2鎖定機構L2，其自由切換容許其等之相對旋動之釋放狀態、與限制相對旋動之鎖定狀態。
於本實施形態，旋動軸部22之軸心X1相當於移動軸心，連結構件24相當於***作構件，塊體21a相當於直線移動體，導軌12G及線性移動用支持體23相當於支持部，由旋轉馬達MK及螺旋軸12B所構成的位置調整用驅動部M1相當於驅動部。亦即，線性移動旋動裝置備有：連結構件24，一體地設有物品支持部S；導軌12G及線性移動用支持體23，支持連結構件24繞著旋動軸部22之軸心X1自由旋動，且支持連結構件24沿著第1方向D1自由移動；及塊體21a，由旋轉馬達MK及螺旋軸12B沿著第1方向D1進行移動操作；連結構件24是從沿著旋動軸部22之軸心X1的方向看來，以離開旋動軸部22之軸心X1的部分來與塊體21a連結。
接下來，說明本實施形態之控制構成。於天花板搬運車1設有控制部H，其控制各部的運作。控制部H是以 例如備有記憶體、暫存器、運算部等之微電腦作為核心來構成，將控制程式記憶於記憶體，並且因應需要，將該程式載入運算部而執行。又，於控制部H，以可通訊的形態連接位置調整用驅動部M1、升降驅動部M2、夾持部驅動部M3、行進驅動部M4、以及第1鎖定機構L1、及第2鎖定機構L2，控制部H控制其等個別的運作。
再者，雖省略圖示，對天花板搬運車命令搬運指令之高位管理裝置，是以能與控制部H相互通訊的形態設置。控制部H收到來自高位管理裝置之搬運指令，執行與該搬運指令相應之各種控制(行進控制、升降控制、夾持狀態切換控制等)。在此，行進控制是指為使行進部11移動到對應於目標作業站之行進位置，而令行進驅動部M4運作的控制。又，升降控制是指為了於該行進位置使夾持部30升降，而令升降驅動部M2運作的控制。又，夾持狀態切換控制是指為使夾持部30之夾持用搖動體31成為離隔狀態或接近狀態，而令夾持部驅動部M3運作，切換容器B之凸緣Bf之夾持狀態的控制。
如圖4之流程圖所示，控制部H若從高位管理裝置，接受命令使物品支持部S沿著第1方向D1滑動移動之滑動指令(步驟#1)，則執行如下控制。控制部H控制第2鎖定機構L2成為鎖定狀態，並且控制第1鎖定機構L1成為釋放狀態(步驟#2)。總言之，控制部H控制第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2的運作，以成為使第2鎖定機構L2呈鎖定狀態，限制連結構件24繞著旋動軸部22之軸心X1的旋動，且使第1 鎖定機構L1呈釋放狀態，容許連結構件24沿著第1方向D1的移動的狀態。然後，於該狀態下，直到被命令滑動結束(步驟#4：是)前，驅動位置調整用驅動部M1，令螺旋軸12B旋轉(步驟#3)。藉此，如圖5所示，連結構件24會隨著塊體21a的移動，原樣維持在俯視上繞著旋動軸部22之軸心X1之旋動姿勢而移動，線性移動用支持體23沿著第1方向D1移動。因此，可原樣維持物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1之旋動姿勢，令線性移動用支持體23所支持的旋動軸部22、及該旋動軸部22下端所支持的物品支持部S，沿著第1方向D1移動。於本實施形態，步驟#2及步驟#3之控制相當於線性移動驅動控制。
又，控制部H若從高位管理裝置，接受命令使物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動之旋動指令(步驟#5)，則執行如下控制。控制部H控制第2鎖定機構L2成為釋放狀態，並且控制第1鎖定機構L1成為鎖定狀態(步驟#6)。總言之，控制部H控制第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2的運作，以成為使第2鎖定機構L2呈釋放狀態，容許連結構件24繞著旋動軸部22之軸心X1的旋動，且使第1鎖定機構L1呈鎖定狀態，限制連結構件24沿著第1方向D1的移動的狀態。然後，於該狀態下，直到被命令旋動結束(步驟#4：是)前，驅動位置調整用驅動部M1，令螺旋軸12B旋轉(步驟#7)。藉此，如圖6所示，隨著塊體21a的移動，線性移動用支持體23原樣維持沿著第1方向D1的位置，連結構件24以旋動軸部22之軸心X1為中心旋動。由於連結構件24與旋動軸部22連 結為一體旋動，因此旋動軸部22亦以該軸心X1為中心旋動。又，如圖1所示，於旋動軸部22下端，固定有構成物品支持部S之升降驅動部35，因此升降驅動部35(物品支持部S)亦同樣地旋動。因此，可原樣維持線性移動用支持體23沿著第1方向D1的位置，令物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動。於本實施形態，步驟#6及步驟#7之控制相當於旋動控制。
再者，於本實施形態，第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2相當於動作狀態切換部L。又，「使第2鎖定機構L2呈鎖定狀態，且使第1鎖定機構L1呈釋放狀態的狀態」，相當於線性移動狀態。又，「使第2鎖定機構L2呈釋放狀態，且使第1鎖定機構L1呈鎖定狀態的狀態」，相當於旋動狀態。然後，控制部H可藉由控制第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2的運作，來切換線性移動狀態與旋動狀態。
又，控制部H如上述構成為執行線性移動驅動控制及旋動控制。在此，「線性移動驅動控制」是指「藉由使第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2呈線性移動狀態，驅動位置調整用驅動部M1，令螺旋軸12B旋轉，以使物品支持部S沿著第1方向D1移動的控制」。又，「旋動控制」是指「藉由使第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2呈旋動狀態，驅動位置調整用驅動部M1，令螺旋軸12B旋轉，以使物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動的控制」。
接著，說明使用本實施形態之天花板搬運車，進行容器B之搬運時之控制。於本實施形態省略圖示，受授由 物品支持部S(具體而言為夾持部30)支持之容器B之作業站，設於在俯視上沿著行進軌道2且為物品支持部S下方的位置。
控制部H根據來自高位管理裝置之搬運指令，於搬運來處之作業站撈取移載容器B，於搬運去處之作業站卸除移載。因此，控制部H令行進部11，行進移動至對應於搬運來處之作業站或搬運去處之作業站的行進位置，於使行進部11停止於該行進位置的狀態下，進行撈取移載或卸除移載。以下說明中，省略有關行進部11往對應於搬運去處之作業站位置之行進移動，及行進部11從對應於搬運來處之作業站位置，往對應於搬運去處之作業站位置之行進移動。以下將搬運來處之作業站或搬運去處之作業站作為容器B之移載對象作業站，以該移載對象作業站之移載動為中心來說明。
於作業站，規定支持容器B時在俯視上的姿勢(稱為移載用規定姿勢)。然而，為了撈取由作業站支持之容器B而令夾持部30下降時，由作業站支持之容器B之凸緣Bf的位置、與夾持部30之夾持用搖動體31之位置關係，有時非為上述「設定扣合位置關係」。又，反之，為了於作業站卸除容器B而令夾持部30下降時，容器B在俯視上的姿勢有時非為作業站之「移載用規定姿勢」。控制部H為了使撈取時由作業站支持之容器B之凸緣Bf的位置、與夾持部30之夾持用搖動體31之位置關係，成為設定扣合位置關係，執行線性移動驅動控制及旋動控制。又，控制部H為了使卸除時容 器B在俯視上的姿勢，成為作業站之移載用規定姿勢，執行線性移動驅動控制及旋動控制。
控制部H就各作業站，記憶撈取時用以符合設定扣合位置關係所需之移動量，及卸除時用以符合移載用規定姿勢所需之移動量。前者的移動量是為了使撈取時由作業站支持之容器B之凸緣Bf的位置、與夾持部30之夾持用搖動體31之位置關係，成為設定扣合位置關係所需之移動量。換言之，該移動量為「令物品支持部S沿著第1方向D1移動之線性移動移動量」，及「令物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動之旋轉移動量」。又，後者的移動量是為了使卸除時容器B在俯視上的姿勢，成為作業站之移載用規定姿勢所需之移動量。換言之，該移動量為「令物品支持部S沿著第1方向D1移動之線性移動移動量」，及「令物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動之旋轉移動量」。
再者，上述「撈取時之移動量」與「卸除時之移動量」相等。因此，控制部H只要對於各作業站，記憶單一移動量(令物品支持部S沿著第1方向D1移動之線性移動移動量，及令物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動之旋轉移動量)即可。
如圖7之流程圖所示，控制部H若從高位管理裝置接受搬運指令(步驟#11)，取得記憶於控制部H之有關對應於該作業站之線性移動移動量及旋轉移動量的資訊(步驟#12)。然後，控制部H根據取得之線性移動移動量，執行上述線性移動驅動控制(步驟#13)，並根據取得之旋動移動 量，執行上述旋動控制(步驟#14)。其後，控制部H令升降驅動部M2運作，使夾持部30下降(步驟#15)，執行夾持狀態切換控制(步驟#16)。此時，藉由線性移動驅動控制及旋動控制，由作業站支持之容器B之凸緣Bf的位置、與夾持部30之夾持用搖動體31之位置關係，成為設定扣合位置關係。又，容器B在俯視上的姿勢成為作業站之移載用規定姿勢。因此，正確進行作業站之容器B的受授。
接下來，控制部H令升降驅動部M2運作，使夾持部30上升(步驟#17)。然後，控制部H根據於步驟#12取得之旋動移動量，執行旋動控制，其應使物品支持部S往相反方向，恰好旋動於步驟#14令物品支持部S繞著旋動軸部22之軸心X1旋動之旋動量相同的旋動量(步驟#18)。進而控制部H根據於步驟#12取得之線性移動移動量，執行線性移動驅動控制，其應使物品支持部S往相反方向，恰好移動於步驟#13令物品支持部S沿著第1方向D1移動之移動量相同的移動量(步驟#19)。藉此，可使物品支持部S，回到搬運用設定位置，其對應於搬運容器B時，在俯視上該容器B所應在的位置。
[其他實施形態]
(1)於上述說明表示由螺旋軸12B、及使其旋轉之旋轉馬達MK構成驅動部，直線移動體是與螺旋軸12B螺合，藉由螺旋軸12B的旋轉而移動之塊體21a的構成。然而，驅動部及直線移動體不限定於這類構成，例如亦可使沿著直線軌道自由移動之直線移動體，藉由曲柄機構沿著第1方向D1 移動而構成。此時，曲柄機構為驅動部。又，亦可藉由沿著第1方向D1循環驅動之鏈條，使直線移動體沿著第1方向D1移動而構成。此時，鏈條為驅動部。又，於支持板12S，沿著第1方向D1鋪設齒條或鏈條等，以備有與該齒條或鏈條咬合之小齒輪、及將該小齒輪進行旋轉驅動之馬達的形態，來構成直線移動體亦可。此時，驅動部由直線移動體所備有。
(2)於上述說明，表示了由第1鎖定機構L1及第2鎖定機構L2之2個鎖定機構，來構成動作狀態切換部L的範例。然而，動作狀態切換部L不限定於這類構成，例如圖8~圖10所示，亦可藉由單一鎖定機構L3來構成動作狀態切換部L。鎖定機構L3備有主體部L3a及鎖銷L3b，主體部L3a固定於線性移動用支持體23。主體部L3a設置於線性移動用支持體23之旋動軸部22與導軌12G之起立部12Ga之間。鎖銷L3b可切換往旋動軸部22側突出的狀態、與往導軌12G之起立部12Ga側突出的狀態。
於鎖銷L3b成為往旋動軸部22側突出的狀態時，如圖9所示，固定為鎖銷L3b與旋轉軸部22抵接，旋轉軸部22對於線性移動用支持體23不旋動。因此，安裝為與旋轉軸部22一體旋動之連結構件24，會限制繞著旋轉軸部22之軸心X1旋動。又，此時，由於鎖銷L3b與導軌12G之起立部12Ga離隔，因此容許連結構件24沿著第1方向D1的移動。如此可實現線性移動狀態。
進而言之，於鎖銷L3b成為往導軌12G之起立部 12Ga側突出的狀態，如圖10所示，鎖銷L3b與導軌12G之起立部12Ga抵接，限制線性移動用支持體23沿著第1方向D1的移動。又，此時，由於鎖銷L3b與旋轉軸部22離隔，因此旋轉軸部22可對於線性移動用支持體23旋動。因此，安裝為與旋轉軸部22一體旋動之連結構件24，容許以旋轉軸部22之軸心X1為中心而旋動。如此可實現旋動狀態。
(3)於上述說明為了調整天花板搬運車1之夾持部在俯視上的姿勢，而使用線性移動旋動裝置之構成。然而，本發明之線性移動旋動裝置不限於天花板搬運車1，可對於須顯現出直線移動狀態及旋動狀態之各種裝置適用。又，於上述說明物品支持體是將收納有半導體基板之容器B作為物品，為了搬運該容器B而支持的情況。然而，物品支持體亦可為了支持工具或治具等而使用。又，容器B、工具或治具等亦可並非如上述實施形態所說明，由夾持部所夾持，而是固裝於物品支持體。
(4)於上述例示從高位管理裝置接受搬運指令時，使夾持部30下降後，執行線性移動驅動控制及旋動控制，且於執行線性移動驅動控制及旋動控制後，使夾持部30上升的構成。然而，夾持部30的下降或上升、與線性移動驅動控制及旋動控制的順序亦可相反。又，線性移動驅動控制及旋動控制之任一者先執行亦可。
(5)於上述例示以在俯視上與第1方向D1正交(亦即沿著上下方向)的形態，備有移動軸心之線性移動旋動裝置(移動軸心：旋轉軸部22之軸心X1)。然而，沿著移動軸 心的方向不限定於此。亦即，移動軸心是在水平方向看來與第1方向D1正交(亦即沿著水平方向)的形態，或沿著從水平方向或上下方向傾斜的方向的形態均可。

Claims (2)

  1. 一種線性移動旋動裝置，令支持物品之物品支持部沿著直線狀之第1方向移動，且令前述物品支持部繞著與前述第1方向正交之移動軸心旋動；備有：***作構件，一體地設有前述物品支持部；支持部，將前述***作構件繞著前述移動軸心自由旋動地支持，且將前述***作構件沿著前述第1方向自由移動地支持；及直線移動體，藉由驅動部沿著前述第1方向移動；前述***作構件是從沿著前述移動軸心的方向看來，以離開前述移動軸心的部分來與前述直線移動體連結；進一步備有動作狀態切換部，其自由切換線性移動狀態與旋動狀態，而前述線性移動狀態限制前述***作構件繞著前述移動軸心的旋動，且容許前述***作構件沿著前述第1方向的移動，前述旋動狀態容許前述***作構件繞著前述移動軸心的旋動，且限制前述***作構件沿著前述第1方向的移動；及控制部，其控制前述驅動部及前述動作狀態切換部的運作；前述控制部執行線性移動驅動控制與旋動控制，而前述線性移動驅動控制是藉由將前述動作狀態切換部切換成前述線性移動狀態，令前述驅動部運作，以使前 述物品支持部沿著前述第1方向移動，前述旋動控制是藉由將前述動作狀態切換部切換成前述旋動狀態，令前述驅動部運作，以使前述物品支持部繞著旋轉軸心旋動。
  2. 如請求項1之線性移動旋動裝置，其中前述驅動部備有：螺旋軸，配設成為旋轉軸心沿著前述第1方向的姿勢；及旋轉馬達，將該螺旋軸繞著前述旋轉軸心進行旋轉驅動；前述直線移動體是以會隨著前述螺旋軸的旋轉而沿著前述第1方向移動的方式，安裝於前述螺旋軸。
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