JP6064796B2 - 光学測定装置、並びに、測定結果表示方法及び測定結果表示プログラム - Google Patents
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Description
2 光源
3 検出部
4 ステージ
5 集光部
6 ハーフミラー
7 撮像部
10 制御部
11 移動処理部
12 測定処理部
13 グラフ表示処理部
14 移動量検出処理部
15 移動方向検出処理部
16 観察画像表示処理部
20 操作部
30 表示部
31 観察画像表示領域
32 グラフ表示領域
33 ステージ移動キー
40 記憶部
311 移動方向
321 グラフ
322 グラフ
P 測定位置
Claims (10)
- 試料における任意の測定位置に光を照射し、測定位置からの光を受光することによりスペクトルを測定して、その測定結果を表示画面に表示させる光学測定装置であって、
試料の測定位置を移動させるための測定位置移動機構と、
複数回分の測定結果の履歴として、複数のスペクトルデータを測定位置に対応付けて記憶する履歴記憶部と、
スペクトルデータを前記表示画面のグラフ表示領域に表示させるグラフ表示処理部とを備え、
前記グラフ表示処理部は、前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、移動後の測定位置に対応するスペクトルデータを前記グラフ表示領域に2軸表示させるとともに、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記グラフ表示領域内に実際の表示位置からずらして2軸表示させることを特徴とする光学測定装置。 - 前記グラフ表示処理部は、前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、移動後の測定位置に対応するスペクトルデータを前記グラフ表示領域に縦軸及び横軸の値に正確に対応付けて表示させるとともに、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、縦軸及び横軸の値に正確に対応付けずに前記グラフ表示領域内に実際の表示位置からずらして表示させることを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
- 前記グラフ表示処理部は、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、縦軸方向及び横軸方向にずらして表示させることを特徴とする請求項2に記載の光学測定装置。
- 前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他のスペクトルデータの測定位置に基づいて、測定位置の移動方向を検出する移動方向検出処理部をさらに備え、
前記グラフ表示処理部は、前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、移動後の測定位置に対応するスペクトルデータを前記グラフ表示領域に表示させるとともに、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記移動方向検出処理部により検出された測定位置の移動方向に応じた方向にずらして表示させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記グラフ表示処理部は、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記移動方向検出処理部により検出された測定位置の移動方向とは反対方向にずらして表示させることを特徴とする請求項4に記載の光学測定装置。
- 前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他のスペクトルデータの測定位置に基づいて、移動前の測定位置からの移動量又は単位時間当たりの移動量を検出する移動量検出処理部をさらに備え、
前記グラフ表示処理部は、前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、移動後の測定位置に対応するスペクトルデータを前記グラフ表示領域に表示させるとともに、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記移動量検出処理部により検出された測定位置の移動量に応じた量だけずらして表示させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記グラフ表示処理部は、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記移動量検出処理部により検出された測定位置の移動量に比例する量だけずらして表示させることを特徴とする請求項6に記載の光学測定装置。
- 測定位置を含む試料の観察画像を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像される観察画像を前記表示画面の観察画像表示領域に表示させる観察画像表示処理部とをさらに備え、
前記観察画像表示処理部は、前記測定位置移動機構により試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、前記移動方向検出処理部により検出された測定位置の移動方向を、前記観察画像表示領域に表示させた観察画像中に表示させることを特徴とする請求項4又は5に記載の光学測定装置。 - 試料における任意の測定位置からの光を受光することにより測定されるスペクトルの測定結果を表示画面に表示させる測定結果表示方法であって、
複数回分の測定結果の履歴として、複数のスペクトルデータを測定位置に対応付けて履歴記憶部に記憶させる履歴記憶ステップと、
スペクトルデータを前記表示画面のグラフ表示領域に表示させるグラフ表示処理ステップとを含み、
前記グラフ表示処理ステップでは、試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、移動後の測定位置に対応するスペクトルデータを前記グラフ表示領域に2軸表示させるとともに、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記グラフ表示領域内に実際の表示位置からずらして2軸表示させることを特徴とする測定結果表示方法。 - 試料における任意の測定位置からの光を受光することにより測定されるスペクトルの測定結果を表示画面に表示させる測定結果表示プログラムであって、
複数回分の測定結果の履歴として、複数のスペクトルデータを測定位置に対応付けて履歴記憶部に記憶させる履歴記憶ステップと、
スペクトルデータを前記表示画面のグラフ表示領域に表示させるグラフ表示処理ステップとをコンピュータに実行させ、
前記グラフ表示処理ステップでは、試料の測定位置を移動させてスペクトルが測定された場合に、移動後の測定位置に対応するスペクトルデータを前記グラフ表示領域に2軸表示させるとともに、前記履歴記憶部に履歴として記憶されている他の測定位置に対応するスペクトルデータを、前記グラフ表示領域内に実際の表示位置からずらして2軸表示させることを特徴とする測定結果表示プログラム。
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JP2013119170A JP6064796B2 (ja) | 2013-06-05 | 2013-06-05 | 光学測定装置、並びに、測定結果表示方法及び測定結果表示プログラム |
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JP2014235415A JP2014235415A (ja) | 2014-12-15 |
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