JP6058386B2 - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6058386B2 JP6058386B2 JP2012282583A JP2012282583A JP6058386B2 JP 6058386 B2 JP6058386 B2 JP 6058386B2 JP 2012282583 A JP2012282583 A JP 2012282583A JP 2012282583 A JP2012282583 A JP 2012282583A JP 6058386 B2 JP6058386 B2 JP 6058386B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- pipe
- valve
- levitation
- slider
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 52
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 45
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 30
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
したがって、ターンテーブルの浮上と着座(吸引保持)とを瞬時に切り換えることができ、加工装置の動作を速くするとともに加工装置における他の機構に悪影響を及ぼさないようにすることができる。
したがって、ターンテーブル3の浮上状態と着座状態とを瞬時に切り換えることができ、加工装置1の動作を速くさせるとともに加工装置1における他の機構(例えば、加工テーブル6)に悪影響を及ぼさないようにすることができる。
3a:下面 4:回転部 5:モータ6:加工テーブル 7:加工手段 7a:回転軸
7b:ハウジング 7c:加工ホイール 8:加工送り手段 8a:ボールネジ
8b:モータ 8c:昇降部
10:浮上機構 11:第1の配管 12:第2の配管13:浮上バルブ 14:空気源
20:着座機構 21:第3の配管 22:吸引バルブ 23:吸引源
24:第4の配管 30:スライダー部 31:スライダー面 32:空気孔
40:開放バルブ 50:制御部
W:ワーク Wa:上面
Claims (3)
- 円盤状のターンテーブルと、該ターンテーブルの上面に配設された複数の加工テーブルと、該ターンテーブルの中心を軸として該ターンテーブルを回転させる回転部と、該加工テーブルに保持される被加工物を加工する加工手段とから構成される加工装置において、
該加工装置は、該ターンテーブルの下面に空気を吹きつけ該ターンテーブルを浮上させる浮上機構と、
該浮上機構により浮上した該ターンテーブルを該回転部によって該加工手段に対応する所定の位置に回転移動させた時に、該回転部の停止後に該ターンテーブルの下面を吸引保持する着座機構と、を備え、
該浮上機構は、該ターンテーブルの下面に対面するスライダー面を備えるスライダー部と、該スライダー部に接続される第1の配管と、該第1の配管に連結し空気源に連通する第2の配管と、該第2の配管に配設される浮上バルブとから構成され、
該着座機構は、該スライダー部と、該スライダー部に接続される該第1の配管に連結し吸引源に連通する第3の配管と、該第3の配管に配設される吸引バルブとから構成され、
該第1の配管には、一方を接続して他方を大気開放する開放バルブが配設され、
該浮上バルブと該吸引バルブと該開放バルブとを制御する制御部を備え、該スライダー部に対する該ターンテーブルの浮上と該スライダー部における該ターンテーブルの着座とを切り換えるときに、該制御部により該開放バルブを開くことによって該第1の配管を大気開放して残圧を除去し、該浮上機構と該着座機構とを機能させる加工装置。 - 前記制御部は、前記浮上バルブを開いて前記第1の配管の内部が陽圧となることにより前記ターンテーブルが浮上している浮上状態から該浮上バルブを閉じ、前記開放バルブを瞬時開閉することにより該第1の配管を大気開放し、
前記吸引バルブを開いて前記スライダー面に該ターンテーブルの下面を吸引保持させる前記着座機構を機能させる請求項1記載の加工装置。 - 前記制御部は、前記吸引バルブを開いて前記第1の配管の内部が負圧となることにより前記スライダー面において前記ターンテーブルを吸引保持している着座状態から該吸引バルブを閉じ、前記開放バルブを瞬時開閉することにより該第1の配管を大気開放し、
前記浮上バルブを開いて該ターンテーブルを浮上させる前記浮上機構を機能させる請求項1記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012282583A JP6058386B2 (ja) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012282583A JP6058386B2 (ja) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014124710A JP2014124710A (ja) | 2014-07-07 |
JP6058386B2 true JP6058386B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=51404662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012282583A Active JP6058386B2 (ja) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6058386B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109746702A (zh) * | 2017-11-07 | 2019-05-14 | 上海铼钠克数控科技股份有限公司 | 可交换式双工作台加工机床 |
CN109093488B (zh) * | 2018-10-15 | 2019-11-12 | 江山市志成阀门有限公司 | 一种防堵塞的球阀座的加工设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS614638A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-10 | Omron Tateisi Electronics Co | 移動台固定装置 |
JPH0226582Y2 (ja) * | 1985-03-13 | 1990-07-19 | ||
JPH10235558A (ja) * | 1997-02-26 | 1998-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研磨装置 |
JP2007229904A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | ターンテーブルを有する加工装置 |
JP5342253B2 (ja) * | 2009-01-28 | 2013-11-13 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
2012
- 2012-12-26 JP JP2012282583A patent/JP6058386B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014124710A (ja) | 2014-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107108138B (zh) | 坯料分离装置以及坯料分离方法 | |
JP2007142267A5 (ja) | ||
JP2008147591A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
KR102425864B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR102185240B1 (ko) | 판형 워크의 반출 방법 | |
JP6058386B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2002246347A (ja) | ウェーハの平面加工装置及びその平面加工方法 | |
JP5036596B2 (ja) | 吸着装置 | |
JP5144191B2 (ja) | 研削装置のチャックテーブル機構 | |
JP2011091246A (ja) | 板状ワーク着脱方法及び加工装置 | |
JP2018032747A (ja) | 板状物搬送装置及び加工装置 | |
JP5989501B2 (ja) | 搬送方法 | |
JP5721453B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
JPWO2017216859A1 (ja) | 電子部品装着機および電子部品切離し方法 | |
JP4417525B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5914062B2 (ja) | 板状ワークの保持解除方法及び加工装置 | |
TW201805091A (zh) | 物件吸載機構 | |
JP2020004788A (ja) | ウェーハ剥離装置 | |
JP4457351B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JP2008230836A (ja) | 物品移動装置 | |
JP2019057618A (ja) | リングフレーム搬送機構 | |
JP5007166B2 (ja) | 研削装置のチャックテーブル機構 | |
JP6482902B2 (ja) | 素材分離装置 | |
JP6685857B2 (ja) | 加工装置 | |
JP7104531B2 (ja) | 基板保持装置および基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150428 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6058386 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |