JPH0226582Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （技術分野） 本考案は、圧縮空気源から供給される圧縮空気
を下面に形成した空気噴出口から噴出させ、該下
面と定盤面との間に空気の薄膜を形成することに
より、所定の物体を積載した移動テーブルを定盤
面上において軽快に移動させ得るようにした定盤
面移動テーブル装置に関するものである。

（背景技術） 例えば、被測定物の寸法を測定したり、被加工
物に穴明け等の加工を施したりする際には、かか
る被測定物や被加工物を作業装置の定盤面上に載
置し、これを所定位置に移動させて、精度良く位
置合わせする必要がある。また、作業位置自体を
所定の定盤面上に載置するとともに、その同じ定
盤面上に被測定物や被加工物をも載置して、それ
らを相対移動させつつ、測定や加工を行うことも
ある。

ところで、このような被測定物や被加工物、更
には作業装置等の所定の物体を定盤面上に載置し
て移動する場合、従来は、作業者が手作業で行つ
ているのが普通である。すなわち、その物体が軽
量物であれば、作業者がそれを持ち上げて、定盤
面上の所定位置に載置するのであり、また重量物
である場合には、ホイスト等によつてその物体を
持ち上げ、定盤面上のおおよその位置に載置した
後、プラスチツクハンマ等を用いて所定の位置に
位置合わせするのである。

しかし、定盤面上に載置された重量物をプラス
チツクハンマ等で叩いて移動させる作業は面倒で
多くの時間を要するうえ、作業者の労力負担が大
きく、しかも高い精度で位置合わせを行うために
は作業に熟練していることが必要である。また、
このような重量物が定盤面上を滑つて移動させら
れることにより、定盤面に疵が付くという問題も
ある。

そこで、本願出願人は、先に、実願昭60−
10984号において、圧縮空気源から供給される圧
縮空気を下面に形成した空気噴出口から噴出さ
せ、該下面と定盤面との間に空気の薄膜を形成す
ることにより、所定の物体を積載して定盤面上を
軽快に移動させ得るようにした定盤面移動テーブ
ルを提案した。このような定盤面移動テーブルを
用いれば、重量物であつても、特に熟練を要する
ことなく、定盤面上の所定位置に精度良く、容易
に位置合わせできるのであり、その際、定盤面に
疵を付けることもないのである。

（考案が解決しようとする課題） しかし、このような定盤面移動テーブルを用い
る場合には、積載される物体が重いときにはよい
が、比較的軽い場合には、振動が加えられた時な
どに物体が移動テーブルごと位置決めされた位置
から移動してしまう恐れがあつた。

また、特開昭59−227339号公報には、上記した
定盤面移動テーブル装置ではないが、各種自動機
械におけるパレツト等のスライド及び静止装置と
して、圧縮空気の噴出によつてパレツト等を浮動
せしめる一方、減圧吸引（吸気）によつてパレツ
ト等をベースに固定せしめるようにした構造のも
のが提案されているが、このような構造の装置に
あつては、圧縮空気源と減圧吸引源の二つの圧力
源（装置）が必要とされ、そのために、装置の大
型化、ひいてはコストの上昇を招く等の問題を内
在するものであつた。

（課題を解決するための手段） このような課題を解決するために、本考案に係
る定盤面移動テーブル装置は、(a)平坦な下面に互
いに独立した複数の空気案内溝を有するととも
に、それら複数の空気案内溝にそれぞれ連通する
空気噴出口を備え、内部に形成された空気通路を
通じて、それら各空気噴出口から噴出させられる
圧縮空気が前記下面と定盤面との間に空気の薄膜
を形成することにより、所定の物体を積載して該
定盤面上を軽快に移動し得るようにされた移動テ
ーブルと、(b)所定の圧縮空気源に接続されて、該
移動テーブルの空気通路に圧縮空気を供給する第
一の空気通路と、(c)前記圧縮空気源から供給され
る圧縮空気により駆動せしめられて、負圧を発生
せしめる減圧ポンプ手段と、(d)該減圧ポンプ手段
に接続されて、前記移動テーブルの空気通路に負
圧を作用せしめる第二の空気通路と、(e)前記第一
の空気通路と該第二の空気通路とを切り換えて、
これらの何れか一方を前記移動テーブルの空気通
路に接続せしめる第一の切換弁手段とを含むよう
に構成される。

（作用） このような定盤面移動テーブル装置では、第一
の切換弁手段によつて第一の空気通路が移動テー
ブルの空気通路に接続されると、圧縮空気源から
の圧縮空気が移動テーブルの空気通路に供給さ
れ、さらに空気噴出口から空気案内溝内に噴出さ
せられて、移動テーブルの下面と定盤面との間に
空気の薄膜を形成し、移動テーブルの軽快な移動
を可能にする。また、第一の切換弁手段によつ
て、圧縮空気源の圧縮空気にて駆動せしめられる
減圧ポンプ手段に接続せしめられた第二の空気通
路が移動テーブルの空気通路に接続されると、移
動テーブルの空気通路内、ひいては定盤面によつ
て塞がれる各空気案内溝内の空気が排出され、そ
れら空間内の圧力と大気圧との差によつて移動テ
ーブルが定盤面に吸着される。

（考案の効果） つまり、本考案によれば、第一の切換弁手段を
切り換えるだけの簡単な操作により、物体の重量
に拘わらず、その物体の位置決めを容易に行うこ
とが可能となるとともに、その物体を定盤面に固
定することが可能となるのであり、その物体を用
いた測定や加工などの作業を能率良く且つ短時間
で行うことが可能となるのである。

また、本考案によれば、前述のように移動テー
ブルが空気案内溝内の圧力と大気圧との圧力差に
基づいて固定されるところから、定盤の材質に拘
わらず、移動テーブルを定盤面の所望の位置に固
定できるという利点もある。

さらに、本考案にあつては、移動テーブルの空
気通路に圧縮空気を供給する圧縮空気源を利用し
て、それから導かれる圧縮空気を動力源として減
圧ポンプ手段を駆動せしめて負圧を発生させ、か
かる負圧を、第二の空気通路を通じて移動テーブ
ルの空気通路に作用せしめるようにしたものであ
るところから、負圧源を特別に用意する必要がな
く、単に一つの圧縮空気源のみで済むため、装置
の大型化、コストの上昇が効果的に回避し得るこ
ととなつたのである。

（実施例） 以下、本考案をより一層具体的に明らかにする
ために、その実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図において、１０は移動テーブルであり、
図示しない測定装置の鋼，石，セラミツクス等か
ら成る定盤１１の定盤面１２上に置かれて、その
上面に積載された被測定物１４を所定の位置まで
移動させるものである。この移動テーブル１０
は、第２図および第３図に詳細に示されるよう
に、円板状を成しており、その上面１６および下
面１８が互いに平行な平坦面とされている。下面
１８には、空気案内溝としての互いに独立した複
数（ここでは４条）のＶ字溝２０が移動テーブル
１０の中心線を中心として同心円状に形成されて
おり、これらＶ字溝２０にそれぞれ開口して複数
の空気噴出口２２が連通せしめられている。各空
気噴出口２２は移動テーブル１０の側面に開口す
る空気通路２４は連通させられており、後述する
ように、空気通路２４内に圧縮空気が供給された
とき、その圧縮空気をＶ字溝２０内に噴き出すよ
うになつている。

また、移動テーブル１０の中央には、取付穴２
６が形成されており、被測定物１４がこの取付穴
２６で移動テーブル１０に固定されるようになつ
ている。なお、空気通路２４は、下面１８に平行
に且つ移動テーブル１０の中心に向かつて形成さ
れており、その断面積は空気噴出口２２の断面に
比べて充分大きくされている。また、空気噴出口
２２は、下面１８に開口して形成された２つの通
孔２８をそれぞれ塞ぐ状態で圧入固定されたブツ
シユ３０に各２個ずつ形成され、移動テーブル１
０の中心線を通り、空気通路２４の中心線に平行
な一直線上において、各Ｖ字溝２０に開口させら
れている。

さらに、上記移動テーブル１０の空気通路２４
は、第１図に示されているように、空気通路３１
を介して第一の切換弁手段である電磁切換弁３２
に接続されている。また、電磁切換弁３２は、第
一の空気通路である空気通路３４を通じ、レギユ
レータ弁３６を介して圧縮空気源としてのコンプ
レツサ３８に接続されるとともに、第二の空気通
路である空気通路４０を通じて負圧源としてのベ
ンチユリポンプ４２に接続されている。そして、
この電磁切換弁３２が図示しない操作手段の操作
に従つて切り換えられることにより、移動テーブ
ル１０内の空気通路２４が空気通路３４および４
０の何れか一方に選択的に連通させられ、あるい
はそれらの何れにも連通させられないようになつ
ている。

また、ベンチユリボンプ４２は空気通路４４を
介してコンプレツサ３８に接続されている。この
空気通路４４上には、前記電磁切換弁３２の切換
えに連動して、コンプレツサ３８からベンチユリ
ポンプ４２への圧縮空気の供給を許容する状態
と、それを阻止する状態とに切り換えられる、第
二の切換弁手段である電磁切換弁４６が設けられ
ており、電磁切換弁３２が移動テーブル１０内の
空気通路２４を空気通路４０に接続する状態に切
り換えられたとき、コンプレツサ３８からの圧縮
空気をベンチユリポンプ４２に供給して、それを
駆動せしめるようになつている。なお、４８はフ
イルタである。

このような装置では、電磁切換弁３２の切換え
によつて移動テーブル１０内の空気通路２４が空
気通路３４に接続されると、コンプレツサ３８か
ら空気通路２４内に圧縮空気が供給され、その圧
縮空気が各空気噴出口２２から各Ｖ字溝２０内に
噴出させられて、それらＶ字溝２０から移動テー
ブル１０の下面１８と定盤面１２との間に全体に
わたつて均一に噴き出させられる。そして、これ
によつて移動テーブル１０の下面１８と定盤面１
２との間に空気の薄膜が形成され、移動テーブル
１０の定盤面１２上での軽快な移動が可能とされ
る。つまり、このときには被測定物１４を定盤面
１２上で軽快に移動させることができ、被測定物
１４を所定の位置に容易に位置合わせすることが
できるのである。なお、このとき、各空気噴出口
２２から噴出される圧縮空気の圧力が高過ぎる
と、移動テーブル１０と定盤面１２との間の距離
が大きくなり過ぎて移動テーブル１０に振動が発
生し易くなるため、圧縮空気の圧力はレギユレー
タ弁３６によつて適正な大きさに減圧されること
となる。

一方、電磁切換弁３２の切換えによつて移動テ
ーブル１０内の空気通路２４が空気通路４０に接
続されると、それと同時に電磁切換弁４６の切換
えによつてコンプレツサ３８からの圧縮空気がベ
ンチユリポンプ４２に供給され、ベンチユリポン
プ４２の駆動が開始される。そして、これによつ
て空気通路２４内、ひいては各空気噴出口２２を
通じて各Ｖ字溝２０内の空気が排出され、それら
Ｖ字溝２０内の圧力が低減されて、それらＶ字溝
２０内の圧力と大気圧との圧力差により移動テー
ブル１０が定盤面１２上に吸着固定される。つま
り、その圧力差に基づく吸着力と移動テーブル１
０の定盤面１２に対する静止摩擦力によつて移動
テーブル１０が定盤面１２上に固定されるのであ
り、したがつてこのときには被測定物１４の重量
が軽くても、振動等によつて被測定物１４の位置
が容易に変動することはないのである。なお、ベ
ンチユリポンプ４２は、移動テーブル１０や被測
定物１４の重量，移動テーブル１０の下面１８の
面積等によつても異なるが、通常は、移動テーブ
ル１０の空気通路２４内の圧力を200〜300mmHg
程度に減圧する能力があれば足りる。

以上説明したように、本実施例の移動テーブル
装置によれば、電磁切換弁３２の切換操作を行う
だけで、被測定物１４の位置合わせを容易に行う
ことが可能となるとともに、移動テーブル１０を
定盤面１２上の所定の位置に強固に固定すること
が可能となるのであり、被測定物１４の重量に拘
わらず、被測定物１４の測定作業を短時間で精度
良く行うことが可能となるのである。しかも、本
実施例では、負圧源がコンプレツサ３８から供給
される圧縮空気を動力源として駆動されるベンチ
ユリポンプ４２とされているので、負圧源を特別
に用意する必要がないという利点もある。

なお、上記実施例では、移動テーブル１０を定
盤面１２に吸着固定する間、電磁切換弁３２が移
動テーブル１０の空気通路２４を空気通路４０に
接続する状態に保持され、空気通路２４内の空気
がベンチユリポンプ４２によつて排出され続けら
れるようになつていたが、移動テーブル１０の空
気通路２４に連通するアキユムレータを設け、空
気通路２４内の圧力を一定圧力以下に減圧した後
は電磁切換弁３２を給排停止位置に切り換え、ア
キユムレータによつてその減圧状態を維持させる
ようにすることも可能である。第４図にそのよう
なアキユムレータの一例を示す。

第４図において、５０は空気通路２４に連通
し、上面１６に開口する状態で移動テーブル１０
に形成された通孔であり、上面１６側の部分が大
径部５２とされるとともに、その開口部がプラグ
５４によつて塞がれている。大径部５２内にはピ
ストン５６が摺動可能に嵌合されており、これに
よつて大径部５２内の空間が空気通路２４に連通
する減圧室５８と、移動テーブル１０の側面に開
口する通孔６０によつて大気に開放された大気室
６２とに分けられている。また、ピストン５６と
大径部５２の段付部との間には圧縮スプリング６
４が配設され、この圧縮スプリング６４によりピ
ストン５６が大気室６２側に向かつて常時付勢さ
れている。

このようなアキユムレータ６６では、空気通路
２４内の圧力が低下するとピストン５６が圧縮ス
プリング６４の付勢力に抗して減圧室５８側へ移
動させられ、空気の排出停止後において移動テー
ブル１０の下面１８と定盤面１２との間からＶ字
溝２０内に空気が侵入し、空気通路２４内の圧力
が上昇すると、ピストン５６が圧縮スプリング６
４の付勢力に従つて大気室６２側へ移動させられ
て、その上昇分を吸収する。つまり、電磁切換弁
３２の切換えによつて空気通路２４内の空気の排
出が停止された後においても、アキユムレータ６
６によつて空気通路２４内の減圧状態が一定期間
持続され、その間、移動テーブル１０が定盤面１
２に強固に固定され続けるのである。なお、この
ようなアキユムレータを採用することによつて、
ベンチユリポンプ４２をはじめとする負圧源の駆
動に伴う騒音の発生期間を短縮することが可能と
なる。

以上、本考案のいくつかの実施例を説明した
が、これらは文字通りの例示であつて、本考案は
これに限定して解釈されるべきものではない。

例えば、前記実施例では、切換弁手段としての
電磁切換弁３２が三位置弁とされていたが、これ
に限定されるものではなく、空気通路３４および
４０にそれぞれ接続された２位置弁を連動して制
御するようにしてもよい。

また、前記実施例では、負圧源としてベンチユ
リポンプ４２が採用されていたが、負圧源はそれ
以外の減圧ポンプ手段であつてもよく、要するに
コンプレツサ３８からの圧縮空気によつて駆動さ
れるものであれば、如何なる減圧ポンプ手段をも
採用可能である。

さらに、移動テーブル１０の形状や空気通路２
４の形成位置や形状，空気案内溝の断面形状や配
設位置，空気噴出口の配設位置や形成個数等も状
況に応じて適宜変更するとが可能である。

そしてまた、前記実施例では、移動テーブル１
０が被測定物１４を移動するために用いられる場
合の例について述べたが、移動テーブルは、被加
工物や測定装置など定盤面上を移動させる必要が
ある他の物体を移動する場合にも同様に用いるこ
とができる。さらに、移動テーブルは必ずしも単
独で用いられる必要はなく、複数の移動テーブル
をそれぞれ独立して上下に所定量動き得る状態で
連結し、それら連結した移動テーブルによつて共
通の物体を積載するようにすることも可能であ
る。

その他、一々列挙はしないが、本考案がその趣
旨を逸脱しない範囲内において種々なる変形，改
良等を施した態様で実施し得ることは勿論であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す系統図であ
り、第２図は第１図の移動テーブルの正面拡大断
面図であり、第３図は第２図の底面図である。第
４図は本考案の別の実施例の移動テーブルを示す
要部断面図である。 １０……移動テーブル、１２……定盤面、１４
……被測定物、１８……下面、２０…Ｖ字溝（空
気案内溝）、２２……空気噴出口、２４……空気
通路（移動テーブルの）３２……電磁切換弁（第
一の切換弁手段）、３４……空気通路（第一の空
気通路）、３６……レギユレータ弁、３８……コ
ンプレツサ（圧縮空気源）、４０……空気通路
（第二の空気通路）、４２……ベンチユリポンプ
（負圧源）、４６……電磁切換弁（第二の切換弁手
段）、６６……アキユムレータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平坦な下面に互いに独立した複数の空気案内
   溝を有するとともに、それら複数の空気案内溝
   にそれぞれ連通する空気噴出口を備え、内部に
   形成された空気通路を通じて、それら各空気噴
   出口から噴出させられた圧縮空気が前記下面と
   定盤面との間に空気の薄膜を形成することによ
   り、所定の物体を積載して該定盤面上を軽快に
   移動し得るようにされた移動テーブルと、 所定の圧縮空気源に接続されて、該移動テー
   ブルの空気通路に圧縮空気を供給する第一の空
   気通路と、 前記圧縮空気源から供給される圧縮空気によ
   り駆動せしめられて、負圧を発生せしめる減圧
   ポンプ手段と、 該減圧ポンプ手段に接続されて、前記移動テ
   ーブルの空気通路に負圧を作用せしめる第二の
   空気通路と、 前記第一の空気通路と該第二の空気通路とを
   切り換えて、それらの何れか一方を前記移動テ
   ーブルの空気通路に接続せしめる第一の切換弁
   手段と、 を含み、該第一の切換弁手段の切換作動にて、
   前記第一の空気通路が前記移動テーブルの空気
   通路に接続せしめられることにより、前記移動
   テーブルの軽快な移動が可能にされる一方、前
   記第二の空気通路が前記移動テーブルの空気通
   路に接続せしめられることにより、前記減圧ポ
   ンプ手段にて発生した負圧による吸引作用によ
   つて、該移動テーブルが前記定盤面に吸着され
   るようにしたことを特徴とする定盤面移動テー
   ブル装置。 (2) 前記第一の切換弁手段の切換作動による前記
   移動テーブルの空気通路に対する前記第二の空
   気通路の接続に連動して、前記減圧ポンプ手段
   と前記圧縮空気源とを接続せしめる第二の切換
   弁手段を設けたことを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項記載の定盤面移動テーブル装
   置。