JP6054574B1 - プローブカード搬送具 - Google Patents
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Claims (5)
- 一方の面がプローブカードと対向する平板状の天板部と、
前記天板部に設置され、前記プローブカードを固定するカード固定機構とを備え、
前記カード固定機構は、前記天板部の他方の面側からの操作により、前記プローブカードの前記天板部への固定及び解除が可能であることを特徴とするプローブカード搬送具。 - 前記天板部の前記一方の面の周縁部から延在し、前記プローブカードを取り囲む側壁部を備えたことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード搬送具。
- 前記カード固定機構は、前記天板部の前記一方の面側において前記プローブカードに螺合されるネジと、前記他方の面側に配置されるつまみとを備えたつまみ付ネジであり、前記天板部を貫通することを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード搬送具。
- 前記側壁部には、搬送するための取っ手を備えたことを特徴とする請求項2に記載のプローブカード搬送具。
- 前記プローブカード搬送具は、少なくとも一部が透明であり、前記プローブカード搬送具を介して前記プローブカードが目視可能とされていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のプローブカード搬送具。
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