JP2019149435A

JP2019149435A - プローブカード収納ケース

Info

Publication number: JP2019149435A
Application number: JP2018032694A
Authority: JP
Inventors: 守弘斉藤; Morihiro Saito
Original assignee: Kyodo KK
Current assignee: Kyodo KK
Priority date: 2018-02-27
Filing date: 2018-02-27
Publication date: 2019-09-05

Abstract

【課題】従来、プローブカード収納ケースに収納されたプローブを、外部から観察や検査することができなかった。【解決手段】本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカードのプローブ側に対向する側のケース部に、すべての上記プローブを観察できる透明部を設けたことを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウエハ検査用のプローブカードを収納したままプローブ（探針）の観察や検査ができる、プローブカード収納用のケースに関するものである。

半導体製造分野において、後工程の最終検査で、製造された半導体チップ（ウエハ）に、プローバ検査機に取り付けたプローブカードを接触させて交信し、該半導体チップの良否を測定する。該半導体チップは、非常に精度の高い品質が求められており、プローブカードのプローブ（探針）も、精度の高いものが必要とされる。

近年シリコンウエハは、次第に大口径となり、このためプローブカードも大型化が進み、プローブカード自体の重量も２０ｋｇ以上となり、プローブカードの移動には、プローブカード収納ケースでの移動が必要となる。

また、極端に軽い１．５ｋｇ以下のプローブカードが、今後主流になるとしても、精密機器を移動、搬送し、ホコリなどから保護するためのプローブカード収納ケースの必要性は高い。

図４〜図８は、従来の、例えば、プラスチック加工製又はジュラルミン製のプローブカード収納ケース１及び該収納ケース１に収納されるプローブカード２を示す。

上記収納ケース１は、上記プローブカード２を収納する、プローブカード挿入用の開口部を有する一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を開閉自在に塞ぐ他方のケース部とよりなり、例えば、上記一方のケース部は、床に載置され上記プローブカード２が収納される上面が開口した下側ケース部３であり、上記他方のケース部は、上記下側ケース部３の上面開口を開閉自在に塞ぐ上側ケース部４であり、上記一方のケース部と他方のケース部とは、上記一方のケース部の開口部を上記他方のケース部により塞ぐことにより、プローブカード２を上記収納ケース１内に、収納できるように形成される。

なお、上記一方のケース部と上記他方のケース部は、それぞれ、例えば、一体成型で形成される。

上記プローブカード２は、例えば、図５及び図６に示すように、円板状のプローブカード基板５と、該プローブカード基板５の下面に設けられた多数のプローブ（探針）６と、上記プローブカード基板５の上面に固定された基板補強用の、例えばリング状に形成されたスティフナー（補強材）７と、該スティフナー７の外周側面の所望の位置に設けた凸部などの一方の位置決め部８とよりなる。

なお、上記プローブ６は、上記プローブカード基板５の下面に、検査する半導体チップに接触できる位置に設けられ、例えば、図６に示すように、上記プローブカード基板５の下面の中央の円内（以下、プローブが設置される範囲を「プローブ設置エリア」という）に設けられる。

また、上記スティフナー７は、例えば、上記プローブカード基板５の外径よりも、大きく形成され、後述するように、上記プローブカード基板５よりも、外方に突出した部分で、上記収納ケース１に支持されるようになる。

また、上記一方の位置決め部８は、上記スティフナー７の外周側面に、複数、例えば、等間隔で設けられている。

また、上記下側ケース部３は、例えば、矩形状の底板３ａとなる板体と、該底板３ａの外周縁部から立設した側壁部３ｂとよりなり、矩形箱状に形成される。

また、上記底板３ａ上面の周辺部の、例えば、４か所には、上記プローブカード２を、上記底面３ａから所望の高さで載置して支持する載置台１０が設けられる。

そして、該載置台１０は、例えば、上記プローブカード２のスティフナー７の外周部の下面を載置する載置面１０ａと、上記プローブカード２に形成した一方の位置決め部８に嵌合する、凹部などの他方の位置決め部１０ｂとより形成される。なお、上記載置面１０ａの上面は、ゴムなどの弾性部材などの保護部材（図示せず）により形成してもよい。

そして、上記４つの載置部１０の載置面１０ａに、上記プローブカード２を、プローブ６側を下側にして、載置すると共に、上記一方の位置決め部８を、他方の位置決め部１０ｂに係合することにより、上記プローブカード２を、上記底面３ａから所望の高さに位置して載置させると共に、位置決めできるようになる。

また、収納されたプローブ６が下側を向いているので、上記上側ケース部４を開いても、上記プローブ６が見えず、該プローブ６が保護されるようになる。

また、上記上側ケース部４は、例えば、矩形状の天井板４ａとなる板体と、該天井板４ａの外周縁部から垂下した側壁部４ｂとよりなり、上記下側ケース部３の側壁部３ｂの上端と、上記上側ケース部４の側壁部４ｂの下端とが当接することにより、上記下側ケース部３の上面が、上記上側ケース部４により塞がれるようになる。

また、上記天井板４ａの下面には、下方に突出した押え部材１１が形成され、上記下側ケース部３に上記上側ケース部４を塞いだ時に、上記押え部材１１が、上記下側ケース部３の載置台１０に載置されたプローブカード２のスティフナー７を上から下に押圧して、上記プローブカード２を上記収納ケース１に固定できるように形成される。なお、上記押え部材１１の下端を、ゴムなどの弾性部材などの保護部材１７により形成してもよい。

なお、上記プローブカード２を上記収納ケース１に固定する手段は、上記押え部材１１を用いずに、上記載置台１０や上記下側ケース部３に設けた固定手段（図示せず）により、例えば、挟持して固定するようにしてもよい。

なお、１２は、上記収納ケース１の一側面に設けられたヒンジ部を示し、該ヒンジ部１２により、上記下側ケース部３の一側面と上記上側ケース部４の一側面が連結した状態で、上記上側ケース部４を開閉自在にできるようになる。

なお、上記下側ケース部３と、上記上側ケース部４とを、他の手段により、連結するようにしてもよく、分離可能となるように連結するようにしてもよい。

また、上記下側ケース部３が、上記上側ケース部４により閉じられた後は、図示しない固定手段により、上記下側ケース部３と上記上側ケース部４が固定されるようになる。

また、必要に応じて、上記収納ケース１の一側面又は他側面等に、取っ手（図示せず）を設けても良い。

例えば、従来のプローブカード収納ケースとしては、特許文献１がある。

実用新案登録第３１７１６８７号公報

プローブカード２は、例えば、上側ケース部４を開いた時でも、プローブ６に触れないように、プローブ６側を下にして、収納ケース１に固定されるのが一般的である。

また、プローブカード２のプローブ６は、精度の高いものである必要があるため、目視検査や、顕微鏡検査などが必要とされるが、収納ケース１に収納されたプローブカード２のプローブ６を検査するためには、従来は、一旦、プローブカード２を収納ケース１から取り出し、目視検査や、顕微鏡検査をしていたため、手間がかかり、また、取り出す際に、プローブカード２の破損のおそれや、プローブカード２にホコリがついてしまう場合があった。

そして、多数のプローブのうち、一つでも、破損したり、使用できなくなったりしただけでも、全体として、使用できなくなる可能性があり、プローブカードの扱いは慎重を期すものであった。

本発明は、収納ケース１からプローブカード２を取り出すことなく、プローブ６の目視検査、顕微鏡検査などができる収納ケースを提供することを目的とする。

本発明のプローブカードケースは、プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカードのプローブ側に対向する側のケース部の全体を透明に形成したことを特徴とする。

また、上記プローブ側に対向する側のケース部は、ガラス、又は、ポリカーボネイト樹脂、又は、アクリル樹脂、又は、ポリプロピレン樹脂であることを特徴とする。

また、本発明のプローブカードケースは、プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカードのプローブ側に対向する側のケース部に、すべての上記プローブを観察できる透明部を設けたことを特徴とする。

また、上記透明部は、上記プローブ側に対向する側のケース部に設けた開口部と、該開口部を塞ぐ透明部材とよりなることを特徴とする。

また、上記プローブ側に対向する側のケース部は一体成型で形成され、上記透明部材は、該ケース部とは別素材であることを特徴とする。

また、上記透明部は、ガラス、又は、ポリカーボネイト樹脂、又は、アクリル樹脂、又は、ポリプロピレン樹脂であることを特徴とする。

また、上記透明部の外表面は、上記プローブ側に対向する側のケース部の床載置面よりも、上方に形成されることを特徴とする。

また、上記一方のケース部と他方のケース部とは、ヒンジにより結合されていることを特徴とする。

また、上記一方のケース部及び／又は上記他方のケース部に取っ手が設けられることを特徴とする。

また、上記収納ケースに収納されるプローブカードのプローブが設けられた面の、該ケース１外部から上記透明部を通じて視認可能な場所に設けられた識別表示部を更に有すること特徴とする。

また、上記収納ケースに収納されるプローブカードのプローブ位置を特定するための位置特定手段を更に設けたことを特徴とする。

本発明によれば、プローブカード収納ケースを開けなくても、プローブカードのプローブを目視でき、また、検査ができるようになる。

また、上記透明部材を、上記ケースと別素材とすることで、より好ましい透明部材を選ぶことができるようになる。

また、収納ケースにプローブカードを収納したまま、プローブカードを識別できるようなる。

本発明のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。本発明のプローブカード収納ケースにプローブカードを収納した状態の縦断側面図である。本発明のプローブカード収納ケースのプローブカードを収納した状態の底面図である。従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。プローブカードの縦断側面図である。プローブカードの底面図である。従来のプローブカード収納ケースのプローブカードを収納した状態の縦断側面図である。従来のプローブカード収納ケースにプローブカードを収納し、上側ケース部を開口した状態の平面図である。

以下図面によって本発明の実施例を説明する。

なお、上記従来例と同じ部分には、同じ符号を付け、説明を省略する。

本発明のプローブカード収納ケースにおいては、従来のプローブカード収納ケース１の一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカード２のプローブ６が対向する側のケース部の板体、例えば、下側ケース部３の底板３ａに、少なくとも、上記収納ケース１外から、該収納ケース１内に収納された全てのプローブ６を観察できる大きさに形成された透明部１３を設ける。

該透明部１３は、例えば、一体成型された上記下側ケース部３の上記底板３ａの中央部に設けた開口部１４と、該開口部１４を塞ぐ透明部材１５とよりなり、上記開口部１４は、上記プローブ６に対向する位置に設けられると共に、上記プローブ設置エリア９の全てを観察できる大きさに形成され、例えば、上記プローブ設置エリア９と同じ大きさ、あるいは、それ以上の大きさに形成され、上記透明部材１５を通じて、上記プローブカード収納ケース１の外部から、内部のプローブカード２のプローブ６の全てが観察できるように形成される。

なお、上記下側ケース部３の全体を透明としてもよい。また、下側ケース部３の一体成形において、透明部１３の透明度が落ちたり、ゆがんだりしてしまう場合があるため、透明部１３を、上記底板３ａとは別部材、別素材とするのが好ましい。

また、上記透明部１３（又は透明部材１５）などの透明の部分は、例えば、強化ガラスなどのガラスや、透明樹脂などからなり、該透明樹脂としては、例えば、透明度の高く、変形度の低いポリカーボネイト樹脂や、アクリル樹脂や、ポリプロピレン樹脂が好ましい。

なお、上記透明部１３などの透明の部分は、プローブ６が観察できれば、半透明であってもよい。

なお、上記収納ケースの一方のケース部と他方のケース部は、例えば、樹脂製又は金属製よりなる。

また、上記プローブカード２のプローブ６が設けられた面の、上記収納ケース１外部から上記透明部１３を通じて視認可能な場所に、プローブカード識別用のバーコードなどの識別表示部を設ければ、収納ケース１内にプローブカードを収納したまま、プローブカードを識別できるようになる。

また、上記収納ケース１に収納されるプローブカードのプローブ位置を特定されるための位置特定手段を、上記プローブカードに設けてもよい。

該位置特定手段は、例えば、上記プローブカード２を、上記収納ケース１に対して、所望の位置（角度）で収納されるために、上記プローブカードと上記収納ケースにそれぞれ設けた１対の位置決め部である。

また、上記位置特定手段は、上記プローブカードの裏面に設けた、プローブの位置を示す標識である。

上記位置特定手段により、収納ケース１外部からプローブカード２のプローブを検査する時に、検査機が、上記プローブカードのプローブの位置を取得することができるようになる。

また、上記透明部１３の外表面１３ａは、上記プローブカード収納ケース１の床面載置面１ａに対して、上方に位置するように設けられる。

これにより、上記プローブカード収納ケース１を床面１６に載置した場合でも、上記透明部１３が床面１６に接触することがないので、傷がつかず、プローブ６の観察ができるようになる。

なお、プローブカード収納ケース１を、上記底板３ａの下面に設けた足部（図示せず）により、床面１６に載置するような場合には、上記透明部１３の外表面１３が、床板３ａの外表面と同じ高さであっても、該透明部１３の外表面は、上記足部の底面、すなわち、上記プローブカード収納ケースの床面載置面１ａよりも、上方に位置するようになる。

本発明によれば、プローブカード２を収納ケース１に入れたまま、プローブ６の観察や検査等ができるようになる。

また、透明部１３を別部材や別素材とした場合には、透明度が高く、変形の低い透明部とすることができるので、内部の収納されたプローブの正確な観察や検査等ができるようになる。

また、収納ケース１を床面１６上に載置した場合にも、透明部１３の外表面の傷を防ぐことができるようになる。

１プローブカード収納ケース
１ａ載置面
２プローブカード
３下側ケース部
３ａ底板
３ｂ側壁部
４上側ケース部
４ａ天井板
４ｂ側壁部
５プローブカード基板
６プローブ
７スティフナー
８一方の位置決め部
９プローブ設置エリア
１０載置台
１０ａ載置面
１０ｂ他方の位置決め部
１１押え部材
１２ヒンジ部
１３透明部
１４開口部
１５透明部材
１６床面
１７保護部材

また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカードのプローブ側に対向する側のケース部に設けた開口部と、該開口部を塞ぐ透明部材とよりなり、上記開口部は、上記プローブに対向する位置に設けられると共に、上記プローブカードのプローブ設置エリアと同じ大きさ、或いはそれ以上の大きさに形成されることを特徴とする。

Claims

プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカードのプローブ側に対向する側のケース部の全体を透明に形成したことを特徴とするプローブカード収納ケース。
上記プローブ側に対向する側のケース部は、ガラス、又は、ポリカーボネイト樹脂、又は、アクリル樹脂、又は、ポリプロピレン樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード収納ケース。
プローブカードを収納する、一方のケース部と、該一方のケース部の開口部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、
上記一方のケース部及び他方のケース部のうち、収納されたプローブカードのプローブ側に対向する側のケース部に、すべての上記プローブを観察できる透明部を設けたことを特徴とするプローブカード収納ケース。
上記透明部は、上記プローブ側に対向する側のケース部に設けた開口部と、該開口部を塞ぐ透明部材とよりなることを特徴とする請求項３に記載のプローブカード収納ケース。
上記プローブ側に対向する側のケース部は一体成型で形成され、上記透明部材は、該ケース部とは別素材であることを特徴とする請求項４に記載のプローブカード収納ケース。
上記透明部は、ガラス、又は、ポリカーボネイト樹脂、又は、アクリル樹脂、又は、ポリプロピレン樹脂であることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。
上記透明部の外表面は、上記プローブ側に対向する側のケース部の床載置面よりも、上方に形成されることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。
上記一方のケース部と他方のケース部とは、ヒンジにより結合されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。
上記一方のケース部及び／又は上記他方のケース部に取っ手が設けられることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。
上記収納ケースに収納されるプローブカードのプローブが設けられた面の、該ケース１外部から上記透明部を通じて視認可能な場所に設けられた識別表示部を更に有すること特徴とする請求項１乃至９のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。
上記収納ケースに収納されるプローブカードのプローブ位置を特定するための位置特定手段を更に設けたことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１に記載のプローブカード収納ケース。