JP5512508B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Description
第1の吐出モードでは、処理流体供給管40の液体供給路40aに薬液例えばDHFを供給し、気体供給路40bには何も供給しない。この場合、棒状部分60Aにおいては、液体通路66aおよびこれに接続された各液体吐出路67aを経て、図11(b)に示すように薬液が各吐出口61からウエハWの下面に向けて吐出される。ここで、液体吐出路67aはウエハWの回転方向に傾斜しており、かつ、吐出口61は液体吐出路67aを流れる薬液を偏向しないように設けられているため、薬液が吐出口61から斜めに吹き出す。薬液の吐出方向を示すベクトルは、ウエハWの回転方向の成分を有している。このような態様で薬液をウエハWに向けて吐出することにより、ウエハWの下面に衝突した薬液がウエハWに弾かれること(液はね)を抑制することができ、吐出した薬液を無駄にすることなく吐出した薬液の多くをウエハWの処理に有効に利用することができる。
第2の吐出モードでは、処理流体供給管40の液体供給路40aにDIWを供給し、気体供給路40bにN2ガスを供給する。この場合、図13(a)に示すように、棒状部分60Aにおいては、液体通路66aおよびこれに接続された各液体吐出路67aを経て薬液が各吐出口61に導かれる一方で、気体通路66bおよびこれに接続された各気体吐出路67bを経てN2ガスが各吐出口61に導かれる。DIWとN2ガスは吐出口61で衝突し、DIWとN2ガスからなるミスト状の混合流体すなわち二流体スプレーが形成される。この場合、DIWとN2ガスとの衝突により、二流体スプレーは扇状に広がりつつ上方に向かう。二流体スプレーの衝突エネルギーにより、ウエハWの下面を洗浄することができる。この場合、二流体スプレーの吐出方向(主方向)を示すベクトルは概ね鉛直方向上方を向いていてウエハWの回転方向の成分を殆ど有していないが、二流体スプレーによる洗浄効果は二流体スプレーの衝突エネルギーに依存しているため、この方が好ましい。なお、二流体スプレーの吐出方向(主方向)を示すベクトルが、ウエハWの回転方向と逆方向の成分を有していることも好ましい。
20a (処理流体供給管が通る)貫通穴
22 リフトピン
24 接続部材
26 (接続部材に接続された)バネ
30 保持プレート
30a (処理流体供給管が通る)貫通穴
30b (接続部材が通る)貫通孔
31 基板保持部材
31a 軸
31b 基板保持部分
31c 被押圧部分
31d 押圧部材、バネ部材
33a 軸受け孔
36 回転カップ
39 回転駆動部
40 処理流体供給管
44,46,50,52 昇降機構
60 第1のノズル
60A 第1のノズルの棒状部分
60B 第1のノズルの中央部分
61 吐出口、第1の吐出口
62 第2の吐出口
65 カバー
W 基板(ウエハ)
Claims (10)
- 基板の周縁を保持する基板保持部材を有し、中心部分に貫通穴が形成された保持プレートと、
前記保持プレートを回転させる回転駆動部と、
前記保持プレートの上方に設けられるとともに、基板を下方から支持するリフトピンを有する、中心部分に貫通穴が形成されたリフトピンプレートであって、前記回転駆動部により保持プレートが回転するときに前記保持プレートと一体的に回転するリフトピンプレートと、
前記保持プレートの貫通穴および前記リフトピンプレートの貫通穴を通されるとともに、前記リフトピンプレートから分離された別部材として設けられた処理流体供給管と、
前記リフトピンプレートの上方に設けられて前記処理流体供給管に接続され、前記保持プレートにより保持された基板の下面に前記処理流体供給管から供給された処理液を吐出する第1のノズルであって、前記保持プレートにより保持された基板の中央部に対向する位置から基板の周縁部に対向する位置の間に配列されている複数の第1の吐出口を有する第1のノズルと、
前記処理流体供給管、前記第1のノズルおよび前記リフトピンプレートを連動させて昇降させて、前記保持プレートに対する相対的上下方向位置を変更する昇降機構と、を備え、
前記処理流体供給管が接続部材を介して前記昇降機構と接続されている、液処理装置。 - 前記リフトピンプレートを前記保持プレートに対して接続する接続部材をさらに備えた、請求項1記載の液処理装置。
- 前記昇降機構は、前記リフトピンプレートが前記保持プレートに接続される下降位置と、前記リフトピンプレートが前記保持プレートから上方に離間して前記リフトピンに対する基板の受け渡しが可能となる上昇位置との間で、前記リフトピンプレートを昇降させるように構成されている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記保持プレートに設けられ、前記リフトピンプレートが下降位置にあるときに前記保持プレートにより保持された基板の周縁を囲む回転カップを更に備えた、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記基板保持部材は、前記リフトピンプレートが下降位置にあるときに基板を側方から支持し、前記リフトピンプレートが上昇位置にあるときに基板から離間するように構成されている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記基板保持部材は、前記保持プレートに設けられた軸を中心として揺動するように前記保持プレートに取り付けられており、
前記基板保持部材は、基板を側方から支持する基板保持部分と、前記リフトピンプレートと前記保持プレートとの間に設けられ前記リフトピンプレートが下降位置にあるときに前記リフトピンプレートの下面により下方に押圧される被押圧部分とを有しており、
前記基板保持部材は、前記リフトピンプレートが上昇位置から下降位置に移動したときに前記リフトピンプレートの下面により前記被押圧部分が下方に押圧されることにより前記軸を中心として回転し、前記基板保持部分が基板の側方から基板に向かって移動するよう構成されている、請求項5記載の液処理装置。 - 前記第1のノズルの第1の吐出口が、当該吐出口から基板の下面に向けて吐出される処理液の吐出方向が前記回転駆動部により回転させられる基板の回転方向に傾斜するように形成されている、請求項1に記載の液処理装置。
- 前記第1のノズルの第1の吐出口は、前記基板保持部に保持された基板の中央部に対向する位置から基板の周縁部に対向する位置を結ぶ直線上に配置されており、前記直線は、前記基板の半径方向を向いた直線またはこの直線と平行な直線である、請求項7に記載の液処理装置。
- 前記第1のノズルは、前記基板保持部に保持された基板の半径方向に延びる棒状部分と、前記基板保持部により保持される基板の中央部に対向する位置に設けられた中央部分と、を有しており、
前記棒状部分に、前記第1の吐出口が配置されており、
前記中央部分に、鉛直方向上方に向けて処理液を吐出するように形成されている少なくとも1つの第2の吐出口が配置されており、
前記前記基板保持部の中央部に貫通穴が設けられており、この貫通穴に、前記第1のノズルに処理液を供給するための処理流体供給管が通されており、
前記第1のノズルの前記中央部分には、基板に吐出された処理液が前記貫通穴に流入することを防止するためのカバーが設けられている、請求項1に記載の液処理装置。 - 基板の周縁を保持する基板保持部材を有し、中心部分に貫通穴が形成された保持プレートと、前記保持プレートを回転させる回転駆動部と、前記保持プレートの上方に設けられるとともに、基板を下方から支持するリフトピンを有する、中心部分に貫通穴が形成されたリフトピンプレートであって、前記回転駆動部により保持プレートが回転するときに前記保持プレートと一体的に回転するリフトピンプレートと、前記保持プレートの貫通穴および前記リフトピンプレートの貫通穴を通されるとともに、前記リフトピンプレートから分離された別部材として設けられた処理流体供給管と、前記リフトピンプレートの上方に設けられて前記処理流体供給管に接続され、前記保持プレートにより保持された基板の下面に前記処理流体供給管から供給された処理液を吐出する第1のノズルであって、前記保持プレートにより保持された基板の中央部に対向する位置から基板の周縁部に対向する位置の間に配列されている複数の第1の吐出口を有する第1のノズルと、前記処理流体供給管、前記第1のノズルおよび前記リフトピンプレートを連動させて昇降させて、前記保持プレートに対する相対的上下方向位置を変更する昇降機構と、を備え、前記処理流体供給管が接続部材を介して前記昇降機構と接続されている液処理装置により基板を処理する液処理方法であって、
前記処理流体供給管、前記第1のノズルおよび前記リフトピンプレートをそれぞれ上昇位置に位置させた状態で、前記リフトピンプレートの前記リフトピン上に基板を載置することと、
前記処理流体供給管および前記リフトピンプレートをそれぞれ上昇位置から下降位置に移動させ、これによって前記リフトピンピン上にある基板を下降させることと、
前記基板を前記保持プレートにより保持することと、
前記処理流体供給管、前記第1のノズルおよび前記リフトピンプレートをそれぞれ下降位置に位置させた状態で、前記保持プレートによって基板を回転させながら、前記第1のノズルの前記複数の吐出口から基板の下面に処理液を供給することと、
前記処理流体供給管、前記第1のノズルおよび前記リフトピンプレートをそれぞれ下降位置から上昇位置に移動させる工程と、
前記処理流体供給管、前記第1のノズルおよび前記リフトピンプレートをそれぞれ上昇位置に位置させた状態で、前記リフトピンにより支持された基板を取り出す工程と、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
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