JP6049170B2 - 研削方法 - Google Patents
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Description
(1)貼着工程
まず、図1に示すように、回転可能な保持テーブル10aが板状ワーク1を保持する。保持テーブル10aには、多孔質部材12が形成され、その表面が保持面11となっている。保持面11は吸引孔13を介してエアーの吸引源14に接続されている。
貼着工程を実施した後、粘着テープ5の基材6を平坦化する。図1に示した保持テーブル10aから板状ワーク1を離間させると、図2(a)に示すように、板状ワーク1のうねりに沿って粘着テープ5が貼着された状態となる。すなわち、板状ワーク1の第2の面3のうねりに沿って糊層7にもうねりが形成されるとともに、基材6の上面6a及び下面6bにもうねりが形成されている。
平坦化工程を実施した後、図3に示すように、板状ワーク1の第1の面2を研削する。まず、粘着テープ5が貼着された板状ワーク1を反転させ、基材6の上面6aを下にして保持テーブル10bの保持面11に基材6の上面6aを吸引保持させることで第1の面2を上向きに露出させる。次いで、保持テーブル10bは、例えば矢印A方向に回転する。なお、保持テーブル10bは、上記の保持テーブル10aと同様の構成となっている。
第1の研削工程を実施した後、図4に示すように、板状ワーク1から粘着テープ5を剥離する。これにより、板状ワーク1の第2の面3に形成されたうねりが露出した状態となる。なお、粘着テープ5を剥離する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、剥離用のテープを使用して板状ワーク1から粘着テープ5を剥離することが可能である。
剥離工程を実施した後、図5に示すように、板状ワーク1の第2の面3を研削する。まず、図5(a)に示すように、板状ワーク1を反転させ、平坦に形成された第1の面2を保持テーブル10bの保持面11に吸引保持させることで第2の面3を上向きに露出させる。次いで、保持テーブル10bは、例えば矢印A方向に回転する。
2:第1の面
3:第2の面
4:側部
5:粘着テープ
6:基材 6a:上面 6b:下面
7:糊層
8:クランプ部
9:切削バイト刃 9a:切り刃部
10a,10b:保持テーブル 11:保持面 12:多孔質部材
13:吸引孔 14:吸引源
20:研削手段 21:スピンドル 22:研削ホイール 23:研削砥石
30:クランプ部 31:溝
Claims (1)
- うねりがある板状ワークを研削によって平坦化する研削方法であって、
板状ワークの第1の面を保持テーブルが吸引保持し、該第1の面の反対面となる第2の面に基材と糊層とを備える粘着テープを貼着する貼着工程と、
該貼着工程の後、該粘着テープを上にして該板状ワークの側部をクランプして保持するとともに該板状ワークを下側から支持し、該基材の上面を切削バイト刃で切削して該基材の上面を平坦化する平坦化工程と、
該平坦化工程の後、平坦化された該基材を下にして該基材の下面を保持テーブルが吸引保持し、該板状ワークの該第1の面の上面を研削砥石で研削する第1の研削工程と、
該第1の研削工程の後、該板状ワークから該粘着テープを剥離する剥離工程と、
該剥離工程の後、該板状ワークの該第1の研削工程で研削された該第1の面を下にして該第1の面を保持テーブルが吸引保持し、該板状ワークの該第2の面を研削砥石で研削する第2の研削工程と、からなる研削方法。
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