JP6040757B2 - 搬送機構の位置決め方法、被処理体の位置ずれ量算出方法及び搬送機構のティーチングデータの修正方法 - Google Patents
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Description
請求項1及びこれを引用する請求項に係る発明によれば、被処理体の周辺部の下面を保持する複数の保持ピン部を有し、且つ旋回及び上下動可能になされた載置台に対して接近及び離間が可能になされて先端に被処理体の存否を検出する検出部を設けたピック部を有する搬送機構の位置決め方法において、ティーチング操作の作業性が向上して作業者間のバラツキを低減し、ピック部と被処理体とが干渉する危惧を抑制することができる。
まず、本発明の位置決め方法(ティーチング方法)を説明する前に、この処理システムの動作について説明する。まず、導入ポート42に設置された収納容器44の開閉蓋(図示せず)は、開閉ドア40を開くときに取り外され、この収納容器44からは、未処理の例えばシリコン基板よりなる半導体ウエハWが搬送機構8の一方のピック部54を用いて大気搬送室6内に取り込まれる。
次に、上述したような一連の処理を行う前に行われる搬送機構の位置決め方法について説明する。この位置決め方法は、処理システム2を新たに組み上げた場合や、メンテナンス等により搬送機構8の構成部品を交換したり、導入ポート42や処理室4A〜4C等の着脱を行ったりした場合のように、位置ずれが生ずる恐れのあるメンテナンス等を行った後に行われる。
まず、搬送機構の位置決め方法の第1の発明について説明する。図4は搬送機構の位置決め方法の第1の発明の概略的な流れを示すフローチャート、図5は第1の発明の高さ方向決定工程の内容を示すフローチャート、図6は高さ方向決定工程におけるピック部と保持アームとの位置関係を示す図、図7は第1の発明の前進角度決定工程の内容を示すフローチャート、図8は前進角度決定工程におけるピック部と保持アームとの位置関係を示す図、図9は前進角度決定工程での角度補正を示す図、図10は第1の発明の前進起点位置決定工程の内容を示すフローチャート、図11は前進起点位置決定工程におけるピック部と保持アームとの位置関係を示す図、図12は前進起点位置決定工程での起点位置の補正を示す図、図13は第1の発明の前進量決定工程の内容を示すフローチャートである。
[高さ方向決定工程]
具体的には、移動プログラムが開始されると、まず高さ方向決定工程では、所定の高さ位置において載置台14を回転することによって、図5に示すように処理室4A(図1参照)内における3つの保持ピン部の内の1つの保持ピン部20を図6(A)に示すように搬入搬出側へ向ける第1の工程を行う(S1)。この搬入搬出側はゲート開口36(図1参照)を臨む方向である。この載置台14の回転角度、高さ位置はエンコーダ等により認識されている。
次に、前進角度決定工程では、まず図7の第21の工程(S21)に示すように、ピック部54を保持ピン部20から一旦離間(後退)させて保持ピン部20を未検出状態とし、その後、図8(A)に示すようにマッピングセンサ部64が保持ピン部20を検出するまでピック部54を矢印78に示すように保持ピン部20に向けて前進(接近)させる。この場合、先の高さ方向決定工程で保持ピン部20を検出する位置が判っているので、円滑にピック部54を前進させることができる。
θx=90−θ5
θ5=180−(θ3+θ2)
θ3=1/2×{180−(θ1+θ2)}
従って、”θx=(θ2−θ1)/2”となる。
このようにしてずれ角度θxを求めたならば、次に図7の第24の工程(S24)に示すように、上記ずれ角度θxに基づいてピック部54の前進角度を修正することになる。これにより、ピック部54の前進する方向が保持ピン部20及び載置台14の回転中心P1を通る方向、すなわち保持ピン部20を通る載置台14の半径方向と一致するようになる。
次に前進起点位置決定工程では、まず、図10の第31の工程(S31)に示すように、ピック部54を保持ピン部20から一旦離間(後退)させて保持ピン部20を未検出状態とし、その後、図11(A)に示すようにマッピングセンサ部64が保持ピン部20を検出するまでピック部54を矢印78に示すように保持ピン部20に向けて前進(接近)させる。この第31の工程は、先の第21の工程(S21)と全く同じである。
Δx=(α2−α1)/2
この結果、ずれ水平距離Δhは、ピック部54の回転半径である線分OFの長さをRとした場合、以下の式のように求められる。
Δh=R×tanΔx
R:線分OFの長さ
これにより、ピック部54の前進する方向が、保持ピン部20及び載置台14の回転中心P1を通る方向と一致し、且つゲート開口36の横幅方向の中心部を通るようになる。
次に、前進量決定工程では、図13の第41の工程(S41)に示すように、先の第33の工程(S33)で求めた左右の回転角度α1、α2に基づいて保持ピン部20の座標を求める。ここでは座標上においてピック部54の前進方向と保持ピン部20を有する保持アーム18の長さ方向(半径方向)とが同一直線上に一致した状態となっている。
次に、本発明の搬送機構の位置決め方法の第2の発明について説明する。先の第1の発明では、保持ピン部20に対してピック部54の相対位置関係を決定したが、この第2の発明では、保持ピン部20のみならず、中間ピン部22(図3参照)に対する相対位置関係を求めることにより、ティーチング操作を行うようにしている。
上述のように、まず、高さ方向決定工程では、図5に示す第1の工程S1〜第6の工程S6(図6(A)〜図6(E))を先に説明したように順次行って、ピック部54の高さ方向の位置決めを行って真の高さ方向基準位置を求める。
次に、第1の座標決定工程では、まず、図15の第41の工程に示すように、ピック部54を保持ピン部20から一旦離間(後退)させて保持ピン部20を未検出状態とし、その後、図11(A)に示すようにマッピングセンサ部64が保持ピン部20を検出するまでピック部54を矢印78に示すように保持ピン部20に向けて前進(接近)させる。この第41の工程は、先の第31の工程(S31)と全く同じである。
線分OA:ピック部54の長さ
上述のように線分OCの長さが求まり、また”ずれ角度Δx=(α2−α1)/2”であるので、保持ピン部20である点Cのピック部54の回転中心Oを起点(原点)とした座標1を求めることができる。
次に、第2の座標決定工程では、図16のS51に示すように、中間ピン部22(図3(A)及び図3(B)参照)に対して、先の第41、第42、第43及び第44の各工程と同様な工程を順次行うことによって、この中間ピン部22の座標である第2の座標を求める。
この第3の座標決定工程では、上述したように、上記第1及び第2の各座標に基づいて載置台14の回転中心、すなわち保持アーム18の回転中心の座標である第3の座標を求める。具体的には、図17に示すように、保持アーム18の先端の保持ピン部20の座標をX1、中間ピン部22の座標をX2とし、保持アーム18の回転中心P1の座標をX3とし、またピック部54の回転中心Oの座標を起点(0、0)、すなわち原点とする。
以上のようにして座標X3が求められると、座標X1、X2、X3とピック部54の回転中心Oの原点(0、0)との関係から、ピック部54の前進方向と保持アーム18の長さ方向とのずれ角度θx(図9参照)及びずれ水平距離Δh(図12参照)が求められるので、ピック部54の前進角度、前進起点位置及び前進基準量をそれぞれ修正して正確な値を設定することができる。このような一連のティーチング操作は、各処理室4A〜4Cに対して、同様に行われることになる。
次に、以上のようなティーチング操作により求められたティーチングデータに基づいて搬送された半導体ウエハの搬送精度がどの程度正確なのかを検証するための被処理体の位置ずれ量算出方法について図18乃至図22も参照して説明する。
具体的には、上記載置工程では、前述のようにティーチング操作が完了した上記搬送機構8のピック部、例えばピック部54を用いて半導体ウエハWを先に記憶したティーチングデータに従って搬送し、載置台14に載置して支持させる。この際、載置台14の3本の保持アーム18の内の1本の保持アームをゲート開口36側に向けておく。この保持アーム18は前述したようにこの回転中心P1を中心としてその周方向に120度の等間隔で設けられており、その先端部に保持ピン部20が取り付けられている。
次に、測定工程では、検出部としてマッピングセンサ部64が設けられているピック部54を用いて、図19に示すようにウエハWのエッジと保持ピン部20の上端突起24との位置関係を測定して求める。ここで、図19に示すように上記位置関係は、ウエハWのエッジ(外周端)と上端突起24の外周端(外周面)との間の距離H1やウエハWのエッジと上端突起24の内周端(内周面)との間の距離H2を求めることになる。
次に、ずれ量算出工程では、例えば以下に示すような演算によりウエハWの位置ずれ量を求める。ここでは、便宜上、平面内において直交する方向、すなわちX方向とY方向の2方向の位置ずれ量を求める。
Z1=H11−C
Z2=H12−C
Z3=H13−C
Xd=(Z3×sin60°−Z1×sin60°)/2(図22(A)及び図22(B)参照)
Yd=Z2−Xd×tanα(図22(C)参照)
すなわち図22(C)において、以下のようになる。
θ=Asin(Xd/150)(尚、”Asin”は、アークサインである)。
また、”α+β=π/2”及び”π=θ+2β”であるので、上述のように”α=θ/2”となる。
以上のようにして位置ずれ量のX方向の成分XdとY方向の成分Ydが求められる。これにより、搬送機構により載置台に対して載置して支持させた被処理体の位置ずれ量を精度良く求めることができる。
4A〜4C 処理室
6 大気搬送室
8 搬送機構
14 載置台
16 回転支持軸
18 保持アーム
20 保持ピン部
22 中間ピン部
50 第1アーム
52 第2アーム
54,56 ピック部
60,62 載置パッド
64 マッピングセンサ部(検出部)
64A 発光素子
64B 受光素子
θx ずれ角度
Δh ずれ水平距離
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (19)
- 被処理体の周辺部の下面を保持する複数の保持ピン部を有し、且つ旋回及び上下動可能になされた載置台に対して接近及び離間が可能になされて先端に被処理体の存否を検出する検出部を設けたピック部を有する搬送機構の位置決め方法において、
前記検出部によって前記保持ピン部の上端エッジを検出して前記ピック部の高さ基準位置を決定する高さ方向決定工程と、
前記保持ピン部を通る前記載置台の半径方向と前記ピック部の前進方向とのずれ角度を求めて前記ピック部の前進角度を修正する前進角度決定工程と、
前記保持ピン部を通る前記載置台の半径方向と前記ピック部の前進方向とのずれ水平距離を求めて前記ピック部の前進起点位置を修正する前進起点位置決定工程と、
前記保持ピン部の座標から前記ピック部の前進基準量を求める前進量決定工程と、
を有することを特徴とする搬送機構の位置決め方法。 - 前記高さ方向決定工程は、
前記複数の保持ピン部の内の1つの保持ピン部を前記被処理体の搬入搬出側に向ける第1の工程と、
前記ピック部を前記保持ピン部に向けて少しずつ接近させつつ前記保持ピン部を上下動させることを前記検出部が前記保持ピン部を検出するまで行う第2工程と、
前記保持ピン部を検出した状態で前記検出部が前記保持ピン部を未検出になるまで前記ピック部を少しずつ後退させて未検出になったことに応答して停止させる第3の工程と、
前記ピック部を前記保持ピン部の長さよりも小さい僅かな距離だけ前進させて前記保持ピン部を検出した状態とする第4の工程と、
前記保持ピン部を検出した状態で前記保持ピン部を下方向へ移動させて前記保持ピン部を未検出になったことに応答して前記保持ピン部の上端エッジを検出する第5の工程と、
前記上端エッジを検出した高さ位置に基づいて高さ方向基準位置を決定する第6の工程と、
を有することを特徴とする請求項1記載の搬送機構の位置決め方法。 - 前記前進角度決定工程は、
前記ピック部を前記保持ピン部から一旦離間させた後に、前記検出部が前記保持ピン部を検出するまで前記ピック部を前記保持ピン部に向けて前進させる第21の工程と、
前記保持ピン部を検出している状態で前記保持ピン部を左右に回転して前記検出部が前記保持ピン部を検出しなくなった時の左右の回転角度を求める第22の工程と、
前記回転角度に基づいて前記ピック部の前進方向の前記ずれ角度を求める第23の工程と、
前記ずれ角度に基づいて前記ピック部の前進角度を修正する第24の工程と、
を有することを特徴とする請求項1又は2記載の搬送機構の位置決め方法。 - 前記前進起点位置決定工程は、
前記ピック部を前記保持ピン部から一旦離間させた後に、前記検出部が前記保持ピン部を検出するまで前記ピック部を前記保持ピン部に向けて前進させる第31の工程と、
前記ピック部を僅かな距離だけ後退させて前記検出部が前記保持ピン部を未検出の状態にする第32の工程と、
前記ピック部を左右に回転することによって前記検出部が前記保持ピン部を検出した時の左右の回転角度を求める第33の工程と、
前記左右の回転角度に基づいて前記保持ピン部を通る前記載置台の半径方向と前記ピック部の前進方向との水平面内における前記ずれ水平距離を求める第34の工程と、
前記ずれ水平距離だけ前記ピック部の前進方向を平行移動させることにより前記ピック部の前記前進起点位置を修正する第35の工程と、
を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の搬送機構の位置決め方法。 - 前記前進量決定工程は、
前記左右の回転角度に基づいて前記保持ピン部の座標を求める第41の工程と、
前記座標から前記ピック部の前記前進基準量を求める第42の工程と、
を有することを特徴とする請求項4記載の搬送機構の位置決め方法。 - 被処理体の周辺部の下面を保持する複数の保持ピン部と該複数の保持ピン部の内周側に配置された複数の中間ピン部とを有し、且つ旋回及び上下動可能になされた載置台に対して接近及び離間が可能になされて先端に被処理体の存否を検出する検出部を設けたピック部を有する搬送機構の位置決め方法において、
前記検出部によって前記保持ピン部の上端エッジを検出して前記ピック部の高さ基準位置を決定する高さ方向決定工程と、
前記ピック部の回転中心を起点とする前記保持ピン部の座標である第1の座標を求める第1の座標決定工程と、
前記ピック部の回転中心を起点とする前記中間ピン部の座標である第2の座標を求める第2の座標決定工程と、
前記第1及び第2の座標に基づいて前記載置台の回転中心の座標である第3の座標を求める第3の座標決定工程と、
前記第1、第2及び第3の座標に基づいて前記ピック部の前進角度と前進起点位置と前進基準量とを求める最終工程と、
を有することを特徴とする搬送機構の位置決め方法。 - 前記高さ位置決定工程は、
前記複数の保持ピン部の内の1つの保持ピン部を前記被処理体の搬入搬出側に向ける第1の工程と、
前記ピック部を前記保持ピン部に向けて少しずつ接近させつつ前記保持ピン部を上下動させることを前記検出部が前記保持ピン部を検出するまで行う第2の工程と、
前記保持ピン部を検出した状態で前記検出部が前記保持ピン部を未検出になるまで前記ピック部を少しずつ後退させて未検出になったことに応答して停止させる第3の工程と、
前記ピック部を前記保持ピン部の長さよりも小さい僅かな距離だけ前進させて前記保持ピン部を検出した状態とする第4の工程と、
前記保持ピン部を検出した状態で前記保持ピン部を下方向へ移動させて前記保持ピン部を未検出になったことに応答して前記保持ピン部の上端エッジを検出する第5の工程と、
前記上端エッジを検出した高さ位置に基づいて高さ方向基準位置を決定する第6の工程と、
を有することを特徴とする請求項6記載の搬送機構の位置決め方法。 - 前記第1の座標決定工程は、
前記ピック部を前記保持ピン部から一旦離間させた後に、前記検出部が前記保持ピン部を検出するまで前記ピック部を前記保持ピン部に向けて前進させる第41の工程と、
前記ピック部を僅かな距離だけ後退させて前記検出部が前記保持ピン部を未検出の状態にする第42の工程と、
前記ピック部を左右に回転することによって前記検出部が前記保持ピン部を検出した時の左右の回転角度を求める第43の工程と、
前記左右の回転角度に基づいて前記ピック部の回転中心を起点とする前記保持ピン部の前記第1の座標を求める第44の工程と、
を有することを特徴とする請求項6又は7記載の搬送機構の位置決め方法。 - 前記第2の座標決定工程では、
前記中間ピン部に対して前記第41、第42、第43及び第44の各工程と同様な工程を行って前記中間ピン部の前記第2の座標を求めることを特徴とする請求項8記載の搬送機構の位置決め方法。 - 前記搬送機構は搬送室に設けられており、前記載置台は被処理体に対して所定の処理を施す処理室内に設けられていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の搬送機構の位置決め方法。
- 複数の保持ピン部を有し、且つ旋回可能になされた載置台に載置して保持された被処理体の位置ずれ量算出方法において、
ピック部を有する搬送機構を用いて前記被処理体を前記載置台に載置して支持させる載置工程と、
前記搬送機構のピック部に設けた検出部により前記被処理体のエッジと前記保持ピン部の外周端に設けられた上端突起との位置関係を各保持ピン部について求める測定工程と、
前記求めた位置関係に基づいて前記被処理体の位置ずれ量を求めるずれ量算出工程と、
を有することを特徴とする被処理体の位置ずれ量算出方法。 - 前記位置ずれ量は、平面内において直交するX方向とY方向の2方向において求められることを特徴とする請求項11記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 前記保持ピン部は、前記載置台の回転中心を中心としてその周方向に等間隔で3箇所設けられており、前記測定工程では、各保持ピン部における前記位置関係を求めるために前記載置台を120度ずつ回転させることを特徴とする請求項11又は12記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 前記位置関係は、前記被処理体のエッジと前記上端突起の外周端との間の距離であることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 前記位置関係は、前記被処理体のエッジと前記上端突起の内周端との間の距離であることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 前記測定工程では、最初に前記検出部により前記被処理体の高さレベルの位置を求めることを特徴とする請求項11乃至15のいずれか一項に記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 前記測定工程では、前記検出部が設けられた前記ピック部を、前記被処理体と同じ高さレベルに沿って前進させることにより前記位置関係を求めることを特徴とする請求項11乃至16のいずれか一項に記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 前記測定工程では、前記検出部が設けられた前記ピック部を、所定のピッチの前進移動又は後退移動と垂直方向への移動とを交互に繰り返すことにより前記位置関係を求めることを特徴とする請求項11乃至16のいずれか一項に記載の被処理体の位置ずれ量算出方法。
- 搬送機構のティーチングデータの修正方法において、
請求項11乃至18のいずれか一項に記載の被処理体の位置ずれ量算出方法を実行する工程と、
前記工程で求められた位置ずれ量を相殺するように前記ティーチングデータを修正する工程とを有することを特徴とする搬送機構のティーチングデータの修正方法。
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TW201005825A (en) * | 2008-05-30 | 2010-02-01 | Panasonic Corp | Plasma processing apparatus and method |
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