JP6027455B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
12,14,16 分子ポンプ段
18 サイドチャネルポンプ段
20 回転軸
22 ロータシャフト
24 ポンプ入口
26 フランジ
28 ロータディスク
30 ロータハブ
32,34 ロータ部材
36 半径方向外面
38 半径方向内面
39 ホルベック隙間
40,42 ホルベックステータスリーブ
41,43 ホルベックねじ山
44 ベース部分
46 支持部分、支持スリーブ
48 ロータ要素
50,54 半径方向外面
52,55,56 半径方向内面
57 ホルベックねじ山
58 自由空間
60 支持面
62 サイドチャネルステータ
64 サイドチャネル、ステータチャネル
66,68 部位
70 ねじ山突出部
72 ねじ山チャネル
74 集積領域
76 供給チャネル
78 突出部
80 切断線
84 矢印
86 ステータディスク
88 駆動部
90 シール部
92 回転軸受
94 ポンプ出口
95 ガス出口
96 タップ
98 スクレーパ
100 結合部位
102 支持部位
104 釣合い内孔
106 ガス流動通路
108 開口
110 流動チャネル
112 隙間
114 ロータハブ
116,118,16 分子ポンプ段
120 開口
122 流動チャネル
Claims (19)
- 真空ポンプであって、
少なくとも1つの分子ポンプ段(12)を備え、
前記分子ポンプ段(12)は、該分子ポンプ段(12)のポンプ作用面(50)を形成するロータ部材(34)を備え、
前記真空ポンプは、さらに、少なくとも1つのサイドチャネルポンプ段(18)を備え、
前記サイドチャネルポンプ段(18)は、前記分子ポンプ段(12)の下流側に配置されるとともに、複数のロータ要素(48)を備え、
前記サイドチャネルポンプ段(18)のロータ要素(48)は、前記分子ポンプ段(12)の前記ロータ部材(34)によって支持される
真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ要素(48)は、前記ロータ部材(34)によって包囲された領域(58)の軸方向外側に配置される
真空ポンプ。 - 請求項1または請求項2に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ部材(34)は、ロータハブ(30)によって支持される
真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ要素(48)は、
前記ロータ部材(34)の軸方向自由端部に配置され、該軸方向自由端部から軸方向に突出する、
真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ部材(34)は支持部(46)を備え、
前記ロータ要素(48)は、前記支持部(46)に配置され、
前記支持部(46)は、半径方向に突出する、前記ロータ部材(34)の段部又は張出部を形成する
真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ部材(34)と、前記ロータ要素(48)が配置される、前記ロータ部材(34)の前記支持部(46)と、のうちの少なくとも一方は、実質的にスリーブとして形成されている
真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ部材(34)は、ベースを備え、
前記ベースは、実質的にスリーブとして形成されるとともに、前記ロータ部材(34)を支持するロータハブ(30)から、前記ロータ要素(48)が配置される、前記ロータ部材(34)の支持部(46)まで、延びて形成される
真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ部材(34)は、ロータハブ(30)によって支持されるベース(44)と、前記ロータ要素(48)が配置される支持部(46)と、を有する、複合部品として製作されており、
前記ベース(44)および前記支持部(46)の各々は、前記ロータ部材(34)の一部を形成する
真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記分子ポンプ段(12)が、前記サイドチャネルポンプ段(18)に通じる、上流側の第1の部位(66)および下流側の第2の部位(68)を備え、前記第2の部位には、前記第1の部位(66)よりも少ない数の流動チャネル(72,76)が形成されることと、
前記ロータ要素(48)を支持する前記ロータ部材(34)の支持部(46)の領域内に配置された釣合い平面が提供されることを満たす
真空ポンプ。 - 真空ポンプであって、
少なくとも1つの分子ポンプ段(12,14,116,118)と、
少なくとも1つのサイドチャネルポンプ段(18)と
を備え、
前記サイドチャネルポンプ段(18)は、前記分子ポンプ段の下流側に配置されるとともに、複数のロータ要素(48)を備え、
前記サイドチャネルポンプ段(18)は、ポンプ入口(24)と前記分子ポンプ段(12,14,116,118)との間に配置される
真空ポンプ。 - 請求項10に記載の真空ポンプであって、
ガス流動通路が、ポンプ入口(24)から、前記サイドチャネルポンプ段(18)のポンプ作用構造を通って、半径方向内側および半径方向外側の少なくとも一方へ、分子ポンプ段(12,14,116,118)に通じ、
前記ガス流動通路は、前記ロータ要素(48)を支持する、ロータハブ(30,114)の1つ以上の開口(120)を通って延びて形成される
真空ポンプ。 - 請求項10または請求項11に記載の真空ポンプであって、
前記分子ポンプ段(12,14,116,118)から前記サイドチャネルポンプ段に通じるガス流動通路が、前記分子ポンプ段(12,14,116,118)のロータ部材(32)を支持する、ロータハブ(30)の1つ以上の開口(108)を通って延びて形成される
真空ポンプ。 - 請求項10ないし請求項12のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記サイドチャネルポンプ段(18)の前記ロータ要素(48)は、
ロータハブ(30,114)によって支持され、
前記ロータハブ(30,114)の半径方向外側の領域に配置され、
前記ロータ要素(48)は、前記ロータハブ(30,114)の端から突出する
真空ポンプ。 - 請求項10ないし請求項13のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記分子ポンプ段(12,14,116,118)のポンプ作用面を形成する前記分子ポンプ段(12,14,116,118)のロータ部材(32)と、前記サイドチャネルポンプ段(18)の前記ロータ要素(48)とは、共通のロータハブ(30)によって支持される
真空ポンプ。 - 請求項10ないし請求項14のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
複数の分子ポンプ段(12,14,116,118)が相前後して配置されて設けられ、前記分子ポンプ段(12,14,116,118)を介して、ガス流動通路が、半径方向内側から半径方向外側に、または、半径方向外側から半径方向内側に通じ、
前記分子ポンプ段の上流側に配置された、少なくとも1つの他のポンプ段(10)が設けられ、前記サイドチャネルポンプ段(18)が、前記他のポンプ段(10)と前記分子ポンプ段(12,14,116,118)との間に配置されて設けられる真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記分子ポンプ段(12)が、前記サイドチャネルポンプ段(18)に通じる、上流側の第1の部位(66)および下流側の第2の部位(68)を備え、前記第2の部位には、前記第1の部位(66)よりも少ない数の流動チャネル(72,76)が形成される、真空ポンプ。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記ロータ要素(48)を支持する前記ロータ部材(34)の支持部(46)の領域内に配置された釣合い平面が提供される、真空ポンプ。 - 請求項10ないし請求項14のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
複数の分子ポンプ段(12,14,116,118)が相前後して配置されて設けられ、前記分子ポンプ段(12,14,116,118)を介して、ガス流動通路が、半径方向内側から半径方向外側に、または、半径方向外側から半径方向内側に通じる、真空ポンプ。 - 請求項10ないし請求項14のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
前記分子ポンプ段の上流側に配置された、少なくとも1つの他のポンプ段(10)が設けられ、前記サイドチャネルポンプ段(18)が、前記他のポンプ段(10)と前記分子ポンプ段(12,14,116,118)との間に配置されて設けられる、真空ポンプ。
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