JP2585420B2 - ターボ真空ポンプ - Google Patents
ターボ真空ポンプInfo
- Publication number
- JP2585420B2 JP2585420B2 JP1083921A JP8392189A JP2585420B2 JP 2585420 B2 JP2585420 B2 JP 2585420B2 JP 1083921 A JP1083921 A JP 1083921A JP 8392189 A JP8392189 A JP 8392189A JP 2585420 B2 JP2585420 B2 JP 2585420B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vortex pump
- shaft
- stator
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ターボ真空ポンプに関するものである。
ターボ真空ポンプとして、例えば、特開昭63−55396
号公報に開示されたターボ真空ポンプが提案されてい
る。
号公報に開示されたターボ真空ポンプが提案されてい
る。
このターボ真空ポンプは、ケーシング内に釣鐘状の第
１のロータと、この釣鐘状の第１のロータの内部に配置
された第２のロータを同軸で設け、第１のロータの外周
部には軸流翼または混流唾からなる第１の排気要素と、
混流翼またはねじ溝分子ポンプを用いた第２の排気要素
を上下二段に配置し、また釣鐘状のロータの内部に配置
した第２のロータ外周部には渦流翼の第３の排気要素を
配置し、前記第１及び第２の排気要素の内部に第３の排
気要素が配置された構造になっている。
１のロータと、この釣鐘状の第１のロータの内部に配置
された第２のロータを同軸で設け、第１のロータの外周
部には軸流翼または混流唾からなる第１の排気要素と、
混流翼またはねじ溝分子ポンプを用いた第２の排気要素
を上下二段に配置し、また釣鐘状のロータの内部に配置
した第２のロータ外周部には渦流翼の第３の排気要素を
配置し、前記第１及び第２の排気要素の内部に第３の排
気要素が配置された構造になっている。
このようなターボ真空ポンプにおいては、ロータの軸
方向の長さを大幅に短くすることができる。また、渦流
翼の翼先端の周速が小さくなるので、渦流翼部に生じる
円板摩擦損失が大幅に小さくなるので、ロータの回転を
より高速化することができ、各排気要素の性能を十分に
発揮させることができる。したがって、大気圧から高真
空領域まで１台のポンプで排気することができるなどの
効果を奏する。
方向の長さを大幅に短くすることができる。また、渦流
翼の翼先端の周速が小さくなるので、渦流翼部に生じる
円板摩擦損失が大幅に小さくなるので、ロータの回転を
より高速化することができ、各排気要素の性能を十分に
発揮させることができる。したがって、大気圧から高真
空領域まで１台のポンプで排気することができるなどの
効果を奏する。
しかし、上記のターボ信号ポンプにおいては、第１の
ロータと第２ロータが別体であるため、ターボ真空ポン
プを構成する部品点数が多くなり、組立てに時間が掛か
るだけでなく、各部品相互の位置精度を確保するため
に、各部品に要求される個々の加工精度も高度なものが
要求され、個々の部品加工にも時間が掛かり、原価の高
いものになっている。
ロータと第２ロータが別体であるため、ターボ真空ポン
プを構成する部品点数が多くなり、組立てに時間が掛か
るだけでなく、各部品相互の位置精度を確保するため
に、各部品に要求される個々の加工精度も高度なものが
要求され、個々の部品加工にも時間が掛かり、原価の高
いものになっている。
上記の事情に鑑み、本発明の目的は、構成を簡潔にし
て安価に製造することができるターボ真空ポンプを提供
することにある。
て安価に製造することができるターボ真空ポンプを提供
することにある。
上記の目的を達成するため、本発明においては、一端
に吸込口が形成された円筒形のケーシングと、排気通路
と排気口が形成され前記ケーシングの他端に固定された
中空の渦流ポンプステータと、釣鐘状に形成され前記ケ
ーシングと渦流ポンプステータの間に配置されたロータ
と、前記渦流ポンプステータの軸芯部に回転可能に支持
され、その一端に前記ロータを固定したシャフトと、前
記渦流ポンプステータとシャフトの間に配置され、シャ
フトを回転させるモータとを設け、前記ケーシングの内
周面とロータの外周との間に、前記吸込口方向から複数
段の軸流ポンプと複数団のねじ溝分子ポンプを形成し、
前記ロータの円周面と渦流ポンプステータの外周面の間
に、複数段の渦流ポンプを形成した。
に吸込口が形成された円筒形のケーシングと、排気通路
と排気口が形成され前記ケーシングの他端に固定された
中空の渦流ポンプステータと、釣鐘状に形成され前記ケ
ーシングと渦流ポンプステータの間に配置されたロータ
と、前記渦流ポンプステータの軸芯部に回転可能に支持
され、その一端に前記ロータを固定したシャフトと、前
記渦流ポンプステータとシャフトの間に配置され、シャ
フトを回転させるモータとを設け、前記ケーシングの内
周面とロータの外周との間に、前記吸込口方向から複数
段の軸流ポンプと複数団のねじ溝分子ポンプを形成し、
前記ロータの円周面と渦流ポンプステータの外周面の間
に、複数段の渦流ポンプを形成した。
このような構成とすることにより、ターボ真空ポンプ
としての機能、性能を低下させることなく、構成を簡潔
にして安価に製造することができる。
としての機能、性能を低下させることなく、構成を簡潔
にして安価に製造することができる。
以下、本発明の一実施例を図面にしたがって説明す
る。
る。
第１図ないし第３図は、本発明によるターボ真空ポン
プの一実施例を示すもので、同図において、32は下ケー
シングで、冷却水口28が形成されている。また、下ケー
シングの中央部には、筒状の突起32′が形成されてい
る。16はオイルタンクで、下ケーシング32に固定され、
潤滑油17を貯蔵している。
プの一実施例を示すもので、同図において、32は下ケー
シングで、冷却水口28が形成されている。また、下ケー
シングの中央部には、筒状の突起32′が形成されてい
る。16はオイルタンクで、下ケーシング32に固定され、
潤滑油17を貯蔵している。
６は渦流ポンプステータで、軸芯部に形成された段付
きの貫通穴の一端が突起32′に嵌合するように下ケーシ
ング32に載置されている。この渦流ポンプステータ６の
外周には、渦流ポンプを構成するための段階状の通風路
７が形成されている。また、渦流ポンプステータ６に
は、排気ガスを排出するための排気通路11および排気口
11′と、オイルミストを含むパージガスを排出するため
のパージガス流路６およびパージガス口26′と、前記冷
却水口28に連通する冷却水ジャケット27が形成されてい
る。
きの貫通穴の一端が突起32′に嵌合するように下ケーシ
ング32に載置されている。この渦流ポンプステータ６の
外周には、渦流ポンプを構成するための段階状の通風路
７が形成されている。また、渦流ポンプステータ６に
は、排気ガスを排出するための排気通路11および排気口
11′と、オイルミストを含むパージガスを排出するため
のパージガス流路６およびパージガス口26′と、前記冷
却水口28に連通する冷却水ジャケット27が形成されてい
る。
４はシャフトで、前記下ケーシング32の突起32′に設
けられた軸受15と渦流ポンプステータ６に設けられた軸
受13によって回転可能に支持されている。このシャフト
４の一端は、前記オイルタンク16の中に突出し、潤滑油
17に浸漬されている。また、シャフト４の軸心には、潤
滑油17を吸い上げるための穴が形成されている。なお、
29は軸受押えである。
けられた軸受15と渦流ポンプステータ６に設けられた軸
受13によって回転可能に支持されている。このシャフト
４の一端は、前記オイルタンク16の中に突出し、潤滑油
17に浸漬されている。また、シャフト４の軸心には、潤
滑油17を吸い上げるための穴が形成されている。なお、
29は軸受押えである。
19はモータステータで、前記渦流ポンプステータ６の
貫通穴の内部に固定されている。20はモータロータで、
前記モータステータ19と所定の間隙を持って対向するよ
うに前記シャフト４に固定されている。
貫通穴の内部に固定されている。20はモータロータで、
前記モータステータ19と所定の間隙を持って対向するよ
うに前記シャフト４に固定されている。
１は釣鐘状に形成されたロータで、前記渦流ポンプス
テータ６を覆うように渦流ポンプステータ６に装着さ
れ、前記シャフト４の他端に固定されている。このロー
タ１の内部は、前記渦流ポンプステータ６の外周と所定
の間隙で対向するように段階状に形成され、各段には第
２図に示すように、渦流ポンプを構成する円弧状の翼５
が所定の間隔で固定されている。なお、各段間は、第２
図に示すように、仕切り部８の前後に形成された吸込口
９と吐出口10で接続されている。また、各段間には、ラ
ビリンスシールなどのシール手段が設けられている。ロ
ータ１の外周部には、その上流側から下流側に向けて、
複数段の軸流翼ロータ21と複数段のねじ溝分子ポンプ22
が形成されている。
テータ６を覆うように渦流ポンプステータ６に装着さ
れ、前記シャフト４の他端に固定されている。このロー
タ１の内部は、前記渦流ポンプステータ６の外周と所定
の間隙で対向するように段階状に形成され、各段には第
２図に示すように、渦流ポンプを構成する円弧状の翼５
が所定の間隔で固定されている。なお、各段間は、第２
図に示すように、仕切り部８の前後に形成された吸込口
９と吐出口10で接続されている。また、各段間には、ラ
ビリンスシールなどのシール手段が設けられている。ロ
ータ１の外周部には、その上流側から下流側に向けて、
複数段の軸流翼ロータ21と複数段のねじ溝分子ポンプ22
が形成されている。
25はスペーサで、前記ロータ１のねじ溝分子ポンプ22
と所定の間隔で対向するように装着され、前記渦流ポン
プステータ６によって位置決めされている。24はスペー
サで、ロータ１（の軸方向に前記軸流翼ロータ21と交互
に配置された軸流翼ステータ23を所定の間隔で支承し、
前記スペーサ25よって位置決めされている。
と所定の間隔で対向するように装着され、前記渦流ポン
プステータ６によって位置決めされている。24はスペー
サで、ロータ１（の軸方向に前記軸流翼ロータ21と交互
に配置された軸流翼ステータ23を所定の間隔で支承し、
前記スペーサ25よって位置決めされている。
３は円筒状に形成されたケーシングで、一端に吸込口
２が形成されている。このケーシング３は、前記スペー
サ24、25を覆うように装着され、前記下ケーシング32と
渦流ポンプステータ６に一体に固定される。
２が形成されている。このケーシング３は、前記スペー
サ24、25を覆うように装着され、前記下ケーシング32と
渦流ポンプステータ６に一体に固定される。
このような構成で、吸込口２を真空容器（図示せず）
に接続し、モータステータ19とモータロータ20に通電し
てシャフト４を回転させると、ロータ１が回転し、軸流
翼ロータ21と軸流翼ステータ23で構成される軸流ポンプ
と、ねじ溝分子ポンプ22および通風路７と翼５で構成さ
れる渦流ポンプによって排気して、前記真空容器内を高
真空にすることができる。
に接続し、モータステータ19とモータロータ20に通電し
てシャフト４を回転させると、ロータ１が回転し、軸流
翼ロータ21と軸流翼ステータ23で構成される軸流ポンプ
と、ねじ溝分子ポンプ22および通風路７と翼５で構成さ
れる渦流ポンプによって排気して、前記真空容器内を高
真空にすることができる。
シャフト４が回転すると、オイルタンク16内の潤滑油
17が汲み上げられ、この潤滑油を軸受13、15の上に振り
かけることにより、軸受13、15の潤滑を行うことができ
る。この時発生するオイルミストは、パージガスととも
にパージガス流路26およびパージガス口26′を通って排
出されるので、真空容器内へ侵入することがなく、真空
容器を汚染することはない。
17が汲み上げられ、この潤滑油を軸受13、15の上に振り
かけることにより、軸受13、15の潤滑を行うことができ
る。この時発生するオイルミストは、パージガスととも
にパージガス流路26およびパージガス口26′を通って排
出されるので、真空容器内へ侵入することがなく、真空
容器を汚染することはない。
上記のように、単一のロータ１の内周面と外周面をポ
ンプとして使用することにより、ターボ真空ポンプを構
成する部品点数を減らして簡素化し、その組立て作業を
容易にすることができる。また、個々の加工精度も従来
に比較して大幅に緩和することができるので、個々の部
品の製作も容易になる。
ンプとして使用することにより、ターボ真空ポンプを構
成する部品点数を減らして簡素化し、その組立て作業を
容易にすることができる。また、個々の加工精度も従来
に比較して大幅に緩和することができるので、個々の部
品の製作も容易になる。
以上述べたごとく、本発明によれば、ターボ真空ポン
プの構成を簡素化し、その組立て作業を容易にすること
ができる。また、個々の部品の加工精度も従来に比較し
て大幅に緩和することができるので、個々の部品の製作
も容易になり、ターボ真空ポンプとしての機能、性能を
低下させることなく、安価に製造することができる。
プの構成を簡素化し、その組立て作業を容易にすること
ができる。また、個々の部品の加工精度も従来に比較し
て大幅に緩和することができるので、個々の部品の製作
も容易になり、ターボ真空ポンプとしての機能、性能を
低下させることなく、安価に製造することができる。
第１図は、本発明によるターボ真空ポンプの断面図。第
２図は、第１図における渦流ポンプの断面図。第３図
は、第２図のＢ−Ｂ矢視断面図である。 １……ロータ、２……吸込口、３……ケーシング、５…
…翼、６……渦流ポンプステータ、７……通風路、４…
…シャフト、11……排気通路、11′……排気口、19……
モータステータ、20……モータロータ、21……軸流翼ロ
ータ、22……ねじ溝分子ポンプ、23……軸流翼ステー
タ。
２図は、第１図における渦流ポンプの断面図。第３図
は、第２図のＢ−Ｂ矢視断面図である。 １……ロータ、２……吸込口、３……ケーシング、５…
…翼、６……渦流ポンプステータ、７……通風路、４…
…シャフト、11……排気通路、11′……排気口、19……
モータステータ、20……モータロータ、21……軸流翼ロ
ータ、22……ねじ溝分子ポンプ、23……軸流翼ステー
タ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長岡 隆司 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社 日立製作所土浦工場内 (56)参考文献 特開 昭50−133506（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−75587（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−142313（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−280893（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−55396（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−57294（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】一端に吸込口が形成された円筒形のケーシ
ングと、排気通路と排気口が形成され前記ケーシングの
他端に固定された中空の渦流ポンプステータと、釣鐘状
に形成され前記ケーシングと渦流ポンプステータの間に
配置されたロータと、前記渦流ポンプステータの軸芯部
に回転可能に支持され、その一端に前記ロータを固定し
たシャフトと、前記渦流ポンプステータとシャフトの間
に配置され、シャフトを回転させるモータとを設け、前
記ケーシングの内周面とロータの外周との間に、前記吸
込口方向から複数段の軸流ポンプと複数段のねじ溝分子
ポンプを形成し、前記ロータの円周面と渦流ポンプステ
ータの外周面の間に、複数段の渦流ポンプを形成したこ
とを特徴とするターボ真空ポンプ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1083921A JP2585420B2 (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | ターボ真空ポンプ |
| US07/409,720 US5020969A (en) | 1988-09-28 | 1989-09-20 | Turbo vacuum pump |
| DE3932228A DE3932228A1 (de) | 1988-09-28 | 1989-09-27 | Turbovakuumpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1083921A JP2585420B2 (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | ターボ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02264196A JPH02264196A (ja) | 1990-10-26 |
| JP2585420B2 true JP2585420B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=13816069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1083921A Expired - Fee Related JP2585420B2 (ja) | 1988-09-28 | 1989-04-04 | ターボ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585420B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9422937B2 (en) * | 2012-02-23 | 2016-08-23 | Pleiffer Vacuum GmbH | Vacuum pump |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0783189A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-28 | Hitachi Ltd | ターボ真空ポンプ |
| CN1391037A (zh) * | 2002-06-13 | 2003-01-15 | 吴南生 | 超高真空泵及其三维压缩气体入水的液压方法 |
| GB0409139D0 (en) | 2003-09-30 | 2004-05-26 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| US10641282B2 (en) * | 2016-12-28 | 2020-05-05 | Nidec Corporation | Fan device and vacuum cleaner including the same |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3936240A (en) * | 1974-03-25 | 1976-02-03 | General Electric Company | Centrifugal-vortex pump |
| JPS52142313A (en) * | 1976-05-21 | 1977-11-28 | Hitachi Ltd | Voltex blower |
| ZA796107B (en) * | 1978-11-28 | 1980-10-29 | Compair Ind Ltd | Regenerative rotodynamic machines |
| JPS5757294U (ja) * | 1980-09-19 | 1982-04-03 | ||
| JPS6355396A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-09 | Hitachi Ltd | タ−ボ真空ポンプ |
| JPH0610477B2 (ja) * | 1987-05-13 | 1994-02-09 | 株式会社日立製作所 | タ−ボ真空ポンプ |
-
1989
- 1989-04-04 JP JP1083921A patent/JP2585420B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9422937B2 (en) * | 2012-02-23 | 2016-08-23 | Pleiffer Vacuum GmbH | Vacuum pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02264196A (ja) | 1990-10-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5020969A (en) | Turbo vacuum pump | |
| JP3584305B2 (ja) | 高性能ターボ分子真空ポンプ | |
| US5118251A (en) | Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure | |
| US6193461B1 (en) | Dual inlet vacuum pumps | |
| US5611660A (en) | Compound vacuum pumps | |
| JP3048583B2 (ja) | 高真空ポンプ用のポンプ段 | |
| JP2585420B2 (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| KR890004933B1 (ko) | 터어보분자펌프 | |
| US6220824B1 (en) | Self-propelled vacuum pump | |
| JPH0786357B2 (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
| JPH0553955B2 (ja) | ||
| JP3099475B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPS6355396A (ja) | タ−ボ真空ポンプ | |
| JPS61226596A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| JPH03237297A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| CN112814927B (zh) | 涡轮分子泵及其防尘式转子元件 | |
| JP3045418B2 (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| JPH03213695A (ja) | ターボ形真空ポンプ | |
| JP2897424B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH01170795A (ja) | 渦流形ターボ機械 | |
| JP2002285987A (ja) | 小型真空ポンプ | |
| JPS6321394A (ja) | 多段型オイルフリ−真空ポンプ | |
| JPH0617036Y2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH07217586A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| JPS61275594A (ja) | タ−ボ分子ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |