JP5991020B2 - 炭化珪素単結晶を主材料とする半導体装置 - Google Patents
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Description
上記の半導体装置は、スイッチング素子のドレイン電極がダイオードのカソード電極を兼用し、スイッチング素子のソース電極がダイオードのアノード電極を兼用する。上記の半導体装置では、ドレイン電位がソース電位よりも高い状態ではスイッチング素子がスイッチング機能を発揮し、スイッチング素子がオンであればドレインとソース間に電流が流れ、スイッチング素子がオフであればドレインとソース間に電流が流れることを阻止するとともに、ソース電位がドレイン電位よりも高い状態ではダイオードに順方向電流が流れるという特性が求められる。
上記の半導体装置の場合、スイッチング素子がオフであればドレインとソース間の電圧差が大きくてもドレインとソース間に電流が流れることを阻止する必要がある。本明細書では、スイッチング素子がオフであるにも係らず、オフ状態が敗れてドレインとソース間に電流が流れてしまう際のドレインとソース間の電圧差を耐圧という。スイッチング素子でオン・オフする回路に加えられる電圧が増大しており、半導体装置に必要とされる耐圧が増大している。
なお、ここでいうn型の表現は不純物濃度に限定されるものでない。いわゆるn−型からn+型を総称するものである。p型についても同様である。
トレンチショットキー電極とn型単結晶層が形成されている範囲では、ショットキーダイオードが形成され、アノード電極を兼用するソース電極にカソード電極を兼用するドレイン電極よりも高電位が印加されると、順方向電流が流れる。ドレイン電極にソース電極によりも高電位が印加された場合は、トレンチショットキー電極とn型単結晶層の間に電流が流れるのを阻止する。
n型単結晶層内にp型単結晶領域が形成されていない場合、ドレイン電極に高電位が印加されると、ドレイン電流が増大する。研究の結果、前記したように、ドレイン電極に高電位が印加されると、ショットキー電極の周囲に位置するn型単結晶層内に電界集中領域が形成され、その電界集中領域でアバランシェブレークダウンが発生し、そのためにドレイン電流が増大することが判明した。特に、トレンチショットキー電極の外形が屈曲している範囲(トレンチショットキー電極の側面から底面に屈曲するような範囲)に対向する領域のn型単結晶層内に、電界集中領域が形成されることが判明した。
本明細書に開示する半導体装置では、トレンチショットキー電極の外形が屈曲している範囲に対向する領域のn型単結晶層内にp型単結晶領域が形成されている。上記の位置にp型単結晶領域が形成されていると電界集中が緩和され、アバランシェブレークダウンの発生が抑制される。この結果、ドレイン電極に高電位が印加されても、アバランシェブレークダウンが発生せず、ドレイン電流は増大しない。
本明細書に開示する半導体装置では、n型単結晶層内にp型単結晶領域を形成しているので、半導体装置をオフにしておけば、ドレイン電圧を上げてもドレイン電流が増大しない。半導体装置の耐圧を高めることができる。
半導体装置がオフされている状態では、トレンチゲート電極が形成されている範囲内のn型単結晶層とp型単結晶層の界面からn型単結晶内に空乏層が広がる。トレンチショットキー電極の底面がトレンチゲート電極の底面よりも浅いと、その空乏層がトレンチショットキー電極の下方に向けて滑らかに伸び、アバランシェブレークダウンの防止に有利に作用する。
この場合、トレンチショットキー電極は直接にn型単結晶層に接する。安定したショットキー効果が得られる。
ショットキーダイオードの特性は、主としてドレイン電極(カソード電極を兼用している)の面積で決まる。トレンチショットキー電極の形成面積は、ショットキーダイオードの特性にあまり影響しない。一方、スイッチング素子の特性は、トレンチゲート電極の形成面積によって大きく影響される。そこで、1チップの面積が限られている場合、スイッチング素子とダイオードの特性を両立させるには、トレンチゲート電極の形成面積を広くとり、トレンチショットキー電極の形成面積を狭く取るのが有利である。すなわち、トレンチゲート電極の合計面積がトレンチショットキー電極の合計面積よりも広いことが好ましい。
(特長1)ソース電極がアノード電極を兼用し、ドレイン電極がカソード電極を兼用している。
(特徴2)ソース電極が、ボディコンタクト領域を介してボディ層に導通し、ソース領域に導通し、ショットキー電極に導通している。
(特徴3)ショットキー電極は、側面と底面を持つ柱状であり、側面から底面に移行する境界に沿って、p型単結晶領域が形成されている。
(特徴4)特徴3のp型単結晶領域に加えて、ショットキー電極の底面に接する(側面には接しない)p型単結晶領域が形成されている。
トレンチゲート電極20は、p型単結晶層4の表面からp型単結晶層4を貫通してn型単結晶層6に達している。トレンチゲート電極20は、ゲート絶縁膜22によって、n型単結晶層6とp型単結晶層4から絶縁されている。
ショットキー電極12も、p型単結晶層4の表面からp型単結晶層4を貫通してn型単結晶層6に達している。ショットキー電極12は絶縁層で被覆されていない。
n型単結晶領域16は、絶縁膜22を介してトレンチゲート電極20に対向するとともに、p型単結晶層4でn型単結晶層6から分離された位置に形成されている。
スイッチング素子で電流をオン・オフする負荷が誘導成分を持っている場合、スイッチング素子で電流をオフしたときに負荷の誘導成分によってソース電極(アノード電極)2にドレイン電極(カソード電極)10よりも高電位が印加されることがある。この場合、ソース電極(アノード電極)2とドレイン電極(カソード電極)10の間で電流が流れる。トレンチショットキー電極12が形成されてp型単結晶層4が除去されている範囲Cに形成されている半導体構造は、ショットキーダイオードとして動作する。ショットキーダイオードが、素子に過大な電圧が印加されることを防止する。
電界が集中し過ぎると、電界集中箇所でアバランシェブレークダウンが発生し、ドレイン電流が増大する。ドレイン電極10の電位が上昇すると、スイッチング素子がオフ状態を維持できなくなる。研究の結果、ショットキー電極12の側面と底面が接する位置、すなわちショットキー電極12の外形が屈曲する範囲の近傍に位置するn型単結晶層6内に電界集中が発達してアバランシェブレークダウンが発生することが判明した。
図3のXは、電界集中が発達してアバランシェブレークダウンが発生する位置を示している。
p型単結晶層24が上記の位置に形成されていると、図3に示した電界集中の発達が抑制され、アバランシェブレークダウンの発生を防止できる。
a)p型単結晶層4とn型単結晶層6の境界a(p型単結晶領域24の最浅部)
b)トレンチショットキー電極12とn型単結晶層6の境界b
c)トレンチゲート電極20とn型単結晶層6の境界c(絶縁膜22の膜厚は薄い)
d)p型単結晶領域24の最深部。
レベルbがレベルcよりも浅く、レベルdがレベルcよりも深いと、p型単結晶層4とn型単結晶層6の境界からn型単結晶層6内に広がる空乏層が、p型単結晶領域24とトレンチショットキー電極12の下方に向けて広く広がる。これもまた、図3に示した電界集中の発達を抑制する。
図4のカーブC2とC3は、p型単結晶領域24が形成されていない場合のドレイン電圧とドレイン電流の関係を示している。カーブC3は、トレンチショットキー電極12とn型単結晶層6の境界bがトレンチゲート電極20とn型単結晶層6の境界cよりも深い場合の結果を示している。カーブC2は、トレンチショットキー電極12とn型単結晶層6の境界bがトレンチゲート電極20とn型単結晶層6の境界cと等しい場合の結果を示している。図5は、図4のVの範囲の横軸を拡大した図を示している。カーブC3の場合、ドレイン電圧が100ボルト以下でドレイン電流が増大してしまう。トレンチショットキー電極12とn型単結晶層6の境界bがトレンチゲート電極20とn型単結晶層6の境界cよりも深いと、耐圧が低下することがわかる。カーブC2でも、ドレイン電圧が200ボルト以下でドレイン電流が増大してしまう。p型単結晶領域24が形成されていないと、半導体装置の耐圧が確保されないことが確認される。
図8は、トレンチゲート電極20が、チップ26の外周に沿って一巡しており、その中央開口内にショットキー電極12が形成されている場合を示している。ショットキー電極12の側面と底面の境界は、平面視すると4角形である。図9に示すように、p型の単結晶領域24は、その4角形の輪郭に沿う範囲に形成されている。この実施例によっても、電界集中の発達を防止でき、アバランシェブレークダウンの発生を防止でき、半導体装置の耐圧を向上させることができる。
図10は、図8と図9に示す単位構造が、1チップ内に複数配置された実施例を示している。この場合、連続しているトレンチゲート電極に囲まれた単結晶領域内に、ショットキー電極が形成されることになる。
図11は、トレンチゲート電極に囲まれた単結晶領域の平面形状が8角形である場合を例示している。トレンチゲート電極の形状、トレンチゲート電極に隣接する単結晶領域の形状、ショットキー電極の形状は種々に変形することができる。
図1では、トレンチの側面におけるゲート絶縁膜22の厚みと、トレンチの底面におけるゲート絶縁膜22の厚みが等しい場合を例示している。実際には、トレンチ底面におけるゲート絶縁膜22の厚みを、側面における厚みよりも厚くしてもよい。トレンチ底面におけるゲート絶縁膜22の厚みを厚くすると、耐圧向上効果が得られる。
また下記に記載する特許請求の範囲の技術的範囲は、実施例に限定されない。実施例はあくまで実施例を例示するものである。
4:p−型単結晶層(ボディ層)
6:n−型単結晶層(耐圧層)
8:n+型単結晶層(ドレインコンタクト層)
10:ドレイン電極(カソード電極兼用)
12:ショットキー電極
14:p+型単結晶領域(ボディコンタクト領域)
16:n+型単結晶領域(ソース領域)
18:層間絶縁膜
20:トレンチゲート電極
22:ゲート絶縁膜
24:p型単結晶領域
26:チップ外形
28:素子領域と周辺領域の境界
30:ゲートパッド
Claims (4)
- 炭化珪素のn型単結晶層と、
n型単結晶層上に積層されている炭化珪素のp型単結晶層と、
p型単結晶層の表面からp型単結晶層を貫通してn型単結晶層に達しているとともに、ゲート絶縁膜でn型単結晶層とp型単結晶層から絶縁されているトレンチゲート電極と、
ゲート絶縁膜を介してトレンチゲート電極に対向するとともに、p型単結晶層でn型単結晶層から分離された位置に形成されている炭化珪素のn型単結晶領域と、
隣り合うトレンチゲート電極の間に配置されており、p型単結晶層の表面からp型単結晶層を貫通してn型単結晶層に達しているトレンチショットキー電極と、
トレンチショットキー電極の外形が屈曲している範囲に対向する領域のn型単結晶層内に形成されており、p型単結晶層に接触している炭化珪素のp型単結晶領域と、
を備えており、
トレンチショットキー電極の底面が、トレンチゲート電極の底面よりも浅いことを特徴とする、
半導体装置。 - トレンチショットキー電極の底面が、p型単結晶層の底面に一致しているか、あるいはそれよりも深いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- p型単結晶領域が、トレンチゲート電極の底面よりも浅いレベルから深いレベルに亘っていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 1チップを平面視したときに、トレンチゲート電極の合計面積がトレンチショットキー電極の合計面積よりも広いことを特徴とする請求項1から3のいずれかの1項に記載の半導体装置。
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