JP5986488B2 - パワー半導体モジュールおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
絶縁基板(1)の導体パターン(1c1)上にパワー半導体チップ(201)を搭載し、
前側壁部(2a1)と、後側壁部(2a2)と、右側壁部(2a3)と、左側壁部(2a4)と、上下方向に貫通した中央開口(2a5)とを有する外囲ケース(2)を設け、
電気絶縁性の樹脂材料と、パワー半導体チップ(201)の下面の電極に電気的に接続される外部端子(2b18)と、パワー半導体チップ(201)の上面の電極に電気的に接続される外部端子(2b13)とをインサート成形によって一体化することにより、外囲ケース(2)を形成し、
絶縁基板(1)の前後方向寸法(W1a)を、外囲ケース(2)の前側壁部(2a1)の後側表面と後側壁部(2a2)の前側表面との間隔(W2a)よりも小さくすると共に、絶縁基板(1)の左右方向寸法(W1b)を、外囲ケース(2)の右側壁部(2a3)の左側表面と左側壁部(2a4)の右側表面との間隔(W2b)よりも小さくしたパワー半導体モジュール(100)において、
前側部分(3a)と、後側部分(3b)と、右側部分(3c)と、左側部分(3d)と、上下方向に貫通した中央開口(3e)とを有する枠状のスペーサ(3)を設け、
外囲ケース(2)を構成する樹脂材料よりも熱伝導性が高い高熱伝導性材料によって、スペーサ(3)を形成し、
スペーサ(3)の中央開口(3e)と絶縁基板(1)とを相補形状に形成し、
絶縁基板(1)の金属層(1b)の下面とスペーサ(3)の下面とが同一平面上に位置するように、絶縁基板(1)をスペーサ(3)の中央開口(3e)に嵌合させて絶縁基板(1)とスペーサ(3)とを接続し、
絶縁基板(1)およびスペーサ(3)を外囲ケース(2)の下端部に接続したことを特徴とするパワー半導体モジュール(100)が提供される。
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)の下面とスペーサ(3)の係止部(3f)の下面との上下方向間隔(S3)と、請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の厚さ(T1)とを等しくし、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の厚さ(T1)とは異なる厚さ(T1’)を有する他の絶縁基板(1’)を具備する他のパワー半導体モジュール(100’)が製造される場合に、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)とは異なる他のスペーサ(3’)であって、その下面とその係止部(3f)の下面との上下方向間隔(S3’)と、他の絶縁基板(1’)の厚さ(T1’)とが等しい他のスペーサ(3’)を、他のパワー半導体モジュール(100’)に用いると共に、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)に用いられる外囲ケース(2)を、他のパワー半導体モジュール(100’)にも用いることを特徴とするパワー半導体モジュール(100,100’)の製造方法が提供される。
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の前後方向寸法(W1a)および左右方向寸法(W1b)とは、前後方向寸法(W1a”)および左右方向寸法(W1b”)の少なくとも一方が異なる他の絶縁基板(1”)を、他のパワー半導体モジュール(100”)に用い、
他のパワー半導体モジュール(100”)に用いられる他の絶縁基板(1”)と相補形状の中央開口(3e)であって、請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)の中央開口(3e)とは形状が異なる中央開口(3e)を具備する他のスペーサ(3”)を、他のパワー半導体モジュール(100”)に用い、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の外囲ケース(2)の製造に用いられる成形用金型を用いて製造された他の外囲ケース(2”)を、他のパワー半導体モジュール(100”)に用いることを特徴とするパワー半導体モジュール(100,100”)の製造方法が提供される。
1a 電気絶縁層
1b 金属層
1c1,1c2,1c3,1c4,1c5,1c6 導体パターン
1c7,1c8,1c9,1c10,1c11 導体パターン
1c12,1c13,1c14,1c15,1c16 導体パターン
1c17,1c18,1c19,1c20,1c21 導体パターン
2,2” 外囲ケース
2a1 前側壁部
2a2 後側壁部
2a3 右側壁部
2a4 左側壁部
2a5 中央開口
2b1,2b2,2b3,2b4,2b5 信号端子
2b6,2b7,2b8,2b9,2b10 信号端子
2b11,2b12 信号端子
2b13,2b14,2b15,2b16,2b17 外部端子
2b18,2b19,2b20,2b21 外部端子
3 スペーサ
3a 前側部分
3b 後側部分
3c 右側部分
3d 左側部分
3e 中央開口
3f 係止部
4 カバー
100,100’,100” パワー半導体モジュール
201,202,203,204,205 パワー半導体チップ
206,207,208,209,210 パワー半導体チップ
211,212,213,214 パワー半導体チップ
TH サーミスタ
Claims (3)
- 電気絶縁層(1a)と、電気絶縁層(1a)の下側に形成された金属層(1b)と、電気絶縁層(1b)の上側に形成された導体パターン(1c1)とを有する絶縁基板(1)を設け、
絶縁基板(1)の導体パターン(1c1)上にパワー半導体チップ(201)を搭載し、
前側壁部(2a1)と、後側壁部(2a2)と、右側壁部(2a3)と、左側壁部(2a4)と、上下方向に貫通した中央開口(2a5)とを有する外囲ケース(2)を設け、
電気絶縁性の樹脂材料と、パワー半導体チップ(201)の下面の電極に電気的に接続される外部端子(2b18)と、パワー半導体チップ(201)の上面の電極に電気的に接続される外部端子(2b13)とをインサート成形によって一体化することにより、外囲ケース(2)を形成し、
絶縁基板(1)の前後方向寸法(W1a)を、外囲ケース(2)の前側壁部(2a1)の後側表面と後側壁部(2a2)の前側表面との間隔(W2a)よりも小さくすると共に、絶縁基板(1)の左右方向寸法(W1b)を、外囲ケース(2)の右側壁部(2a3)の左側表面と左側壁部(2a4)の右側表面との間隔(W2b)よりも小さくしたパワー半導体モジュール(100)において、
前側部分(3a)と、後側部分(3b)と、右側部分(3c)と、左側部分(3d)と、上下方向に貫通した中央開口(3e)とを有する枠状のスペーサ(3)を設け、
外囲ケース(2)を構成する樹脂材料よりも熱伝導性が高い高熱伝導性材料によって、スペーサ(3)を形成し、
スペーサ(3)の中央開口(3e)と絶縁基板(1)とを相補形状に形成し、
絶縁基板(1)の金属層(1b)の下面とスペーサ(3)の下面とが同一平面上に位置するように、絶縁基板(1)をスペーサ(3)の中央開口(3e)に嵌合させて絶縁基板(1)とスペーサ(3)とを接続し、
絶縁基板(1)およびスペーサ(3)を外囲ケース(2)の下端部に接続したことを特徴とするパワー半導体モジュール(100)。 - 請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の上面に当接する係止部(3f)を、請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)に設け、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)の下面とスペーサ(3)の係止部(3f)の下面との上下方向間隔(S3)と、請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の厚さ(T1)とを等しくし、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の厚さ(T1)とは異なる厚さ(T1’)を有する他の絶縁基板(1’)を具備する他のパワー半導体モジュール(100’)が製造される場合に、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)とは異なる他のスペーサ(3’)であって、その下面とその係止部(3f)の下面との上下方向間隔(S3’)と、他の絶縁基板(1’)の厚さ(T1’)とが等しい他のスペーサ(3’)を、他のパワー半導体モジュール(100’)に用いると共に、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)に用いられる外囲ケース(2)を、他のパワー半導体モジュール(100’)にも用いることを特徴とするパワー半導体モジュール(100,100’)の製造方法。 - 請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のパワー半導体チップ(201)の数とは異なる数のパワー半導体チップ(201”)を具備する他のパワー半導体モジュール(100”)が製造される場合に、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の絶縁基板(1)の前後方向寸法(W1a)および左右方向寸法(W1b)とは、前後方向寸法(W1a”)および左右方向寸法(W1b”)の少なくとも一方が異なる他の絶縁基板(1”)を、他のパワー半導体モジュール(100”)に用い、
他のパワー半導体モジュール(100”)に用いられる他の絶縁基板(1”)と相補形状の中央開口(3e)であって、請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)のスペーサ(3)の中央開口(3e)とは形状が異なる中央開口(3e)を具備する他のスペーサ(3”)を、他のパワー半導体モジュール(100”)に用い、
請求項1に記載のパワー半導体モジュール(100)の外囲ケース(2)の製造に用いられる成形用金型を用いて製造された他の外囲ケース(2”)を、他のパワー半導体モジュール(100”)に用いることを特徴とするパワー半導体モジュール(100,100”)の製造方法。
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