JP5959914B2 - 基板処理システム、基板搬送方法および記憶媒体 - Google Patents
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Description
20 フープ
25 基板載置台
30a 基板バッファ
30b 基板バッファ
34 ウエハ反転機構
35 ウエハ移し換え装置
37 フォーク支持部材
38a、38b フォーク
40A ウエハ処理ユニット
40B ウエハ処理ユニット
40a ウエハ処理モジュール
40b ウエハ処理モジュール
50 第1のウエハ搬送装置
51 基体部材
52 垂直移動機構
53 フォーク支持部材
53a、53b 水平移動機構
54a、54b フォーク
55 基台
56 レール
60a、60b 第2のウエハ搬送装置
63a、63b フォーク支持部材
64a、64b フォーク
65a、65b 基台
100 コントローラ
101 記憶媒体
Claims (19)
- 基板に対して処理を施す複数の基板処理モジュールを含む複数の基板処理ユニットと、 複数の基板を含む基板収納体が搬入される基板載置台と、
各基板処理ユニットに対応して設けられ、複数の基板を一時的に収納する基板バッファと、
基板載置台上の基板収納体内から基板を取出し、当該基板を少なくとも一つの基板処理ユニットに対応する基板バッファ内に搬送する第1の基板搬送装置と、
各基板処理ユニット毎に設けられ、基板バッファと基板処理モジュール間で基板を搬送する第2の基板搬送装置とを備え、
各基板バッファ間で、基板を移し換えるためのバッファ間移し換え装置を設けるとともに、
一の基板処理ユニットで基板処理ができないときに、当該基板処理ユニットの基板バッファ内にある未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへバッファ間移し換え装置により移し換えることを特徴とする基板処理システム。 - バッファ間移し換え装置は、第1の基板搬送装置と別体に設けられた基板移し換え装置からなることを特徴とする請求項1記載の基板処理システム。
- バッファ間移し換え装置は、第1の基板搬送装置からなることを特徴とする請求項1記載の基板処理システム。
- 第1の基板搬送装置は、通常運転時に複数枚の基板をまとめて基板収納体から取出すとともに、複数枚の基板をまとめて基板収納体へ戻し、一の基板処理ユニットで基板処理ができないときに、バッファ間移し換え装置により他の基板処理ユニットの基板バッファへ移し換えられ、当該他の基板処理ユニット内で処理された処理済基板を当該他の基板処理ユニットの基板バッファ内から一枚ずつ基板収納体へ搬送することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の基板処理システム。
- 第1の基板搬送装置は、一の基板処理ユニットで基板処理ができないときに、当該一の基板処理ユニット内ですでに処理された処理済基板を当該一の基板処理ユニットの基板バッファ内から、未処理基板が他の基板処理ユニットで処理された後、当該基板バッファへ戻ることを待つことなく基板収納体へ搬送することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の基板処理システム。
- 一の基板処理ユニットの基板バッファ内にある未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへバッファ間移し換え装置により移し換える間に一の基板処理ユニットで基板処理が可能となった場合、バッファ間移し換え装置による移し換え作業が終了することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載の基板処理システム。
- 基板処理ができない基板処理ユニットの基板バッファから他の基板処理ユニットの基板バッファへ、未処理基板をバッファ間移し換え装置により一枚ずつ移し換えることを特徴とする請求項1乃至6記載の基板処理システム。
- 一の基板処理ユニットの第2の基板搬送装置が故障した場合に、当該基板処理ユニットの基板バッファ内の未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへバッファ間移し換え装置により移し換えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の基板処理システム。
- 一の基板処理ユニット内ですべての基板処理モジュールが故障した場合に、当該基板処理ユニットの基板バッファ内の未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへバッファ間移し換え装置により移し換えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の基板処理システム。
- 複数の基板を含む基板収納体を基板載置台上へ搬入することと、
基板載置台上の基板収納体から基板を第1の基板搬送装置により取出し、当該基板を各々が複数の基板処理モジュールを含む複数の基板処理ユニットのいずれかの基板処理ユニットの基板バッファへ搬送することと、
各基板処理ユニットの基板バッファ内の基板を第2の基板搬送装置により当該基板処理ユニット内の基板処理モジュールへ搬送することとを備え、
一の基板処理ユニットで基板処理ができないときに、当該基板処理ユニットの基板バッファ内にある未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへバッファ間移し換え装置により移し換えることを特徴とする基板搬送方法。 - バッファ間移し換え装置は、第1の基板搬送装置と別体に設けられた基板移し換え装置からなることを特徴とする請求項10記載の基板搬送方法。
- バッファ間移し換え装置は、第1の基板搬送装置からなることを特徴とする請求項10記載の基板搬送方法。
- 第1の基板搬送装置は、一の基板処理ユニットで基板処理ができないときに、バッファ間移し換え装置により他の基板処理ユニットの基板バッファへ移し換えられ、当該他の基板処理ユニット内で処理された処理済基板を当該他の基板処理ユニットの基板バッファ内から一枚ずつ基板収納体へ搬送することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか記載の基板搬送方法。
- 第1の基板搬送装置は、一の基板処理ユニットで基板処理ができないときに、当該一の基板処理ユニット内ですでに処理された処理済基板を当該一の基板処理ユニットの基板バッファ内から、未処理基板が他の基板処理ユニットで処理された後、当該基板バッファへ戻ることを待つことなく基板収納体へ搬送することを特徴とする請求項10乃至13のいずれか記載の基板搬送方法。
- 一の基板処理ユニットの基板バッファ内にある未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへバッファ間移し換え装置により移し換える間に一の基板処理ユニットで基板処理が可能となった場合、バッファ間移し換え装置による移し換え作業が終了することを特徴とする請求項10乃至14のいずれか記載の基板搬送方法。
- 基板処理ができない基板処理ユニットの基板バッファから他の基板処理ユニットの基板バッファへ、未処理基板をバッファ間移し換え装置により一枚ずつ移し換えることを特徴とする請求項10乃至15のいずれか記載の基板搬送方法。
- 一の基板処理ユニットの第2の基板搬送装置が故障した場合に、当該基板処理ユニットの基板バッファ内の未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへ基板移し換え装置により移し換えることを特徴とする請求項10乃至16のいずれか記載の基板搬送方法。
- 一の基板処理ユニット内ですべての基板処理モジュールが故障した場合に、当該基板処理ユニットの基板バッファ内の未処理基板を他の基板処理ユニットの基板バッファへ基板移し換え装置により移し換えることを特徴とする請求項10乃至16のいずれか記載の基板搬送方法。
- コンピュータに請求項10〜18の基板搬送方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体。
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