JP5955530B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す図である。図2は、撮像手段の構成例を示す図である。図3は、シャッター手段の構成例を示す図である。図4は、シャッター手段の構成例を示す図である。図5は、シャッター手段の動作説明図である。なお、図3は、顕微鏡ボックス内の顕微鏡およびシャッター手段を側面から見た図である。また、図4および図5は、顕微鏡ボックス内のシャッター手段を上面から見た図であり、図4が遮蔽時、図5が撮像時を示す図である。
上記実施形態では、底部32aがX軸方向において傾斜して形成されているが本発明はこれに限定されるものではない。図6は、顕微鏡ボックスの他の構成例を示す図である。底部32aは、図6に示すように、Y軸に対して傾斜して形成されていてもよい。底部32aは、Y軸方向視における一方の端部(同図左側の端部)が上端部32eとなり、Y軸方向視における他方の端部(同図右側の端部)が下端部32fとなるように傾斜している。つまり、下端部32fは、Y軸方向においてチャックテーブル10側に形成されている撮像用開口32bから離れた、すなわち上記顕微鏡31による撮像範囲Sから離れた位置に形成されている。この場合は、底部32aの外側に付着している切削液は、上端部32eから下端部32fに、Y軸方向においてチャックテーブル10側と反対側に向かって底部32aの外側を移動、すなわち下端部32fに誘導される。下端部32fに集まった切削液Lは、最終的にチャックテーブル移動基台2、チャックテーブル移動基台2の両端に配設された蛇腹の表面等に滴下する。本変形例では、下端部32fがZ軸方向においてチャックテーブル10と対向しない位置に形成されることとなり、保持された被加工物Wの表面に切削液Lが滴下することを抑制できるので、上記実施形態と同様の効果のみならず、被加工物Wの表面に滴下した切削液Lが表面上を移動して顕微鏡31の撮像範囲Sに位置することを確実に抑制することができる。
10 チャックテーブル
20 加工手段
30 撮像手段
31 顕微鏡
31a 対物レンズ
32 顕微鏡ボックス
32a 底部
32b 撮像用開口
32c,32e 上端部
32d,32f 下端部
33 シャッター手段
35 エアシリンダ機構
35a シリンダ部
35b ピストン
36 遮蔽板
36a 板状部
36b〜36d 突起部
36e スカート部
37 ガイド部材
40 Y軸移動手段
50 Z軸移動手段
60 カセットエレベータ
70 仮置き手段
80 洗浄・乾燥手段
90 制御手段
100 搬出入手段
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物に切削加工を施す切削ブレード及び該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する加工手段と、該チャックテーブルに保持された該被加工物の表面を撮像する撮像手段とを備えた切削装置において、
該撮像手段は、該チャックテーブルに保持された該被加工物の表面と対向する対物レンズを備えた顕微鏡と、該顕微鏡の周囲を覆い、かつ一部に撮像用開口が形成された底部を有する顕微鏡ボックスと、遮蔽時と撮像時とで該撮像用開口を選択的に開閉するシャッター手段と、からなり、
該顕微鏡ボックスの該底部は、水平面に対して傾斜しており、該底部に付着している該切削液は傾斜した該底部の下端部に誘導され、該底部に滞留せず、撮像範囲から離れた位置への滴下を促進することを特徴とする切削装置。
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