JP5975767B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
10 チャックテーブル
20 切削手段(加工手段)
30 カセット載置台
32 ガイドレール(フレーム支持手段)
33 撮像手段
36 回転アーム
37 カメラ
38 回転軸
43 支持部材(フレーム支持手段)
50 搬送手段
60 カセット
F 環状のフレーム
Fa 開口面
T ダイシングテープ
W 被加工物
WR 裏面
Claims (2)
- 環状のフレームにダイシングテープを介して貼着された板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該フレームに貼着された該被加工物を収容するカセットを上面に載置する筐体状のカセット載置台と、
該カセットと該チャックテーブルとの間で該被加工物を搬送する搬送手段と、を備える加工装置であって、
該カセット載置台の内部には、該カセット載置台の内部に搬入される該被加工物が貼着された該フレームを支持するフレーム支持手段と、該フレーム支持手段に支持された該フレームに貼着された該被加工物を該ダイシングテープ越しに裏面から撮像する撮像手段と、が少なくとも配設される加工装置。 - 前記撮像手段は、
撮像素子を有するカメラと、前記フレーム支持手段に支持される前記フレームの開口面と平行方向に延在し該カメラを該ダイシングテープに対向させて搭載する回転アームと、該回転アームを該ダイシングテープと直交する軸で回転させる回転軸と、を含んで構成される、請求項1記載の加工装置。
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JP2012160034A JP5975767B2 (ja) | 2012-07-18 | 2012-07-18 | 加工装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012160034A JP5975767B2 (ja) | 2012-07-18 | 2012-07-18 | 加工装置 |
Publications (2)
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JP2014022575A JP2014022575A (ja) | 2014-02-03 |
JP5975767B2 true JP5975767B2 (ja) | 2016-08-23 |
Family
ID=50197123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012160034A Active JP5975767B2 (ja) | 2012-07-18 | 2012-07-18 | 加工装置 |
Country Status (1)
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2012
- 2012-07-18 JP JP2012160034A patent/JP5975767B2/ja active Active
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