JP5950366B2 - 高密度導電部を有するテスト用ソケット及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、高密度導電部を有するテスト用ソケット及びその製造方法に係り、さらに詳細には、被検査デバイスの端子との電気的接触性能を高めることができ、耐久性にすぐれる高密度導電部を有するテスト用ソケット及びその製造方法に関する。
一般的に、被検査デバイスの電気的特性検査のためには、被検査デバイスとテスト装置との電気的連結が安定してなされなければならない。通常、被検査デバイスとテスト装置との連結のための装置として、テスト用ソケットが使用される。
かようなテスト用ソケットの役割は、被検査デバイスの端子と、テスト装置のパッドとを互いに連結させ、電気的な信号が双方に交換可能にするのである。このために、テスト用ソケットの内部に使用される接触手段として、弾性導電シートまたはポゴピンが使用される。かような弾性導電シートは、弾性を有する導電部を、被検査デバイスの端子と接続させるものであり、ポゴピンは、内部にスプリングが設けられており、被検査デバイスとテスト装置との連結を円滑にし、連結時に発生しうる機械的な衝撃を緩衝することができ、ほとんどのテストソケットに使用されている。
かようなテスト用ソケットの一例として、図１に図示されているように、テスト用ソケット２０は、ＢＧＡ（ball grid array）半導体素子２のボールリード（ball lead）４が接触する領域に形成された導電性シリコン部８と、前記導電性シリコン部８を支持するように、半導体素子２の端子４が接触しない領域に形成され、絶縁層の役割を行う絶縁シリコン部６と、から構成される。前記半導体素子２のテストを行うソケットボード１２の接触パッド１０と、半導体素子２のリード端子４と、を電気的に連結する導電性シリコン部８の上端表面には、リング型の伝導性リング７が実装されている。
前記テスト用ソケットによれば、いくつかの半導体素子を押し付けて電気的な接触をなさせるテストシステムに効率的であり、それぞれの導電シリコン部が独立して押し付けられるので、周辺装置の平坦度に対応が容易であって特性が向上しうる。また、金属リング内部にある導電性シリコン部が、半導体素子のリード端子によって押し付けられるとき、広がらないようにし、変位を最小化するので、コンタクタの寿命が長くなるという特徴がある。
従来技術の他の例として開示された図２のテストソケットは、半導体素子２のテストを行うソケットボード１２の接触パッド１０と、半導体素子２のリード端子４とを電気的に連結する導電性シリコン部８の上端及び下端の表面に、メッキ、エッチング、コーティングなどの方法を利用して、導電体２２を実装する構造が開示される。
しかし、前述の技術では、完成された導電性シリコン部の上端／下端表面にメッキ、エッチング、コーティングなどの方法を利用して、「強固な（rigid）」導電体２２を実装しているので、導電体のない状態のシリコン部に比べ、接触部の弾性力が低下するということは、当然のことであるので、半導体素子の端子及びテストボードなどのパッドに弾性的に接触させることを目的にする集積化されたシリコンコンタクタの長所が希薄になり、頻繁な接触によって、前記メッキ、エッチング、コーティング面、及び相手方半導体素子端子またはテストボードのパッドが損傷され、異物が入り込むような問題が生じている。
かような問題を解決すべく、図３に開示されているようなテスト用ソケットが開示されている。かようなテスト用ソケットは、ＢＧＡ半導体素子２のボールリード４が接触する領域に形成され、シリコンに導電性金属パウダーが混合された導電性シリコン部８と；前記導電性シリコン部８を支持するように、半導体素子２のリード端子４が接触しない領域に形成され、絶縁層の役割を行う絶縁シリコン部６と、を開示している。このとき、前記導電性シリコン部８の上部（図３の（ａ）参照）または下部（図３の（ｂ）参照）、または上下部いずれにも、前記導電性シリコン部８の導電性パウダー密度より高い密度の導電強化層３０，３０’が形成されている。かような図３に開示されたテスト用ソケットは、導電性を向上させるという効果がある。
しかし、かような従来技術は、次のような問題点がある。
導電強化層によって、導電性が向上するという長所はあるが、前記導電強化層は、導電性シリコン部の上側に突設されており、半導体素子２の端子との頻繁な接触過程で、容易に変形したり、あるいは損傷されたりするというような恐れがある。特に、端子との頻繁な接触によって、突出した導電強化層がその形状をそのまま維持することができずに破損される恐れがある。
本発明は、前述の問題点を解決するために創出されたものであり、さらに詳細には、電気的接触性を高めながら、耐久性が向上する高密度導電部を有するテスト用ソケット及びその製造方法に係わるものである。
前述の目的を果たすための本発明の高密度導電部を有するテスト用ソケットは、被検査デバイスと検査装置との間に配置され、前記被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に連結するテスト用ソケットであって、被検査デバイスの端子と対応される位置に配置されるが、弾性物質内に、多数の第１導電性粒子が厚み方向に配列される第１導電部と、前記第１導電部を支持しながら、隣接した第１導電部から絶縁させる絶縁性支持部を含む弾性導電シート；前記弾性導電シートの上面側及び下面側のうち少なくともいずれか一方に付着されるが、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、貫通孔が形成される支持シート；及び前記支持シートの貫通孔内に配置されるが、弾性物質内に、多数の第２導電性粒子が厚み方向に配置される第２導電部；を含んで構成されるが、前記第２導電性粒子は、前記第１導電性粒子より、前記弾性物質内に高密度に配置される。
前記テスト用ソケットで、前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より小さくもある。
前記テスト用ソケットで、前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より２〜１０倍ほど小さくもある。
前記テスト用ソケットで、前記第２導電部は、前記貫通孔内に一体的にも付着される。
前記テスト用ソケットで、前記第２導電部は、前記第１導電部に一体的にも付着される。
前記テスト用ソケットで、前記支持シートは、前記絶縁性支持部より強度が強くもある。
前記テスト用ソケットで、前記支持シートには、互いに隣接した第２導電部を互いに独立して作動させる分離部が形成されもする。
前記テスト用ソケットで、前記分離部は、支持シートを切断して形成される切断溝または切断ホールでもある。
前述の目的を果たすための本発明のテスト用ソケットの製造方法は、被検査デバイスと検査装置との間に配置され、前記被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に連結するテスト用ソケットの製造方法であって、シート状の支持シートに、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、多数の貫通孔を形成する段階と、内部に空洞が形成された金型を準備し、前記空洞内に、前記シート状の支持シートを配置する段階と、前記貫通孔内に、多数の第２導電性粒子が分布している液状弾性物質を充填する段階と、前記空洞内に、第１導電性粒子が分布している液状弾性物質を充填する段階と、磁場を加え、前記第１導電性粒子を、被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに一列に配置させる段階と、を含むが、一列に配置される第１導電性粒子より、前記貫通孔内に分布された第２導電性粒子が高密度に密集されるように、前記液状弾性物質内に分布される第２導電性粒子の数を決定することができる。
前記製造方法で、前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より小さくもある。
前記製造方法で、前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径と同等でもある。
前述の目的を果たすための本発明のテスト用ソケットの製造方法は、被検査デバイスと検査装置との間に配置され、前記被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に連結するテスト用ソケットの製造方法であって、シート状の支持シートに、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、多数の貫通孔を形成する段階と、前記貫通孔内に、多数の第２導電性粒子が分布された液状弾性物質を充填し、前記液状弾性物質を硬化させる段階と、金型内に、多数の第１導電性粒子が分布された液状弾性物質を充填した後、被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに磁場を加え、前記第１導電性粒子を一列に配置し、前記液状弾性物質を硬化させて弾性導電シートを製作する段階と、前記弾性導電シートの上面及び下面のうち少なくともいずれか一方に、前記支持シートを付着させる段階と、を含む。
前記製造方法で、前記弾性導電シートと、前記支持シートは、接着物質によって互いに接着される。
本発明によるテスト用ソケットは、第２導電性粒子が高密度に集積されて配置された第２導電部が、支持シート内に支持されているので、電気的な伝導性が全体的に高くなるのは言うまでもなく、耐久性が増進するのである。
従来技術によるテスト用ソケットを示す図面である。 従来技術によるテスト用ソケットを示す図面である。 従来技術によるテスト用ソケットを示す図面である。 本発明の一実施形態によるテスト用ソケットを示す図面である。 図４の作動図である。 図４に開示されたテスト用ソケットを製造する一実施形態を示す図面である。 図４に開示されたテスト用ソケットを製造する一実施形態を示す図面である。 図４に開示されたテスト用ソケットを製造する一実施形態を示す図面である。 図４に開示されたテスト用ソケットを製造する他の実施形態を示す図面である。 図４に開示されたテスト用ソケットを製造する他の実施形態を示す図面である。 本発明の他の実施形態によるテスト用ソケットを示す図面である。 本発明のさらに他の実施形態によるテスト用ソケットを示す図面である。
以下、本発明の一実施形態によるテスト用ソケットについて、添付された図面を参照しながら詳細に説明する。
本発明の一実施形態によるテスト用ソケット１００は、被検査デバイス９００と、検査装置８００との間に配置され、前記被検査デバイス９００の端子９１０と、検査装置８００のパッド８１０とを電気的に連結させる。
かようなテスト用ソケット１００は、弾性導電シート１１０、支持シート１２０及び第２導電部１３０を含んで構成される。
前記弾性導電シート１１０は、厚み方向には、電気的な流れを可能にし、厚み方向と直角である面方向では、電気的な流れを不可とするものであり、弾性的に圧縮されながら、被検査デバイス９００の端子９１０から加えられる衝撃力を吸収するように設計されている。かような弾性導電シート１１０は、第１導電部１１１と、絶縁性支持部１１２と、を含んで構成される。
前記第１導電部１１１は、被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置に配置されるが、弾性物質内に、多数の第１導電性粒子１１１ａが、厚み方向に一列配置される。
前記第１導電部１１１を形成する弾性物質としては、架橋構造を有する耐熱性の高分子物質が望ましい。かような架橋高分子物質を得るために利用することができる硬化性の高分子物質形成材料としては、多様なものを利用することができるが、液状シリコンゴムが望ましい。液状シリコンゴムは、付加型のものでも縮合型のものでもよいが、付加型液状シリコンゴムが望ましい。第１導電部１１１を、液状シリコンゴムの硬化物（以下、「シリコンゴム硬化物」とする）によって形成する場合において、前記シリコン硬化物は、１５０℃における圧縮永久歪曲が、１０％以下であることが望ましく、さらに望ましくは、８％以下、さらに望ましくは、６％以下である。該圧縮永久歪曲が１０％を超える場合には、得ることができる弾性導電シート１１０を高温環境の下において反復して使用したときには、接続用導電部における導電性粒子の連鎖に乱れが生ずる結果、所望の導電性を維持し難くなる。
前記第１導電性粒子１１１ａとしては、磁性を示すコア粒子の表面に、高導電性金属が被覆されてなるものを利用することが望ましい。ここで、「高導電性金属」とは、０℃における導電率が５×１０６Ω／ｍ以上であることをいう。導電性粒子Ｐを得るための磁性コア粒子は、その数平均粒子径が３ないし４０μｍであることが望ましい。ここで、磁性コア粒子の数平均粒子径は、レーザ回折散乱法によって測定されたものをいう。磁性コア粒子を構成する材料としては、鉄；ニッケル；コバルト；それら金属を、銅、樹脂にコーティングしたものなどを利用することができるが、その飽和磁化が、０．１Ｗｂ／ｍ２以上であるものを望ましく利用することができ、さらに望ましくは、０．３Ｗｂ／ｍ２以上、特に望ましくは、０．５Ｗｂ／ｍ２以上のものであり、具体的には、鉄、ニッケル、コバルト、またはそれらの合金を挙げることができる。
磁性コア粒子の表面に被覆される高導電性金属としては、金、銀、ロジウム、白金、クロムなどを利用することができ、それらのうちでは、化学的に安定しており、かつ高い導電率を有するという点で、金を利用することが望ましい。
前記絶縁性支持部１１２は、前記導電部を支持しながら、導電部間に絶縁性を維持させる機能を遂行する。かような絶縁性支持部１１２は、前記第１導電部１１１内の弾性物質と同一の素材が使用されるが、それに限定されるものではなく、弾性力にまさり、絶縁性にすぐれる素材であるならば、いかなるものでも使用可能であるということは、言うまでもない。
前記支持シート１２０は、前記弾性導電シート１１０の上面側に付着する。かような支持シート１２０には、前記被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置ごとに、貫通孔１２１が形成される。前記支持シート１２０は、後述する第２導電部１３０を支持する機能を遂行することであり、望ましくは、前記支持シート１２０より強度が強い素材が使用される。例えば、ポリイミドのような合成樹脂素材が使用される。ただし、それに限定されるものではなく、シリコン、ウレタン、またはその他弾性素材が使用されるということは、言うまでもない。
前記支持シート１２０の貫通孔１２１は、レーザによっても形成され、その他機械的加工によって形成されもするということは、言うまでもない。
前記第２導電部１３０は、前記支持シート１２０の貫通孔１２１内に配置されるが、弾性物質内に、多数の第２導電性粒子１３１が厚み方向に配列されている。かような第２導電部１３０を構成する弾性物質は、前記第１導電部１１１の弾性物質と同一であるか、あるいは類似した素材が使用される。また、必要によっては、第１導電部１１１の弾性物質より、高強度の素材が使用されるということは、言うまでもない。前記第２導電部１３０内に配置される弾性物質の量は、前記第１導電部１１１内に配置される弾性物質の量と比べ、単位面積当たりさらに少量が充填されていることが望ましい。
前記第２導電性粒子１３１は、前記第１導電性粒子１１１ａと同一の素材または類似した素材が使用される。ただし、前記第２導電性粒子１３１は、前記第１導電性粒子１１１ａより、前記弾性物質内に高密度に配置される。例えば、単位面積当たり、第２導電性粒子１３１が占める部分が、前記第１導電性粒子１１１ａが占めている部分より大きいことが望ましい。従って、前記第２導電性粒子１３１は、詰まって密集して配置される。かような第２導電性粒子１３１は、その平均粒径が、前記第１導電性粒子１１１ａの平均粒径より小さいことが望ましい。例えば、第１導電性粒子１１１ａより小さい粒径を有する第２導電性粒子１３１が、弾性物質内に詰まって配置されていることが好ましい。そのとき、前記第２導電性粒子１３１の平均粒径は、前記第１導電性粒子１１１ａの平均粒径より２〜１０倍ほど小さい。
一方、前記第２導電部１３０は、支持シート１２０の第１貫通孔１２１及び前記第１導電部１１１に一体的にも付着される。このように、支持シート１２０及び第１導電部１１１に一体的に付着していることにより、被検査デバイス９００の端子９１０と頻繁に接触する場合にも、容易に離脱されたり破損したりすることが少なくなる。
一方、図面番号１４０，３２０は、それぞれ金属フレーム及びガイドピンを指す。前記金属フレーム１４０は、前記弾性ゴムシート１１０の周辺部を形成するものであり、前記ガイドピン３２０は、前記検査装置８００から上向き突出し、テスト用ソケットの位置を整列させる。
かような本発明の一実施形態によるテスト用ソケット１００は、次のように製作される。
まず、テスト用ソケット１００の製造方法の一例が、図６ないし図８に図示されている。テスト用ソケット１００を製作するために、まず、シート状の支持シート１２０に、被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置ごとに、多数の貫通孔１２１を形成する。かような貫通孔１２１は、レーザまたは機械的な加工によっても形成される。
その後、前記シート状の支持シート１２０を、図６に図示されているように、金型４００内に挿入する。このとき、金型４００は、上金型、及び前記上金型と対をなす下金型が対向するように配置されて構成され、前記上金型と下金型との間の内部空間には、空洞Ｃが形成されている。
前記上金型には、基板４１０の下面に、被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置ごとに、強磁性体層４１１が形成され、前記強磁性体層４１１以外の部分には、非磁性体層４１２が形成されている。また、前記下金型には、基板４１７の上面に、前記被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置ごとに、強磁性体層４１６が形成され、前記強磁性体層４１６以外の部分には、非磁性体層４１５が形成されている。一方、前記非磁性体層のエッジ側には、１対のスペーサ４１３，４１４が配置され、前記スペーサ４１３，４１４間には、金属フレーム１４０が配置されている。
かような金型４００内に、前記支持シート１２０を配置する。具体的には、金型４００の空洞Ｃ内に、前記支持シート１２０を載置するが、前記支持シート１２０の貫通孔１２１が、前記強磁性体層４１６と対応するように位置させる。
その後、前記貫通孔１２１内に、多数の第２導電性粒子１３１が分布している液状弾性物質１３０’を充填する（図６参照）。
その後、前記空洞内に、第１導電性粒子１１１ａが分布している液状弾性物質１１１’を充填する（図７参照）。
その後、図示されていない電磁石を介して磁場を加え、それによって、磁場が上下互いに対向する強磁性体層４１１，４１６の間に形成されながら、その磁場が形成される間、第１導電性粒子１１１ａが一列配置される（図８）。
その後、前記第１液状弾性物質１３０’と、第２液状弾性物質１１１’とを加熱することによって硬化させることにより、製作を完了する。
このとき、前記一列に配置される第１導電性粒子１１１ａより、前記貫通孔１２１内に配置される第２導電性粒子１３１の方が、弾性物質内に高密度に配置されるように、第２導電性粒子１３１を多数配置することが望ましい。すなわち、単位面積当たり分布される導電性粒子の数をあらかじめ計算しておき、前記第１導電性粒子１１１ａより、前記第２導電性粒子１３１の方が詰まって配置されるように、第１導電性粒子１１１ａ及び第２導電性粒子１３１の数を決定しておく。
そのとき、前記第２導電性粒子１３１の平均粒径は、前記第１導電性粒子１１１ａの平均粒径より小さいことが望ましいが、それに限定されるものではなく、同等なサイズを有することも可能である。
一方、本発明のテスト用ソケット１００に係わる製造方法の他の例を、図９及び図１０に図示する。まず、図９に図示されているように、シート状の支持シート１２０に、前記被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置ごとに、多数の貫通孔１２１を形成し、その後には、前記貫通孔１２１内に、多数の第２導電性粒子１３１が分布された液状弾性物質を充填し、前記液状弾性物質を硬化させる。
また、金型内に、多数の第１導電性粒子１１１ａが分布された液状弾性物質を充填した後、被検査デバイス９００の端子９１０と対応する位置ごとに磁場を加え、前記第１導電性粒子１１１ａを一列に配置し、前記液状弾性物質を硬化させ、弾性導電シート１１０を製作する。前記弾性導電シート１１０を製作する方法については、図６ないし図８に図示された製造方法と類似しているので、詳細な説明は省略する。製作が完了した支持シート１２０を、前記弾性導電シート１１０と近接するように位置させる（図９参照）。
その後には、前記弾性導電シート１１０の上面及び下面のうち少なくともいずれか一方に、前記支持シート１２０を付着させる。このとき、前記支持シート１２０は、接触物質により、前記弾性導電シート１１０に付着することになる（図１０参照）。
かような本発明のテスト用ソケットは、次のような長所を有する。
まず、本発明の一実施形態によるテスト用ソケットは、被検査デバイスと接触する第２導電部内に、多数の導電性粒子が高密度に充填されているので、電気的な接続力にすぐれるという長所がある。特に、第２導電部は、周辺が支持シートによって支持されているので、反復的な被検査デバイスの接触にもかかわらず、本来の形態をそのまま維持しやすいという長所がある。
特に、第２導電粒子を第１導電粒子より小さく形成する場合には、高密度に弾性物質内に配置することができて望ましい。また、第２導電粒子の平均粒径が小さい場合には、被検査デバイスの端子と点接触する部位が増大することになる。例えば、第２導電性粒子のサイズが小さく、詰まって配置される場合には、被検査デバイスの端子と接触する第２導電性粒子の量が多くなり、それにより、被検査デバイスの端子と接触する部位が増大する。それにより、電気的な接続力が全体的に増大するという長所がある。
かような本発明の一実施形態によるテスト用ソケットは、次のように変形される。
まず、図１１に図示されているように、支持シート２２０に、互いに隣接した第２導電部２３０が互いに独立して作動するように、分離部が形成される。かような分離部２２２は、レーザまたはカッティング器具によって、前記支持シート２２０の一部を切開した切断溝または切断ホールでもある。このように、支持シート２２０が、分離部２２２によって分離されている場合には、互いに隣接した第２導電部２３０が、互いに独立して上下動することができる。すなわち、いずれか１つの第２導電部２３０が、隣接した第２導電部２３０によって、それと同じ高さまたは同等な高さに下がることがなくなり、独立して位置移動することができることになる。
また、図１２に図示されているように、支持シート３２０，３４０は、弾性導電シート３１０の上面側及び下面側に配置される。言うまでもないが、第２導電部３３０，３５０も、前記弾性導電シート３１０の第１導電部３１１の上面及び下面に付着される。また、それに限定されるものではなく、支持シートが下面側にのみ配置されることも可能であるということは、言うまでもない。
以上、多様な実施形態を挙げ、本発明のテスト用ソケットについて説明したが、それらに限定されるものではなく、本発明の権利範囲から合理的に解釈されるものであるならば、いなかるものでも本発明の権利範囲に属するということは、言うまでもない。

Claims (10)

  1. 被検査デバイスと検査装置との間に配置され、前記被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に連結するテスト用ソケットであって、
    被検査デバイスの端子と対応する位置に配置されるが、弾性物質内に、多数の第１導電性粒子が厚み方向に配列される第１導電部と、前記第１導電部を支持しながら、隣接した第１導電部から絶縁させる絶縁性支持部と、を含む弾性導電シートと、
    前記弾性導電シートの上面側及び下面側のうち少なくともいずれか一方に付着されるが、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、貫通孔が形成される支持シートと、
    前記支持シートの上面から突出することなく前記支持シートの貫通孔の内部に配置されるが、弾性物質内に、多数の第２導電性粒子が厚み方向に配置される第２導電部と、を含んで構成されるが、
    前記第２導電性粒子は、前記第１導電性粒子より、前記弾性物質内に高密度に配置されており、
    前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より小さいことを特徴とする高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  2. 前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より２〜１０倍ほど小さいことを特徴とする請求項１に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  3. 前記第２導電部は、前記貫通孔内に一体的に付着していることを特徴とする請求項１に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  4. 前記第２導電部は、前記第１導電部に一体的に付着していること特徴とする請求項１に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  5. 前記支持シートは、前記絶縁性支持部より高強度であることを特徴とする請求項１に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  6. 前記支持シートには、互いに隣接した第２導電部を互いに独立して作動させる分離部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  7. 前記分離部は、支持シートを切断して形成される切断溝または切断ホールであることを特徴とする請求項６に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケット。
  8. 被検査デバイスと検査装置との間に配置され、前記被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に連結するテスト用ソケットの製造方法であって、
    シート状の支持シートに、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、多数の貫通孔を形成する段階と、
    内部に空洞が形成された金型を準備し、前記空洞内に、前記シート状の支持シートを配置する段階と、
    前記貫通孔内に、多数の第２導電性粒子が分布している液状弾性物質を充填する段階であって、前記液状弾性物質を、前記支持シートの表面から突出しないように前記貫通孔の内部に配置する段階と、
    前記空洞内に、第１導電性粒子が分布している液状弾性物質を充填する段階と、
    磁場を加え、前記第１導電性粒子を、被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、一列に配置させる段階と、を含むが、
    一列に配置される第１導電性粒子より、前記貫通孔内に分布された第２導電性粒子が高密度に密集されるように、前記液状弾性物質内に分布される第２導電性粒子の数を決定し、
    前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より小さいことを特徴とする高密度導電部を有するテスト用ソケットの製造方法。
  9. 被検査デバイスと検査装置との間に配置され、前記被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に連結するテスト用ソケットの製造方法であって、
    シート状の支持シートに、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、多数の貫通孔を形成する段階と、
    前記貫通孔内に、多数の第２導電性粒子が分布された液状弾性物質を充填し、前記液状弾性物質を硬化させる段階であって、前記液状弾性物質を、前記支持シートの表面から突出しないように前記貫通孔の内部に配置する段階と、
    金型内に、多数の第１導電性粒子が分布された液状弾性物質を充填した後、被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに磁場を加え、前記第１導電性粒子を一列に配置し、前記液状弾性物質を硬化させて弾性導電シートを製作する段階と、
    前記弾性導電シートの上面及び下面のうち少なくともいずれか一方に、前記支持シートを付着させる段階と、を含み、
    前記第２導電性粒子の平均粒径は、前記第１導電性粒子の平均粒径より小さいことを特徴とする高密度導電部を有するテスト用ソケットの製造方法。
  10. 前記弾性導電シートと、前記支持シートは、接着物質によって互いに接着されることを特徴とする請求項９に記載の高密度導電部を有するテスト用ソケットの製造方法。
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