JP5939777B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)転写媒体が対称形の場合は、転写媒体の形状に合わせて、連続的に転写する転写体(ローラやスキージ等)に作用する圧力を可変することで、転写媒体の転写領域内での転写圧力を均一に保つ方法。
(2)転写媒体の形状が、転写する幅の中心線を挟んだ両側で非対称(左右非対称)である場合には、中心線を挟んだ両側をそれぞれ連続的に転写する転写媒体を別々に設けることで、転写媒体の形状に合わせて圧力を可変し、転写圧力を均一に保つ方法。
(3)転写媒体の形状が、左右非対称である場合には、ディスペンス等で転写媒体の形状に合わせて液体を描画する方法。
図1に、第1の実施形態における第1の基板の平面図を示す。本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、図1に示すように、凹部または貫通溝11を含むインク流路を有する矩形状の第1の基板2の上に、ローラ状の転写体を用いて、転写方向に平行な所定幅で連続的に転写液を転写する工程を有している。本実施形態では、第1の基板2の上に転写液を塗布した後に、インクにエネルギを付与するエネルギ発生素子を有する第2の基板を、第1の基板2に転写液を介して貼り合せる。
以下、第2の実施形態について説明する。図3に、第2の実施形態における転写体の模式図を示す。図3(a)に第1の基板の側面図を示し、図3(b)に第1の基板のD−D線に沿った断面図を示し、図3(c)に転写体によって転写液を転写する状態の断面図を示す。
図4に示すように、転写体3上に塗布される転写液5の塗布厚を調整するためにスキージ8を用いてもよい。
以下、第3の実施形態について説明する。図5に、本実施形態における転写方法を説明するための模式図を示す。
図6に、インクジェット記録ヘッドの分解斜視図を示す。図6に示すように、インクジェット記録ヘッドは、第1の基板としての基準プレートH1500、エネルギ発生素子を有する第2の基板としての素子基板H1100、フレキシブル配線部材H1300、転写液としての接着剤H1600を備えて構成されている。
図7に、エネルギ発生素子を有する素子基板H1100の構成を説明するための斜視図を、一部破断して示す。図7に示すように、素子基板H1100は、例えば、厚さ0.5mm〜1mm程度のSi基板H1110を用いて形成されている。素子基板H1100は、Si基板H1110に、インク流路としての長溝状の貫通口であるインク供給口H1102が、Siの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラスト等の方法で形成されている。
フレキシブル配線部材H1300は、電気熱変換素子H1103を有する素子基板H1100に対して、インクを吐出用の電気信号を印加する電気信号経路が形成されており、ポリイミドのベース基材上に、銅箔の配線パターンが形成されてなる。
基準プレートH1500は、例えば、セラミックによって形成されている。基準プレートH1500には、インク流路の下流部に、電気熱変換素子H1103を有する基板H1100にインクを供給するための溝部であるインク供給口H1102が形成されている。
2 第1の基板
3 転写体
5 転写液
Claims (10)
- インクジェット記録ヘッドの製造方法において、
インクを流すための凹部または貫通溝からなる流路を表面に備える第1の基板と、インクを吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子を備える第2の基板と、を用意する工程と、
前記第1の基板の前記表面上に、ローラ状の転写体によって転写液を所定の方向に沿って転写する工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板とを前記転写液を介して貼り合わせる工程と、を備え、
前記転写液を転写する工程において、前記所定の方向と直交する方向に関して、前記転写体と前記第1の基板とが前記転写液を介して接する長さは等しいことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記転写体と前記第1の基板とが前記転写液を介して接する領域は、前記所定の方向に平行な中心線に対して対称である、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第1の基板は、表面積を減らすための表面積調整用凹部を有する、請求項2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記表面積調整用凹部の深さは、前記転写体の周面に塗布されている前記転写液の厚みよりも大きい、請求項3に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第1の基板の前記表面の前記所定の方向に平行な中心線の両側における表面積は互いに等しい、請求項3または4に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- インクジェット記録ヘッドの製造方法において、
インクを流すための凹部または貫通溝からなる流路と、インクを流すためには使用されない凹部または貫通溝からなる調整部と、を表面に備える第1の基板と、インクを吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子を備える第2の基板と、を用意する工程と、
前記第1の基板の前記表面上に、ローラ状の転写体によって転写液を所定の方向に沿って転写する工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板とを前記転写液を介して貼り合わせる工程と、を備え、
前記第1の基板の前記表面において、前記所定の方向と直交する方向に関して、前記流路と前記調整部とが並べて配されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記第1の基板の前記表面において、前記所定の方向に関して、前記流路と前記調整部とが並べて配されている、請求項6に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第1の基板の前記表面において、前記所定の方向に関して、前記流路と前記調整部とが交互に配されている、請求項6または7に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記調整部の深さは前記流路の深さよりも浅い、請求項6ないし8のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第1の基板の前記表面には、前記流路と前記調整部とを備えている第1の領域と、前記流路を備えており前記調整部を備えていない第2の領域とが、前記所定の方向に関して並んでおり、
前記第1の領域が前記第2の領域よりも、前記所定の方向の長さが同一である範囲内において前記表面上で前記流路が占める面積が小さくなるようにする、請求項6ないし9のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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