JP5930812B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
液滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板と、前記液滴を吐出する複数の吐出口を構成し、前記基板の前記第一の面の上に設けられる流路形成部材と、を備え、
前記吐出エネルギー発生素子は前記基板の前記第一の面側に列状に少なくとも1列配置され、
前記吐出口は、前記吐出エネルギー発生素子に対応した部分に形成され、かつ内側開口から外側開口に向かって断面積が小さくなる形状を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の上にネガ型レジストを配置してネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(2)前記ネガ型感光性樹脂層の表面に、前記吐出口の列方向に垂直な面による断面の両側に傾斜を有する溝状の窪みを形成する工程と、
(3)露光処理を行い、未露光部からなる前記吐出口の潜像を前記窪みに形成する工程と、
(4)現像処理を行って前記未露光部を除去することにより、前記吐出口を形成する工程と、
をこの順に有し、
前記潜像は、前記溝状の窪みの内部に、前記窪みの延在する方向に沿って複数形成され、
前記潜像の表面部は、該潜像の表面部の端部が前記両側の傾斜に位置されるように前記窪み内に配置され、
前記潜像の前記列方向に沿った中心線を含みかつ基板面に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度よりも、前記潜像の中心を通りかつ前記列方向に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度の方が大きいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
以下に、本発明の第1の実施例について説明する。本実施例では、図1及び8に示す構成を有する液体吐出ヘッドを製造した。
以下に、本発明の第2の実施例について説明する。本実施例においては、隣接するヒータ2間が600dpiの基板を用いた。また、インク流路3の高さを19μm、吐出口20の高さを55μm、インク流路幅を36μm、吐出口の外側開口5の直径を30μmとした。
比較のために、点線A−A′による吐出口の断面における角度17と点線B−B′による吐出口の断面における角度17が同じ吐出口を形成したインクジェット記録ヘッドを作製した。
2 ヒータ(吐出エネルギー発生素子)
3 インク流路(液体流路)
4 流路形成部材
5 吐出口の外側開口(表面側開口)
6 インク供給口(液体供給口)
7 流路型材
8 ネガ型感光性樹脂
9 窪み
10 溝パターン
11 壁部材
12 吐出口プレート
13 吐出口の内側開口(裏面側開口)
15 マスク
16 遮光部
17 角度
18 照射端部
19 入射光
20 吐出口
21 凹み
22 突起
Claims (12)
- 液滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板と、前記液滴を吐出する複数の吐出口を構成し、前記基板の前記第一の面の上に設けられる流路形成部材と、を備え、
前記吐出エネルギー発生素子は前記基板の前記第一の面側に列状に少なくとも1列配置され、
前記吐出口は、前記吐出エネルギー発生素子に対応した部分に形成され、かつ内側開口から外側開口に向かって断面積が小さくなる形状を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の上にネガ型レジストを配置してネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(2)前記ネガ型感光性樹脂層の表面に、前記吐出口の列方向に垂直な面による断面の両側に傾斜を有する溝状の窪みを形成する工程と、
(3)露光処理を行い、未露光部からなる前記吐出口の潜像を前記窪みに形成する工程と、
(4)現像処理を行って前記未露光部を除去することにより、前記吐出口を形成する工程と、
をこの順に有し、
前記潜像は、前記溝状の窪みの内部に、前記窪みの延在する方向に沿って複数形成され、
前記潜像の表面部は、該潜像の表面部の端部が前記両側の傾斜に位置されるように前記窪み内に配置され、
前記潜像の前記列方向に沿った中心線を含みかつ基板面に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度よりも、前記潜像の中心を通りかつ前記列方向に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度の方が大きいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 液滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板と、前記液滴を吐出する複数の吐出口を構成し、前記基板の前記第一の面の上に設けられる流路形成部材と、を備え、
前記吐出エネルギー発生素子は前記基板の前記第一の面側に列状に少なくとも1列配置され、
前記吐出口は、前記吐出エネルギー発生素子に対応した部分に形成され、かつ内側開口から外側開口に向かって断面積が小さくなる形状を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の上にネガ型レジストを配置してネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(2)前記ネガ型感光性樹脂層の表面に、前記吐出口の列方向に垂直な面による断面の両側に傾斜を有する窪みを形成する工程と、
(3)露光処理を行い、未露光部からなる前記吐出口の潜像を前記窪みに形成する工程と、
(4)現像処理を行って前記未露光部を除去することにより、前記吐出口を形成する工程と、
をこの順に有し、
前記潜像の表面部は、該潜像の表面部の端部が前記両側の傾斜に位置されるように前記窪み内に配置され、
前記潜像の前記列方向に沿った中心線を含みかつ基板面に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度よりも、前記潜像の中心を通りかつ前記列方向に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度の方が大きく、前記吐出口の中心を通り前記列方向と垂直な面による前記窪みの断面において、前記窪みの端部と前記吐出口の端部との距離が4μm以上であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(2)において、前記ネガ型感光性樹脂層を露光して未露光部からなる溝パターンを形成した後に熱処理することにより、前記溝パターンの表面部に前記窪みを形成する請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記熱処理の温度が前記ネガ型レジストの軟化点以上の温度である請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板と、前記液滴を吐出する複数の吐出口を構成し、前記基板の前記第一の面の上に設けられる流路形成部材と、を備え、
前記吐出エネルギー発生素子は前記基板の前記第一の面側に列状に少なくとも1列配置され、
前記吐出口は、前記吐出エネルギー発生素子に対応した部分に形成され、かつ内側開口から外側開口に向かって断面積が小さくなる形状を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の上にネガ型レジストを配置してネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(2)前記ネガ型感光性樹脂層の表面に、前記吐出口の列方向に垂直な面による断面の両側に傾斜を有する窪みをインプリント法を用いて形成する工程と、
(3)露光処理を行い、未露光部からなる前記吐出口の潜像を前記窪みに形成する工程と、
(4)現像処理を行って前記未露光部を除去することにより、前記吐出口を形成する工程と、
をこの順に有し、
前記潜像の表面部は、該潜像の表面部の端部が前記両側の傾斜に位置されるように前記窪み内に配置され、
前記潜像の前記列方向に沿った中心線を含みかつ基板面に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度よりも、前記潜像の中心を通りかつ前記列方向に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度の方が大きいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(2)において、
前記窪みは、前記吐出口毎に対応させてそれぞれ設けられる請求項2又は5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記工程(2)において、前記窪みは、前記ネガ型感光性樹脂層の表面における前記複数の吐出エネルギー発生素子からなる列に対応する位置に、前記吐出エネルギー発生素子の列方向に沿って形成される請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記列方向と垂直な面による前記窪みの断面形状が懸垂線形状である請求項7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(3)において、前記懸垂線形状の最深部に前記潜像の表面部の中心を位置させて前記露光処理を行う請求項8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記懸垂線形状の最深部の深さが、前記吐出口からなる列の形成領域において一定である請求項8又は9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記列方向に沿った基板面に垂直な面による前記潜像の全ての断面における側面部と表面部の法線との間の角度よりも、前記潜像の中心を通りかつ前記列方向に垂直な面による前記潜像の断面における側面部と表面部の法線との間の角度の方が大きい請求項1乃至10のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 基板面に平行な面による前記潜像の断面において、表面部の形状が円形状であり、裏面部の形状が楕円形状である請求項1乃至11のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012087360A JP5930812B2 (ja) | 2012-04-06 | 2012-04-06 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
US13/796,000 US8703398B2 (en) | 2012-04-06 | 2013-03-12 | Method of manufacturing liquid ejection head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012087360A JP5930812B2 (ja) | 2012-04-06 | 2012-04-06 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013215954A JP2013215954A (ja) | 2013-10-24 |
JP5930812B2 true JP5930812B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=49292563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012087360A Expired - Fee Related JP5930812B2 (ja) | 2012-04-06 | 2012-04-06 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8703398B2 (ja) |
JP (1) | JP5930812B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5959941B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2016-08-02 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP6000713B2 (ja) * | 2012-07-25 | 2016-10-05 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
JP6422318B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2018-11-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2018199235A (ja) * | 2017-05-26 | 2018-12-20 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5225935A (en) * | 1989-10-30 | 1993-07-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical device having a microlens and a process for making microlenses |
JP2003080700A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | インクヘッド |
JP2004175038A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Sharp Corp | インク吐出装置及びその製造方法 |
US7585616B2 (en) * | 2005-01-31 | 2009-09-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for making fluid emitter orifice |
JP5506600B2 (ja) * | 2010-08-25 | 2014-05-28 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2012
- 2012-04-06 JP JP2012087360A patent/JP5930812B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-03-12 US US13/796,000 patent/US8703398B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130266901A1 (en) | 2013-10-10 |
US8703398B2 (en) | 2014-04-22 |
JP2013215954A (ja) | 2013-10-24 |
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Legal Events
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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