JP5930156B2 - 薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法 - Google Patents
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Description
この薄板状ワーク搬送装置は、表面を上に向けたガラス基板の裏面(下面)に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニットと、ガラス基板の裏面における指定部位に接触して搬送方向の移動力を付与する搬送ローラを備えている。
この薄板状ワーク搬送装置の場合、ガラス基板がより薄くなると、ガラス基板の裏面における空気の圧力分布の違いによって平板形状が保たれなくなり、ガラス基板に対する搬送ローラの接触状態が不安定になって、搬送に支障を来たす可能性がある。
この搬送用支持装置は、加圧流体を噴出させてガラス基板を非接触状態で支持する噴出部を相互に独立して多数有していると共に、ガラス基板に対して加圧流体を噴出させてガラス基板が波打たないように非接触状態で強制的に変形させる形状変形用噴出部を設けた構成を成しており、この搬送用支持装置において、ガラス基板が非接触状態で搬送されている間は、強制的に変形させた形状を維持するようにしている。
図1及び図2は本発明に係る薄板状ワーク搬送装置の一実施形態を示しており、この実施形態では、薄板状ワークが液晶表示パネルの製造に用いられる厚み0.3mm以下の極薄のガラス基板である場合を例に挙げて説明する。
2 エア浮上ユニット
4 吸引機構
5 側縁部吸引機構
21 圧力容器
23 ファン
24 ワーク非接触支持板
24a 空気噴出孔
37 搬送ローラ
41 隙間
42 吸引排気部
43 吸気ダクト
51 吸引溝
52 吸気パイプ
A 空気
W ガラス基板(薄板状ワーク)
Claims (3)
- 薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニットと、
前記薄板状ワークの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラを備えた薄板状ワーク搬送装置において、
前記エア浮上ユニットは、前記薄板状ワークの下面に向けて空気を噴出させる多数の空気噴出孔を有していると共に、ワーク搬送方向と直交する断面形状が下方に凸の湾曲形状を成すワーク非接触支持板を具備し、
前記搬送ローラは、前記エア浮上ユニットの前記ワーク非接触支持板から上方に突出する周縁部を前記薄板状ワークの下面に接触させてワーク搬送方向の移動力を付与するべくワーク搬送方向と直交する方向の中央に配置され、
前記薄板状ワークのワーク搬送方向に沿う両側縁部を前記エア浮上ユニットの前記ワーク非接触支持板側に引き寄せる側縁部吸引機構が備えられている
ことを特徴とする薄板状ワーク搬送装置。 - 前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位を該搬送ローラ側に引き寄せる吸引機構を備えた請求項1に記載の薄板状ワーク搬送装置。
- 薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持すると共に、ワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラを前記薄板状ワークの下面に接触させて、前記薄板状ワークを搬送するに際して、
前記薄板状ワークのワーク搬送方向と直交する断面形状を下方に凸の湾曲形状とするべく該薄板状ワークを変形させつつ、前記薄板状ワークのワーク搬送方向に沿う両側縁部をワーク非接触支持板側に引き寄せながら前記薄板状ワークのワーク搬送方向と直交する方向の中央下面に前記搬送ローラを接触させて搬送する
ことを特徴とする薄板状ワーク搬送方法。
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