JP4392692B2 - 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置 - Google Patents
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Description
また、被搬送物の周囲をクリーンな環境に保つことを課題の一つとして、被搬送物を浮上させるための流体をヘパフィルターを介して吹出させることにより、被搬送物の浮上と同時に被搬送物周囲へのクリーンエアの供給を可能としている。
更に、被搬送物端面への気流の吹き付けにより、被搬送物の所定方向へのガイドを可能とすることを課題としている。
ガラス基板,ウエハー等の被搬送物2を上面に載置し所定方向に搬送するためのファンフィルターユニット3の複数を、所定長になるまで連続しフレーム4上に支持している。ファンフィルターユニット3内にはファンフィルターユニット3外から空気を取り入れるファン5と該空気を瀘過し清浄空気としてフィルターユニット3外に噴出するヘパフィルター6が設けられている。
図7に示す如く、ファンフィルターユニット3の清浄空気噴出部位と、被搬送物2の下位に両部位の差圧を検知する差圧計21を設ける。
2 被搬送物
3 ファンフィルターユニット
4 フレーム
5 ファン
6 ヘパフィルター
6a V字状空間
6b 開口部
7 濾材
8 ローラーベアリング
9 傾斜スリット板
10 スリット
16 エンドストッパー
17 中間ストッパー
18 遮蔽板
19 カバー
20 清浄空気
21 差圧計
Claims (1)
- 半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、その搬送路下部に、シート状濾材を連続したV字状に屈折し、V字を構成する一辺を他辺より長くして、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部を通るV字空間の中心線を傾斜させることにより清浄気流の吹出方向を斜めとしたフィルターを設け、被搬送物端部に斜め気流が当たるようにし、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことを特徴とするエアー浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006325762A JP4392692B2 (ja) | 2006-12-01 | 2006-12-01 | 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008140987A JP2008140987A (ja) | 2008-06-19 |
JP4392692B2 true JP4392692B2 (ja) | 2010-01-06 |
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ID=39602151
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006325762A Active JP4392692B2 (ja) | 2006-12-01 | 2006-12-01 | 半導体ウエハー及び液晶ガラスエアー浮上搬送装置 |
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JP (1) | JP4392692B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5504008B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2014-05-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR101146605B1 (ko) * | 2010-03-26 | 2012-05-16 | 주식회사 태성기연 | 판유리 이송장치 |
JP5495065B2 (ja) * | 2010-12-06 | 2014-05-21 | 株式会社ダイフク | 板状体搬送装置 |
JP5615164B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2014-10-29 | テソン エンジニアリング カンパニー リミテッド | エア供給装置 |
CN102583054A (zh) * | 2011-01-06 | 2012-07-18 | 株式会社太星技研 | 空气供给装置 |
JP5877954B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2016-03-08 | 株式会社ゼビオス | 非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置 |
JP5929831B2 (ja) * | 2013-05-23 | 2016-06-08 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送システム |
CN114671217A (zh) * | 2020-12-24 | 2022-06-28 | 志圣工业股份有限公司 | 自体清洁的输送装置及包含输送装置的加热设备 |
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JP2008140987A (ja) | 2008-06-19 |
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