JP5925474B2 - ウエハ処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、ミニエンバイロメント方式のウエハ搬送技術に関し、特に、ロードポート（Load Port）を備えたウエハ処理装置に関する。

半導体集積回路の製造工程では、近年、クリーンルームの代わりに、ミニエンバイロメント（Mini Environment）方式と呼ばれる清浄環境保持方法が用いられている。ミニエンバイロメント方式では、クリーンが要求される空間のみを局所的に高い清浄度を保持する。このような局所的清浄空間をミニエンバイロメントと称する。

ウエハを１つのミニエンバイロメントから他のミニエンバイロメントに搬送するとき、ウエハを収納する密閉容器が用いられる。このような密閉容器として、フープ（FOUP: Front Opening Unified Pod）が知られている。フープは、SEMI（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠して製造され、典型的には、複数のウエハを収納するためのシェルと側面のウエハ出し入れ口に設けられた蓋を有する。

ウエハ処理装置には、フープを受け入れるためのロードポート（Load Port）が設けられている。ロードポートには、フープの蓋を開閉するオープナが設けられている。オープナによって、フープの蓋が開けられ、ウエハ処理装置に設けられたロボット又は搬送装置によって、ウエハが取り出され、ウエハ処理装置に搬送される。ウエハをフープから取り出してウエハ処理装置に搬送する工程は、塵の無い高い清浄度の雰囲気にて行われる。

特開２００７−５６０４号公報 特開２００９−３８０７３号公報 特開２００９−１１１４０４公報

フープの内部空間は、塵の無い高い清浄度に保持されるが、湿度や酸素が除去されているわけではない。半導体集積回路の製造工程では、塵の無い高い清浄度が必要であるが、更に、湿度や、酸素を嫌う工程がある。そこで問題となるのが、ウエハをフープから取り出してウエハ処理装置に搬送するとき、フープの内部空間に存在する湿度や、酸素がウエハと共に、ウエハ処理装置の内部に取り込まれることである。従って、ウエハをフープから取り出してウエハ処理装置に搬送する前に、フープの内部空間をパージガス等により置換することが好ましい。

特許文献１には、フープの底面に供給ポートと排気ポートを設け、フープをロードポートの壁の外側に設置した状態で、フープの内部を所定の気体によって置換するパージシステムが記載されている。このパージシステムでは、供給ポートと排気ポートの両者をフープの底面に配置する。そのため、供給ポートからの気流によってフープ内の下面に堆積したパーティクルが舞い上がりウエハへ付着する可能性がある。

特許文献２には、ロードポートの壁の内側に、フープの蓋を開閉するためのドアと、このドアを囲むエンクロージャを設けたシステムが記載されている。エンクロージャの上辺から下方に向かうパージガス流を生成する。エンクロージャには、ウエハ処理装置の内部に通じる開口が設けられている。従って、フープの内部空間に存在する湿度や酸素が、エンクロージャの開口を経由してウエハ処理装置の内部に流れ込む可能性がある。

特許文献３には、ロードポートのベースの内側に、２つのオープナとそれを囲むチャンバを設けた装置が記載されている。チャンバの内側のクロージャ収納室には、ポッドのドアを吸着する吸着具を備えたクロージャが可動に配置されている。クロージャ収納室には、ウエハ処理装置の内部に通じる開口が設けられているが、パージ中には、この開口はクロージャによって閉じられるため、クロージャ収納室内は密閉空間となる。従って、供給及び排気中に、フープの内部空間に存在する湿度や酸素が、クロージャ収納室を経由してウエハ処理装置の内部に流れ込むことはない。しかしながら、このチャンバには、２つのオープナに設けられたクロージャの駆動機構を収納する空間が必要であり、その寸法が比較的大きくなる。

本発明の目的は、ウエハ収納容器の内部空間をパージするとき、ウエハ収納容器内の下面に堆積したパーティクルを舞い上げることなく、ウエハ収納容器内の好ましくないガスが、ウエハ処理装置の内部に流れ込むことがなく、パージ空間の容積を最小化することができる機構を提供することにある。

本発明のウエハ処理装置のロードポートに設けられたオープナは、ウエハ収納容器の蓋を開閉するためのドアと、ドアを囲むように構成されたチャンバと、ドア及びチャンバを駆動する駆動系と、ウエハ収納容器の内部空間をパージするパージ機構と、を有する。

駆動系は３つのアクチュエータを有し、これらのアクチュエータは、チャンバの外側に設けられている。パージ機構の供給ポートは、ウエハ収納容器より高い位置に設けられ、排気ポートは、ウエハ収納容器より低い位置に設けられている。パージ中は、ウエハ収納容器の内部空間とチャンバの内部空間は接続されて１つの密閉されたパージ空間を形成する。

本発明によると、ウエハ収納容器の内部空間をパージするとき、ウエハ収納容器内の下面に堆積したパーティクルを舞い上げることなく、ウエハ収納容器内の好ましくないガスが、ウエハ処理装置の内部に流れ込むことがなく、パージ空間の容積を最小化することができる機構を提供することができる。

本発明によるウエハ処理装置における大気搬送の概略構成を示す図である。 本発明によるウエハ処理装置における大気搬送のウエハ搬出シーケンスを示すフロー図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第１の例の構造を説明する説明図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第１の例において、オープナが前進位置に配置され、フープが蓋開閉位置まで移動した状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第１の例において、オープナがドア後退位置に配置され、フープの蓋が開いた状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第１の例において、オープナがドア及びチャンバ後退位置に配置された状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第１の例において、オープナが退避位置に配置された状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートにおいてフープからウエハを搬出する工程を示すフロー図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートにおいてフープからウエハを搬出した後にフープの蓋を閉める工程を示すフロー図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートにおいてフープ及びチャンバを置換ガスによってパージする工程を示すフロー図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第２の例の構造を説明する説明図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第２の例において、オープナが前進位置に配置され、フープが蓋開閉位置まで移動した状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第２の例において、オープナがドア後退位置に配置され、フープの蓋が開いた状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第２の例において、オープナがドア及びチャンバ後退位置に配置された状態を示す側面図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートの第２の例において、オープナが退避位置に配置された状態を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の構造及び配置の第２の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の構造及び配置の第３の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の構造及び配置の第４の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の拡散フィルタの構造の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系のエアノズルの構造の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の拡散フィルタ及びエアノズルの配置の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の拡散フィルタの配置の他の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系のエアノズルの配置の例を示す図である。 本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の排気系の排気通路の形状の例を示す図である。

図１を参照してウエハ処理装置のロードポートの概略を説明する。ウエハ処理装置１は、本体２と、その天井に設けられたファンフィルタユニット３と、ウエハ搬送機構４を有する。ウエハ処理装置１は、ウエハ検査装置、半導体検査装置等であってよい。ウエハ処理装置１の前側に、ロードポート５が設けられている。

ロードポート５は、フープ１０とウエハ処理装置１の間のインターフェースであり、垂直なベース１０１と水平な基台１０２を有する。ベース１０１には孔１０１Ａが設けられている。ベース１０１の外面は、ボルツ（BOLTS）面と称される。基台１０２の上に、可動な置台１８が装着されている。置台１８の上に、フープ１０が配置されるように構成されている。置台１８は、フープ１０の位置決め用のピンやフープ１０を固定するための保持機構を備える。

フープ１０は、シェル１２と、シェルのウエハ出し入れ口に装着された蓋１４を有する。図示のように、フープ１０のウエハ出し入れ口は側面に設けられている。シェル１２には、複数のウエハ２０が互いに所定の隙間を設けて重ねられている。蓋１４の周囲にはパッキンが設けられ、フープ１０の内部空間と外気とが遮蔽される。蓋１４を閉じると、フープ１０の内部は密閉空間となる。

ロードポート５には、フープ１０の蓋１４を開閉するための開閉機構、即ち、オープナが設けられている。オープナは、ドア１０５とドアを駆動する駆動機構を有する。ドア１０５の前面には、フープの蓋１４を吸着して保持する真空チャックが設けられている。ドア１０５の寸法は、フープ１０の蓋１４の寸法と略同一であってよい。ベース１０１の孔１０１Ａの寸法は、ドア１０５及びフープ１０の蓋１４が通ることができるように設定されている。

図２を参照して図１に示したロードポートの動作を説明する。ステップＳ１にて、フープ１０をロードポート５に設置する。ステップＳ２にて、置台１８を移動させて、フープ１０を蓋開閉位置に配置する。ステップＳ３にて、オープナのドア１０５によってフープの蓋１４が開けられる。ステップＳ４にて、オープナのドア１０５を退避させる。ステップＳ５にて、ウエハ処理装置のウエハ搬送機構４によって、フープ１０よりウエハ２０を搬出する。

図３を参照して本発明のロードポートの第１の例を説明する。本例のロードポートは、垂直なベース１０１と水平な基台１０２を有する。基台１０２には可動な置台１８が装着されている。置台１８にはフープ１０が配置されている。ベース１０１には孔１０１Ａが設けられている。ベース１０１の取付面は、ボルツ（BOLTS）面と称される。ベース１０１の前面に、フープ用パッキン１１が装着されている。フープ用パッキン１１は、ベース１０１の孔１０１Ａを囲むように配置されている。ロードポート５には、フープ１０の蓋１４を開閉するためのオープナが設けられている。

本例のオープナは、フープ１０の蓋１４を開閉するためのドア１０５と、ドア１０５を支持する支持板１０６と、支持板１０６に接続された支持部材１０７と、ドア１０５及び支持板１０６を囲むチャンバ１１０と、ドア１０５及びチャンバ１１０を駆動する駆動機構を有する。

本例の駆動機構は、ドア１０５を前後方向に移動させるためのドア用アクチュエータ１４１と、チャンバ１１０を前後方向に移動させるためのチャンバ用アクチュエータ１４２と、ドア１０５及びチャンバ１１０を上下方向に移動させるための垂直アクチュエータ１４３を有する。これらの駆動機構の動作は後に説明する。

本例のオープナでは、ドア用アクチュエータ１４１、チャンバ用アクチュエータ１４２、及び、垂直アクチュエータ１４３は、チャンバ１１０の外側に設けられている。従って、チャンバ１１０の内部空間の寸法は、ドア１０５が前後方向に移動できるために必要な大きさでよい。従って、チャンバ１１０の寸法を小さくすることができる。チャンバ１１０の寸法が小さいと、パージに要する時間を短縮化することができる。

ドア１０５の前面には、フープの蓋１４を吸着して保持する真空チャックが設けられている。ドア１０５の寸法は、フープ１０の蓋１４の寸法と略同一であってよい。ベース１０１の孔１０１Ａの寸法は、ドア１０５及びフープ１０の蓋１４の寸法より大きい。従って、ドア１０５及びフープ１０の蓋１４は、ベース１０１の孔１０１Ａを通過することができる。支持板１０６の寸法は、ドア１０５の寸法より大きく、更に、ベース１０１の孔１０１Ａの寸法より大きい。従って、ドア１０５は、ベース１０１の孔１０１Ａを通過することができるが、支持板１０６は、ベース１０１の孔１０１Ａを通過することができない。図３は、オープナが前進位置に配置された状態を示す。オープナが前進位置に配置されているとき、ドア１０５はベース１０１の孔１０１Ａに係合している。支持板１０６によってベース１０１の孔１０１Ａは閉鎖されている。

ドア１０５には、蓋１４のロックを解除するラッチキー、蓋１４の位置決めを行なうピンなどの機構を備えるが、それらの詳細の説明は省略する。

本例のチャンバ１１０の構造を説明する。チャンバ１１０は、箱形の構造を有し、前面の矩形の開口と、その反対側の矩形の背面１１０Ａと、開口及び背面を囲む４つの側面を有する。

チャンバ１１０の下側面１１０Ｃには、支持部材１０７が通るための開口１１０Ｄが形成されている。下側面１１０Ｃと支持部材１０７の間に、且つ、支持部材１０７を囲むように、ジャバラ１１３が設けられている。支持部材１０７が、下側面１１０Ｃの開口１１０Ｄ内で前後に移動しても、支持部材１０７と下側面の開口１１０Ｄの間の隙間は常にジャバラ１１３によって閉鎖されている。即ち、チャンバ１１０の内部空間の気体が、支持板１０６の周囲より漏れることはない。

ベース１０１の背面に、チャンバ用パッキン１１１が装着されている。チャンバ用パッキン１１１は、ベース１０１の孔１０１Ａを囲むように配置されている。チャンバ１１０は、チャンバ用アクチュエータ１４２によって、前後方向に移動可能である。図示のように、チャンバ１１０が、ベース１０１の背面に接触するように移動されると、チャンバ１１０の前面の開口の周囲が、チャンバ用パッキン１１１に当接する。それによって、チャンバ用パッキン１１１は弾性変形し、チャンバ用パッキン１１１とチャンバ１１０の前面の間の接触面は帯状になる。チャンバ用パッキン１１１の弾性変形によって、チャンバ１１０とベース１０１の背面の間が完全にシールされ、そこから気体が漏れることはない。

本例のロードポートに設けられたパージ機構の構造を説明する。パージ機構は供給系と排気系を有する。供給系は、チャンバ１１０の内部空間に通ずる供給ポート１２０を有する。本例によると、供給ポート１２０は、フープ１０より上側の任意の位置に設けられる。供給ポート１２０は、フープ１０の天井面より上側の任意の位置に設けられる。図示の例では、供給ポート１２０は、チャンバ１１０の背面１１０Ａに設けられているが、チャンバ１１０の上側面１１０Ｂ又は横側面、又は、ベース１０１の背面に設けてもよい。供給ポート１２０には、供給管１２１が接続されている。供給管１２１には供給バルブ１２３が設けられている。供給管１２１及び供給バルブ１２３は、チャンバ１１０の移動を妨害しないように適当な配管構造を有する。

本例のロードポートによると、フープ１０の蓋１４を開く時と閉じる時の２回、フープ１０内をパージしてよい。開く時のパージに用いる置換ガスと閉じる時に用いる置換ガスは同一であってもよいが異なってよい。従って、供給管１２１には、複数の置換ガス源が切り替え可能に接続されている。供給系には、更に、拡散フィルタ、エアノズル、整流板等が設けられているが、詳細に後に説明する。

排気系は、チャンバ１１０の内部空間に通ずる排気ポート１３０を有する。本例によると、排気ポート１３０は、フープ１０より下側の任意の位置に設けられる。排気ポート１３０は、フープ１０の底面より下側の任意の位置に設けられる。図示の例では、排気ポート１３０は、ベース１０１の孔１０１Ａの下側に設けられている。排気ポート１３０には排気通路１３１が接続されている。本例では、排気通路１３１は、基台１０２の内部に形成されている。排気通路１３１の構造は後に詳細に説明する。排気通路１３１には排気管１３２が接続されている。排気管１３２には、排気バルブ１３３及び排気ファン１３５が設けられている。排気管１３２には、図示しない、低圧源、例えば、真空源を接続してよい。

排気通路１３１には、測定器１３６が設けられている。測定器１３６の測定対象は、パージの目的によって決まる。パージの目的が、フープ１０の内部空間の酸素をパージすることである場合には、測定器１３６として、酸素濃度計を用いるとよい。パージの目的が、フープ１０の内部空間の湿度をパージすることである場合には、測定器１３６として、湿度計を用いるとよい。

図４〜図７を参照して本発明のロードポートのオープナの第１の例の動作を説明する。図４は、オープナが前進位置に配置され、フープが蓋開閉位置まで移動した状態を示す。オープナが前進位置に配置されているとき、ドア１０５は、ベース１０１の孔１０１Ａ内に配置されている。チャンバ１１０は、ベース１０１の背面に押し付けられている。チャンバ１１０の前面の開口の周囲が、チャンバ用パッキン１１１に当接している。チャンバ用パッキン１１１は弾性変形し、チャンバ用パッキン１１１とチャンバ１１０の前面の間の接触面は帯状になっている。チャンバ用パッキン１１１の弾性変形によって、チャンバ１１０の開口の端面とベース１０１の背面の間が完全にシールされている。

フープ１０が蓋開閉位置まで移動すると、フープ１０の蓋１４がドア１０５の前面に当接し、フープ１０の前面のウエハ出し入れ口の周囲がベース１０１の前面に当接する。フープ１０のウエハ出し入れ口の周囲の面が、フープ用パッキン１１を押し付ける。フープ用パッキン１１は弾性変形し、フープ用パッキン１１とフープ１０の前面の間の接触面は帯状となっている。フープ用パッキン１１の弾性変形によって、フープ１０のウエハ出し入れ口の周囲の端面とベース１０１の前面の間が完全にシールされる。

ドア１０５にはフープの蓋１４を保持する真空チャック、蓋１４のロックを解除するラッチキー、蓋１４の位置決めを行なうピンなどの機構が備えられている。ドア１０５に設けられた開錠機構によって、蓋１４のロックを解除し、ドア１０５の外面の真空チャックにより蓋１４を吸着する。

図５は、オープナがドア後退位置に配置され、フープの蓋が開いた状態を示す。ドア用アクチュエータ１４１によって、ドア１０５を後退させる。ドア用アクチュエータ１４１は駆動部１４１Ａとロッド１４１Ｂを有し、駆動部１４１Ａはロッド１４１Ｂに沿って水平方向に可動である。駆動部１４１Ａには、支持部材１０７が装着されている。駆動部１４１Ａが、ロッド１４１Ｂに沿って水平方向に移動すると、支持部材１０７によって支持された支持板１０６及びドア１０５は、水平方向に移動する。それによって、フープの蓋１４が開けられ、フープ１０の内部空間は、チャンバ１１０の内部空間に接続される。ここでは、フープ１０の内部空間とチャンバ１１０の内部空間を接続して形成される１つの空間を、パージ空間と呼ぶこととする。

パージ空間は、上述のように、フープ用パッキン１１、チャンバ用パッキン１１１、及び、ジャバラ１１３によって周囲の雰囲気に対して完全にシールされている。即ち、密閉されたパージ空間が形成される。

ここで、パージ機構によって、パージ空間をパージする。先ず、排気バルブ１３３を開き、排気ファン１３５を回転させる。供給ポート１２０を経由して、チャンバ１１０内に、置換ガスを供給する。供給系による置換ガスの供給は、排気系による排気と同時に開始してもよいが、排気系による排気から所定の時間後に開始してもよい。

置換ガスは、チャンバ１１０を経由してフープ１０の内部空間に導入される。それによって、パージ空間は、置換ガスによって置換される。パージ空間に存在していたガスは、排気ポート１３０、排気通路１３１及び排気管１３２を経由して、外界に排気される。

パージ機構によって、パージ空間を効率的にパージするために、供給ポート１２０と排気ポート１３０の間に差圧を形成してもよい。例えば、供給管１２１から供給する置換ガスを陽圧にしてもよいし、排気通路１３１を負圧に接続してもよい。更に、排気通路１３１を真空源に接続してもよい。

置換ガスとして、乾燥した不活性ガス、例えば、乾燥した窒素又はアルゴンが用いられるが、乾燥空気が用いられることもある。置換ガスとして用いるガスは、パージの目的によって決まる。即ち、フープ１０の内部空間が接続されるミニエンバイロメントの空間の要求によって決まる。ここでは、フープ１０の内部空間が、図１に示したように、ウエハ処理装置１の内部空間に接続される場合を例として説明する。ウエハ処理装置１の内部空間に、酸素が導入されることを回避する必要がある場合には、置換ガスとして、酸素を含まないガス、例えば、不活性ガスを用いればよい。ウエハ処理装置１の内部空間に、湿気が導入されることを回避する必要がある場合には、置換ガスとして、乾燥空気、又は、乾燥した不活性ガスを用いればよい。置換ガスとして、ウエハ処理装置１の内部空間と同一のガス又はウエハ処理装置１の内部空間にとって好ましいガスを用いてもよい。

尚、本発明によると、フープからウエハを搬送した後に、フープの蓋を閉じる前に、もう一度、置換ガスによってフープの内部空間を置換する。このとき用いる置換ガスは、フープの次の搬送先のミニエンバイロメントの空間の要求によって決まる。例えば、置換ガスとして、フープの次の搬送先のミニエンバイロメントの空間と同一のガス、又は、該空間にとって好ましいガスを用いる。フープの蓋を開けるときのパージに用いる置換ガスと、フープの蓋を閉じるときのパージに用いる置換ガスは、同一である必要はない。

排気通路１３１に設けられた測定器１３６の出力によって、パージ空間のパージが完了したか否かを判定する。パージの目的が、フープ１０の内部空間の酸素をパージすることである場合には、測定器１３６として、酸素濃度計を用いる。排気通路１３１内の排気流の酸素濃度が、供給系から供給される置換ガスの酸素濃度と等しくなったとき、又は、所定の閾値より小さくなったら、パージを停止する。

パージの目的が、フープ１０の内部空間の湿気をパージすることである場合には、測定器１３６として、湿度計を用いる。排気通路１３１内の排気流の湿度が、供給系から供給される置換ガスの酸素濃度と等しくなったとき、又は、所定の閾値より小さくなったら、パージを停止する。

尚、測定器１３６の測定データを用いないで、パージ開始からの経過時間に基づいて、パージを停止してもよい。例えば、予めパージに要する時間を計測する。パージ開始から所定の時間が経過したら、パージが完了したものとみなして、パージを停止する。パージを停止するには、供給バルブ１２３及び排気バルブ１３３を閉じ、排気ファン１３５を停止する。

図６は、オープナがドア及びチャンバ後退位置に配置された状態を示す。チャンバ用アクチュエータ１４２によって、チャンバ１１０を水平方向に沿って後退させる。チャンバ用アクチュエータ１４２は駆動部１４２Ａとロッド１４２Ｂを有し、駆動部１４２Ａはロッド１４２Ｂに沿って水平方向に可動である。駆動部１４２Ａには、チャンバ１１０が装着されている。駆動部１４２Ａが、ロッド１４２Ｂに沿って水平方向に移動すると、チャンバ１１０は、水平方向に移動する。

それによってチャンバ１１０の前面の開口の周囲が、チャンバ用パッキン１１１より離れる。チャンバ用パッキン１１１は弾性変形によって元の形状に戻る。フープ１０の内部空間とチャンバ１１０の内部空間は、ウエハ処理装置１の内部空間に接続される。尚、ウエハ処理装置１の内部空間は、通常、ミニエンバイロメントである。従って、フープ１０とチャンバ１１０の内部空間は、ウエハ処理装置１のミニエンバイロメントに接続される。

オープナがドア及びチャンバ後退位置にあるとき、図示のように、蓋１４の内面は、チャンバ１１０の開口の端面より少なくとも内側に配置される。

上述のように、パージが終了すると、供給系より置換ガスの供給を停止し、排気バルブ１３３を閉じる。従って、ウエハ処理装置１の内部空間のミニエンバイロメントは、外部の雰囲気より遮断される。

図７は、オープナが退避位置に配置された状態を示す。本例では、ドア１０５及びチャンバ１１０を下降させることによって、オープナは退避位置に配置される。垂直アクチュエータ１４３によって、フープの蓋１４を保持したドア１０５とチャンバ１１０が下降する。垂直アクチュエータ１４３は駆動部１４３Ａとロッド１４３Ｂを有し、駆動部１４３Ａはロッド１４３Ｂに沿って垂直方向に可動である。駆動部１４３Ａには、ドア用アクチュエータ１４１のロッド１４１Ｂと、チャンバ用アクチュエータ１４２のロッド１４２Ｂが装着されている。駆動部１４３Ａが、ロッド１４３Ｂに沿って垂直方向に移動すると、駆動部１４３Ａと共に、ドア１０５及びチャンバ１１０は、垂直方向に移動する。

垂直アクチュエータ１４３は、ベース１０１の前面に装着されている。ベース１０１には孔１０１Ｂが設けられており、垂直アクチュエータ１４３に装着されたドア用アクチュエータ１４１及びチャンバ用アクチュエータ１４２は、この孔１０１Ｂ内を垂直方向に沿って移動することができる。垂直アクチュエータ１４３及びベース１０１の孔１０１Ｂを覆うカバー部材１０３が設けられている。

ドア１０５及びチャンバ１１０が下降すると、ベース１０１の孔１０１Ａの背後に空間ができる。この空間は、ウエハ搬送経路２１となる。ウエハ処理装置１のウエハ搬送機構４（図１を参照）によって、ウエハ２０は、フープのウエハ出し入れ口１６を経由して取り出され、ウエハ搬送経路２１を経由して、水平方向に沿って搬出される。

図８を参照して本発明のロードポートにおいてフープからウエハを搬出する工程を説明する。ステップＳ１０１にて、図３に示すように、フープ１０をロードポート５に設置する。フープ１０をロードポートの基台１０２に設けられた置台１８に設置する。オープナはドア前進位置に配置されている。ドア前進位置では、ドア１０５は、ベース１０１の孔１０１Ａに係合している。また、チャンバ１１０の前側の開口はベース１０１の背面に設けられたチャンバ用パッキン１１１に押し付けられている。

ステップＳ１０２にて、図４に示すように、置台１８を移動させて、フープ１０を蓋開閉位置に配置する。フープ１０を蓋開閉位置まで移動させると、フープ１０の蓋１４は、ベース１０１の孔１０１Ａに配置されたドア１０５の前面に当接する。ステップＳ１０３にて、ドア１０５によってフープの蓋１４を吸着する。ステップＳ１０４にて、図５に示すように、オープナをドア後退位置に配置する。オープナがドア後退位置に配置されると、ドア１０５によって吸着されたフープの蓋１４はドア１０５と共に移動する。こうして、フープの蓋１４が開けられ、フープ１０の内部空間とチャンバ１１０の内部空間は接続される。こうして密閉されたパージ空間が形成される。ステップＳ１０５にて、パージ空間を置換ガスで置換する。置換ガスによるパージの詳細は、図１０を参照して説明する。ステップＳ１０６にて、図６に示すように、オープナをドア及びチャンバ後退位置に配置する。オープナがドア及びチャンバ後退位置に配置されると、チャンバ１１０の前側の開口はベース１０１の背面より離れる。フープ１０の内部空間は、ウエハ処理装置の内部空間に接続される。ステップＳ１０７にて、図７に示すように、オープナを退避位置に配置する。オープナが退避位置に配置されると、フープ１０のウエハ出し入れ口の前方に、ウエハ搬送経路２１が形成される。ステップＳ１０８にて、フープ１０よりウエハ２０を搬送する。ウエハ処理装置のウエハ搬送機構４（図１）によって、ウエハを搬送する。

図９を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートにおいてフープからウエハを搬出した後にフープの蓋を閉める工程を説明する。ステップＳ２０１にて、オープナを、図７に示す退避位置から図６に示すドア及びチャンバ後退位置に戻す。ステップＳ２０２にて、オープナを、ドア及びチャンバ後退位置から図５に示すドア後退位置に戻す。こうしてフープの内部空間とチャンバの内部空間は接続され、密閉されたパージ空間が形成される。ステップＳ２０３にて、フープ１０とチャンバ１１０内を置換ガスで置換する。置換ガスによるパージの詳細は、図１０を参照して説明する。ステップＳ２０４にて、オープナをドア後退位置から図４に示すドア前進位置に戻す。ドア１０５に吸着されたフープ１０の蓋１４は、フープのウエハ出し入れ口に係合する。ステップＳ２０５にて、ドア１０５によるフープの蓋１４の吸着を解除する。ステップＳ２０６にて、フープを蓋開閉位置から図３に示す元の位置に戻す。

図１０を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートにおいてフープ及びチャンバを置換ガスによってパージする工程を説明する。パージ工程では、オープナは、図５に示すように、ドア後退位置に配置されている。フープの内部空間とチャンバの内部空間は接続され、密閉されたパージ空間が形成される。ステップＳ３０１にて、排気系より排気を開始し、同時に、又は、所定の時間が経過した後に、供給系より置換ガスを供給する。置換ガスとして、乾燥空気、不活性気体等が用いられる。置換ガスの種類は、搬送先のミニエンバイロメントの空間の要求によって決まる。図８のステップＳ１０５の置換工程では、ウエハの搬送先は、ウエハ処理装置１である。従って、置換ガスは、ウエハ処理装置１の内部空間と同一のガス又はウエハ処理装置１の内部の空間にとって好ましいガスである。図９のステップＳ２０３の置換工程では、ウエハの搬送先は、フープの次の搬送先である。従って、置換ガスは、フープの次の搬送先のミニエンバイロメントの空間と同一のガス、又は、フープの次の搬送先のミニエンバイロメントの空間にとって好ましいガスである。パージ空間を充填していたガスは、供給系から供給された置換ガスによって置換される。

排気系と供給系の間に圧力差が生じるように、供給系の圧力を高圧に設定し、排気系の圧力を低圧に設定してよい。供給系と排気系の間の圧力差が所定の値を超えないように、排気系と供給系のガスの圧力を調節する。

ステップＳ３０２にて、排気系における排気ガスの成分を観察する。排気ガスの成分を観察することによって、置換工程の進行を把握することができる。排気系に設けられた測定器１３６の出力より、排気ガスの成分を知ることができる。

ステップＳ３０３にて、置換が完了したか否かを判定する。排気系の排気ガスが、供給系より供給された置換ガスの成分に略等しくなったとき、置換が完了したと判定してよい。又は、排気系の排気ガスに含まれる酸素又は湿度が所定の閾値より小さくなったとき、置換が完了したと判定してよい。更に、置換の開始から所定の時間が経過したとき、置換が完了したと判定してよい。図８のステップＳ１０５の置換工程と図９のステップＳ２０３の置換工程では、置換ガスの種類が同一であってもよいが異なってもよい。しかしながら、操作手順は同一である。

図１１を参照して本発明のロードポートのオープナの第２の例を説明する。本例のオープナは、フープ１０の蓋１４を開閉するためのドア１０５と、ドア１０５を支持する支持板１０６と、ドア１０５及び支持板１０６を囲むチャンバ１１０と、ドア１０５及びチャンバ１１０を駆動する駆動機構を有する。チャンバ１１０は、箱形の構造を有し、前面の矩形の開口と、その反対側の矩形の背面と、開口及び背面を囲む４つの側面を有する。図１１は、オープナが前進位置に配置された状態を示す。オープナが前進位置に配置されているとき、ドア１０５はベース１０１の孔１０１Ａに係合している。

本例のロードポートのドア及びチャンバの駆動機構を説明する。本例の駆動機構は、ドア１０５を前後方向に移動させるためのドア用アクチュエータ１５３とチャンバ１１０を前後方向に移動させるためのチャンバ用アクチュエータ１６３とを有する。ドア用アクチュエータ１５３は、第１の支持台１５１によって支持され、チャンバ用アクチュエータ１６３は、第２の支持台１６１によって支持されている。第１の支持台１５１には、ドア１０５及び支持板１０６の水平方向の移動を確保するための複数のドア用ガイド装置１５５と、チャンバ１１０の水平方向の移動を確保するための複数のチャンバ用ガイド装置１６５が設けられている。

ドア用アクチュエータ１５３の駆動軸の中心軸線とチャンバ用アクチュエータ１６３の駆動軸の中心軸線は同一線上にある。これを駆動軸の中心軸線と称する。ドア用ガイド装置１５５とチャンバ用ガイド装置１６５は、この駆動軸の中心軸線に対して回転対称の位置に配置されている。この駆動軸の中心軸線は、ドア１０５及び支持板１０６の中心軸線を通る。本例では、駆動機構の構造が回転対称であるから、組み立て誤差等を軽減できる利点がある。

第２の支持台１６１は、第１の支持台１５１の背後に配置されている。第２の支持台１６１の上下両端には、脚部１６２Ａ、１６２Ｂが其々接続されている。第２の支持台１６１の脚部１６２Ａ、１６２Ｂは、第１の支持台１５１の上に装着されている。

第１の支持台１５１は、チャンバ１１０の背後に配置されている。第１の支持台１５１の上下両端には、脚部１５２Ａ、１５２Ｂが其々接続されている。

オープナの構造を小型化するために、第１の支持台１５１と第２の支持台１６１を一体構造としてもよい。この場合、ドア用アクチュエータ１５３、チャンバ用アクチュエータ１６３、ドア用ガイド装置１５５、及び、チャンバ用ガイド装置１６５は、１つの支持台に設けられる。

ベース１０１の背面にはガイドレール１４５Ａ、１４５Ｂが装着されている。ガイドレール１４５Ａ、１４５Ｂは、水平方向（紙面に垂直方向）に沿って延びている。第１の支持台１５１の脚部１５２Ａ、１５２Ｂの端部には、其々ガイド部材１４４Ａ、１４４Ｂが装着されている。ガイド部材１４４Ａ、１４４Ｂは其々、ガイドレール１４５Ａ、１４５Ｂに係合している。

ベース１０１の背面には、更に、第１の支持台１５１を水平方向（紙面に垂直方向）に沿って駆動するための横方向アクチュエータ１４６が設けられている。横方向アクチュエータ１４６は駆動部１４６Ａとロッド１４６Ｂを有し、駆動部１４６Ａはロッド１４６Ｂに沿って水平方向（紙面に垂直方向）に可動である。駆動部１４６Ａは、第１の支持台１５１の脚部のうちの一方に脚部１５２Ｂに接続されている。ロッド１４６Ｂに対して、駆動部１４６Ａが移動すると、駆動部１４６Ａに接続された第１の支持台１５１がベース１０１に沿って水平方向（紙面に垂直方向）に移動する。

本例のオープナでは、ドア用アクチュエータ１５３、チャンバ用アクチュエータ１６３、横方向アクチュエータ１４６、ドア用ガイド装置１５５、及び、チャンバ用ガイド装置１６５は、チャンバ１１０の外側に設けられている。従って、チャンバ１１０の内部空間の寸法は、ドア１０５が前後方向に移動できるために必要な大きさでよい。従って、チャンバ１１０の寸法を小さくすることができる。チャンバ１１０の寸法が小さいと、パージに要する時間を短縮化することができる。

本例のロードポートに設けられたパージ機構の構造を説明する。本例のパージ機構は、ロードポートの第１の例に設けられたパージ機構と同様な構造を有してよい。図示の例では、供給ポート１２０は、チャンバ１１０の上側面に設けられているが、チャンバ１１０の上側面１１０Ｂ又は横側面、又は、ベース１０１の背面に設けてもよい。

図１２〜図１５を参照して本発明のロードポートのオープナの第２の例の動作を説明する。図１２は、オープナが前進位置に配置され、フープが蓋開閉位置まで移動した状態を示す。オープナが前進位置に配置されているとき、チャンバ用パッキン１１１の弾性変形によって、チャンバ１１０の開口の端面とベース１０１の背面の間が完全にシールされている。フープが蓋開閉位置まで移動すると、フープ用パッキン１１の弾性変形によって、フープ１０のウエハ出し入れ口の周囲の端面とベース１０１の前面の間が完全にシールされる。ドア１０５に設けられた開錠機構によって、蓋１４のロックを解除し、ドア１０５の外面の真空チャックにより蓋１４を吸着する。

図１３は、オープナがドア後退位置に配置され、フープの蓋が開いた状態を示す。ドア用アクチュエータ１５３によって、ドア１０５を後退させる。ドア用アクチュエータ１５３は駆動部１５３Ａと可動ロッド１５３Ｂを有し、駆動部１５３Ａに対して可動ロッド１５３Ｂは水平方向に可動である。駆動部１５３Ａは、第１の支持台１５１に装着されている。可動ロッド１５３Ｂは、チャンバ１１０に設けられた孔を貫通し、その先端は、支持板１０６に接続されている。駆動部１５３Ａに対して、可動ロッド１５３Ｂが水平方向に移動すると、可動ロッド１５３Ｂに接続された支持板１０６及びドア１０５は、水平方向に移動する。それによって、フープの蓋１４が開けられ、フープ１０の内部空間は、チャンバ１１０の内部空間に接続される。ここでは、第１の例と同様に、フープ１０の内部空間とチャンバ１１０の内部空間を接続して形成される１つの空間を、パージ空間と呼ぶこととする。

パージ空間は、上述のように、フープ用パッキン１１、チャンバ用パッキン１１１、ドア用アクチュエータ用パッキン１５４、及び、ドア用ガイド用パッキン１５６によって周囲の雰囲気に対して完全にシールされている。

ドア用ガイド装置１５５は、ガイド部材１５５Ａと可動ロッド１５５Ｂを有し、ガイド部材１５５Ａに対して可動ロッド１５５Ｂは水平方向に可動である。ガイド部材１５５Ａは、第１の支持台１５１に装着されている。可動ロッド１５５Ｂは、チャンバ１１０に設けられた孔を貫通し、その先端は、支持板１０６に接続されている。ドア用アクチュエータ１５３によって、支持板１０６及びドア１０５が、水平方向に移動するとき、可動ロッド１５５Ｂがガイド部材１５５Ａによって拘束されながら、水平方向に移動する。ドア用ガイド装置１５５は、支持板１０６の外周に近い位置に配置されている。

チャンバ１１０には、ドア用アクチュエータ１５３の可動ロッド１５３Ｂが通る孔が設けられている。この孔にはパッキン１５４が装着されている。同様に、チャンバ１１０には、ドア用ガイド装置１５５の可動ロッド１５５Ｂが通る孔が設けられている。この孔にはパッキン１５６が装着されている。これらのパッキン１５４、１５６は、例えば、Ｏリングであってよい。これらのパッキン１５４、１５６によって、可動ロッドとチャンバ１１０の孔の間がシールされる。即ち、パッキン１５４、１５６によって、可動ロッドの周囲から、チャンバ１１０内の気体が外部に漏洩することが阻止される。尚、パッキンの代わりに可動ロッドを囲むように配置されたジャバラを用いてもよい。

オープナがドア後退位置に配置されると、パージ機構によって、パージ空間をパージする。パージ機構によるパージは、第１の例の場合と同様である。

図１４は、オープナがドア及びチャンバ後退位置に配置された状態を示す。チャンバ用アクチュエータ１６３によって、チャンバ１１０を水平方向に沿って後退させる。チャンバ用アクチュエータ１６３は駆動部１６３Ａと可動ロッド１６３Ｂを有し、可動ロッド１６３Ｂの先端には２本の延長ロッド１６３Ｃが装着されている。延長ロッド１６３Ｃの先端は、チャンバ１１０に接続されている。駆動部１６３Ａに対して可動ロッド１６３Ｂは水平方向に可動である。駆動部１６３Ａは、第２の支持台１６１に装着されている。駆動部１６３Ａに対して、ロッド１６３Ｂが水平方向に移動すると、延長ロッド１６３Ｃに接続されたチャンバ１１０は、水平方向に移動する。それによって、チャンバ１１０の前面の開口の周囲が、チャンバ用パッキン１１１より離れる。チャンバ用パッキン１１１は弾性変形によって元の形状に戻る。フープ１０の内部空間とチャンバ１１０の内部空間は、ウエハ処理装置１の内部空間に接続される。尚、ウエハ処理装置１の内部空間は、通常、ミニエンバイロメントである。従って、フープ１０とチャンバ１１０の内部空間は、ウエハ処理装置１のミニエンバイロメントに接続される。

オープナがドア及びチャンバ後退位置にあるとき、図示のように、蓋１４の内面は、チャンバ１１０の開口の端面より少なくとも内側に配置される。

上述のように、パージが終了すると、供給系より置換ガスの供給を停止し、排気バルブ１３３を閉じる。従って、ウエハ処理装置１の内部空間のミニエンバイロメントは、外部の雰囲気より遮断される。

第１の支持台１５１には、チャンバ１１０の水平方向の移動を確保するためのチャンバ用ガイド装置１６５が設けられている。チャンバ用ガイド装置１６５は、第１の支持台１５１に装着されたガイド部材１６５Ａと、ガイド部材に対して可動な可動ロッド１６５Ｂを有する。可動ロッド１６５Ｂの先端は、チャンバ１１０に接続されている。

チャンバ１１０が水平方向に移動するとき、チャンバ１１０の孔は、それを通るドア用アクチュエータ１５３の可動ロッド１５３Ｂ及びドア用ガイド装置１５５の可動ロッド１５５Ｂに対して相対的に移動する。しかしながら、チャンバ１１０の孔にはパッキン１５４、１５６が装着されている。従って、チャンバ１１０が水平方向に移動するとき、これらの可動ロッドの周囲より気体が漏れることはない。

図１５は、オープナが退避位置に配置された状態を示す図である。本例では、ドア１０５及びチャンバ１１０を、ベース１０１に沿って、水平方向に移動させることによって、オープナは退避位置に配置される。図１５は、ロードポートの背面構成を、ウエハ処理装置１の内部から観察したときの状態を示す。

ベース１０１の背面にはガイドレール１４５Ａ、１４５Ｂが装着されている。ガイドレール１４５Ａ、１４５Ｂは、水平方向に沿って延びている。第１の支持台１５１の上下両側の脚部１５２Ａ、１５２Ｂの端部に装着されたガイド部材１４４Ａ、１４４Ｂが、ガイドレール１４５Ａ、１４５Ｂに係合している。

ベース１０１の背面には、更に、第１の支持台１５１を水平方向に沿って駆動するための横方向アクチュエータ１４６が設けられている。横方向アクチュエータ１４６は駆動部１４６Ａとロッド１４６Ｂを有し、駆動部１４６Ａはロッド１４６Ｂに沿って水平方向に可動である。駆動部１４６Ａは、第１の支持台１５１の脚部のうちの一方の脚部１５２Ｂに接続されている。ロッド１４６Ｂに対して、駆動部１４６Ａが移動すると、駆動部１４６Ａに接続された第１の支持台１５１がベース１０１に沿って水平方向に移動する。

第１の支持台１５１がベース１０１に沿って水平方向に移動すると、第１の支持台１５１に装着されたチャンバ１１０、フープの蓋１４を保持したドア１０５、ドア用アクチュエータ１５３、第２の支持台１６１、及び、チャンバ用アクチュエータ１６３等が横方向に移動する。

ベース１０１の孔１０１Ａを通して、フープ１０の内部のウエハ２０を観察することができる。ベース１０１の孔１０１Ａを囲むように、ベース１０１の前面にフープ用パッキン１１が設けられている。

ベース１０１の背面には、排気ポート１３０が設けられている。排気ポート１３０は横に細長い開口によって構成されている。排気ポート１３０より延びる排気通路１３１の断面は、奥に進むに従って小さくなっている。

本例のロードポートによると、第１の例と同様に、フープ１０の蓋１４を開く時と閉じる時の２回、フープ１０内をパージしてよい。開く時のパージに用いる置換ガスと閉じる時に用いる置換ガスは同一であってもよいが異なってよい。従って、供給管１２１には、複数の置換ガス源が切り替え可能に接続されている。供給系には、更に、拡散フィルタ、エアノズル、整流板等が設けられているが、詳細に後に説明する。

図１６〜図２３を参照して本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の構造及び配置の他の例を説明する。上述のように、供給系の供給ポート１２０は、チャンバ１１０の内部空間に接続され、且つ、フープ１０の天井面より上側であれば、任意の位置に設けられ、任意の構造が可能である。以下に、供給系の供給ポート１２０の様々な例を説明する。

図１６を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の第３の例を説明する。本例のパージ機構の供給系では、供給ポート１２０はベース１０１の背面に設けられている。供給ポート１２０より放出される置換ガスの気流の方向は、ベース１０１からチャンバ１１０の内部に向かう方向であり、フープ１０の内部空間の方向ではない。そこで、供給ポート１２０と対抗する位置に、整流板１２５が設けられている。整流板１２５はチャンバ１１０の内部に適当な方法によって装着されている。供給ポート１２０から放出された置換ガスは、整流板１２５に衝突又は反射して進路を変更し、フープ１０の内部空間に導かれる。

図１７を参照して本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の第４の例を説明する。本例のパージ機構の供給系では、図示のように、ベース１０１の前面に供給管１２１が接続されている。ベース１０１の内部には、供給管１２１に接続されるように供給通路１２４が形成されている。供給通路１２４は、ベース１０１の内部をベース１０１の背面に沿って延びており、その先端はベース１０１の孔１０１Ａの内面まで延びている。従って、供給ポート１２０は、ベース１０１の孔１０１Ａの内面に設けられている。供給ポート１２０より放出される置換ガスの気流の方向は、ベース１０１の孔１０１Ａ内にてベース１０１に沿った方向であり、フープ１０の内部空間の方向ではない。そこで、供給通路１２４に沿って整流板１２５が設けられている。整流板１２５はベース１０１の背面に沿って適当な方法によって装着されている。供給系から放出された置換ガスは、整流板１２５に衝突又は反射して進路を変更し、供給ポート１２０を経由してフープ１０の内部空間に導かれる。

図１８を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の構造及び配置の第５の例を説明する。本例のパージ機構の供給系では、供給ポート１２０はチャンバ１１０の上側面１１０Ｂに設けられている。供給ポート１２０より放出される置換ガスの気流の方向は、チャンバ１１０の上側面１１０Ｂから下方に向かう方向であり、フープ１０の内部空間の方向ではない。そこで、供給ポート１２０からの気流の経路に沿った位置に、整流板１２５が設けられている。整流板１２５はチャンバ１１０の内面に適当な方法によって装着されている。供給ポート１２０から放出された置換ガスは、整流板１２５に衝突又は反射して進路を変更し、フープ１０の内部空間に導かれる。

図１６から図１８に示したパージ機構の供給系は、本発明のロードポートの第１の例に適用できるが、第２の例にも適用可能である。即ち、図１６から図１８に示したロードポートのドア及びチャンバの駆動機構は単なる例示であって、図１６から図１８に示したパージ機構の供給系は、例えば、図１１に示したロードポートの第２の例にも適用可能である。

図１９Ａを参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の拡散フィルタの構造の例を説明する。拡散フィルタ１２６は、供給管１２１の先端に装着される。拡散フィルタ１２６は、円筒状の濾材１２６Ａを有する。供給管１２１を介して供給された置換ガスは、濾材１２６Ａより円周方向に放射状に排出される。

図１９Ｂを参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系のエアノズルの構造の例を説明する。エアノズル１２７は、供給管１２１の先端に装着される。エアノズル１２７は、三角柱形状のハウジング１２７Ａを有し、その先端に細い帯状のノズル１２７Ｂが設けられている。供給管１２１を介して供給された置換ガスは、ノズル１２７Ｂより帯状の気流となって排出される。本例のエアノズル１２７では、ハウジング１２７Ａは三角柱形状であるが、円筒形状であってもよい。

図２０を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の拡散フィルタの配置の例を説明する。本例では、供給管１２１の先端に拡散フィルタ１２６が接続され、拡散フィルタ１２６を囲むようにエアノズル１２７が設けられている。エアノズル１２７のノズル１２７Ｂは、下方を向いている。拡散フィルタ１２６及びエアノズル１２７は、チャンバ１１０の内部空間にてチャンバ１１０の背面及び上側面に沿って、横方向に沿って配置されている。

拡散フィルタ１２６に接続された供給管１２１は、チャンバ１１０の内部空間にてチャンバ１１０の背面に沿って、上側面及び横側面に沿って延びており、チャンバ１１０の下側面を貫通してチャンバ１１０の内側から外側に延びている。尚、ここで示した供給管の配管構造は一例であり、他の配管構造も可能である。

図示の例では、エアノズル１２７は円筒形状であるが、図１９Ｂに示した三角柱形状のエアノズルを用いてもよい。更に、拡散フィルタ１２６を省略し、エアノズル１２７のみを装着してもよい。

図２１を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系の拡散フィルタの配置の他の例を説明する。本例では、ベース１０１に供給通路１２８が形成されており、そこに拡散フィルタ１２６が配置されている。拡散フィルタ１２６は、供給管１２１の先端に接続されている。供給通路１２８の背面には、整流板１２５が設けられている。拡散フィルタ１２６の円筒面から放出された気流は、供給通路１２８の内面と整流板１２５に衝突又は反射して進路を変更し、フープ１０の内部空間に導かれる。

図２２を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の供給系のエアノズルの配置の例を説明する。本例では、ベース１０１の前面にエアノズルが装着されている。エアノズルは、供給管１２１の先端に接続されている。エアノズルは、細長い帯状のノズルを有する。このノズルは、ベース１０１の背面に設けられている。本例では、このノズルが供給ポート１２０となる。本例でも、図１６の例と同様に、供給ポート１２０と対抗する位置に、整流板１２５を設けてよい。

図２３を参照して、本発明のウエハ処理装置のロードポートのパージ機構の排気系の排気通路の形状を説明する。排気通路１３１は、入口部１３１Ａと通路部１３１Ｂからなり、入口部１３１Ａの開口によって排気ポート１３０が形成される。通路部１３１Ｂの流路断面は一定であるが、入口部１３１Ａの流路断面は、通路部１３１Ｂから排気ポート１３０に近づくに従って大きくなる。排気ポート１３０は横に細長い形状である。

通路部１３１Ｂには、排気管１３２及び測定器１３６が接続されている。排気管１３２には、図３に示したように、排気バルブ１３３及び排気ファン１３５が設けられている。

以上本発明の例を説明したが本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲にて様々な変更が可能であることは、当業者によって容易に理解されよう。

１…ウエハ処理装置、２…本体、３…ファンフィルタユニット、４…ウエハ搬送機構、５…ロードポート、１０…フープ、１１…フープ用パッキン、１２…シェル、１４…蓋、１６…ウエハ出し入れ口、１８…置台、２０…ウエハ、２１…ウエハ搬送経路、１０１…ベース、１０１Ａ…孔、１０１Ｂ…孔、１０２…基台、１０３…カバー部材、１０５…ドア、１０６…支持板、１０７…支持部材、１１０…チャンバ、１１１…チャンバ用パッキン、１１３…ジャバラ、１２０…供給ポート、１２１…供給管、１２３…供給バルブ、１２４…供給通路、１２５…整流板、１２６…拡散フィルタ、１２７…エアノズル、１２８…供給通路、１３０…排気ポート、１３１…排気通路、１３２…排気管、１３３…排気バルブ、１３５…排気ファン、１３６…測定器、１４１…ドア用アクチュエータ、１４２…チャンバ用アクチュエータ、１４３…垂直アクチュエータ、１４４Ａ、１４４Ｂ…ガイド部材、１４５Ａ、１４５Ｂ…ガイドレール、１４６…横方向アクチュエータ、１５１…第１の支持台、１５２Ａ、１５２Ｂ…脚部、１５３…ドア用アクチュエータ、１５４…ドア用アクチュエータ用パッキン、１５５…ドア用ガイド装置、１５６…ドア用ガイド用パッキン、１６１…第２の支持台、１６２Ａ、１６２Ｂ…脚部、１６３…チャンバ用アクチュエータ、１６３Ｃ…延長ロッド、１６５…チャンバ用ガイド装置

Claims (14)

1. ウエハ収納容器の蓋が通るための孔が設けられた垂直なベースと該ベースの前面側に設けられた水平な基台とを有するロードポートと、前記基台に配置されたウエハ収納容器の蓋を開閉するために前記ベースの背面側に設けられたオープナと、を備えたウエハ処理装置において、
   前記オープナは、前記ベースの孔を経由して前記ウエハ収納容器の蓋を開閉するためのドアと、該ドアを囲むように前面に開口を備えた箱形のチャンバと、前記ドア及び前記チャンバを駆動する駆動系と、前記ウエハ収納容器の内部空間をパージするパージ機構と、を有し、
   前記駆動系は、前記ドアを前記ベースの孔の孔軸方向に沿って駆動するドア用アクチュエータと、前記チャンバを前記ベースの背面に対する近接/離間方向に沿って駆動するチャンバ用アクチュエータと、前記ドア及び前記チャンバを同時に前記ベースの背面に沿って駆動する第３のアクチュエータとを有し、前記３つのアクチュエータは、前記チャンバの外側に設けられ、
   前記チャンバの前面の開口の端部が前記ベースの背面に係合した状態で、前記ドアによって前記ウエハ収納容器の蓋が開けられたとき、前記ウエハ収納容器の内部空間と前記チャンバの内部空間は接続されて１つの密閉されたパージ空間が形成され、
   前記パージ機構は、前記パージ空間に置換ガスを供給する供給ポートを備えた供給系と、前記パージ空間を排気する排気ポートを備えた排気系と、を有し、前記供給ポートは前記ウエハ収納容器より高い位置に設けられ、前記排気ポートは前記ウエハ収納容器より低い位置に設けられ、前記排気ポートは、前記ベースの背面にて前記ベースの孔の下側に設けられ、
   前記パージ機構によるパージは、前記ウエハ収納容器からウエハを取り出すために前記ウエハ収納容器の蓋を開けたときと、前記ウエハ収納容器からウエハを取り出した後に前記ウエハ収納容器の蓋を閉じるときの２回行うように構成され、前記ウエハ収納容器の蓋を開けたときのパージに用いる置換ガスと前記ウエハ収納容器の蓋を閉じるときのパージに用いる置換ガスは同一又は異なる
   ことを特徴とするウエハ処理装置。
2. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記排気系は、前記排気ポートに接続された排気通路と、該排気通路に接続された排気管と、を有し、前記排気通路は前記ベース及び前記基台に形成されていることを特徴とするウエハ処理装置。
3. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記排気系は、前記排気ポートに接続された排気通路と、該排気通路に接続された排気管と、を有し、前記排気通路は、前記排気ポートが形成された入口部と該入口部に接続された通路部とを有し、前記通路部の流路断面は一定であり、前記入口部の流路断面は前記通路部から前記排気ポートに近づくに従って大きくなり、前記排気ポートは横に細長い形状であることを特徴とするウエハ処理装置。
4. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記供給ポートは、前記ベースの背面又は前記チャンバの内面に設けられ、前記チャンバには、前記供給ポートから供給された置換ガスの気流の方向を前記ウエハ収納容器の内部空間の方向に向けるための整流板が設けられていることを特徴とするウエハ処理装置。
5. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記供給ポートは、前記ベースの孔の内面に設けられ、前記ベースには前記供給ポートに接続された供給通路が形成され、該供給通路には、前記供給ポートから供給される置換ガスの気流の方向を前記ウエハ収納容器の内部空間の方向に向けるための整流板が設けられていることを特徴とするウエハ処理装置。
6. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記供給系は、置換ガス源に接続された供給管を有し、該供給管の先端に拡散フィルタとエアノズルの少なくとも一方が装着され、該拡散フィルタとエアノズルの少なくとも一方は前記チャンバの内面に沿って配置されていることを特徴とするウエハ処理装置。
7. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記供給系は、置換ガス源に接続された供給管を有し、該供給管の先端に拡散フィルタが装着され、該拡散フィルタは前記ベースの内部に形成された供給通路内に配置されていることを特徴とするウエハ処理装置。
8. 請求項７記載のウエハ処理装置において、前記供給通路には、前記拡散フィルタから供給される置換ガスの気流の方向を前記ウエハ収納容器の内部空間の方向に向けるための整流板が設けられていることを特徴とするウエハ処理装置。
9. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
   前記排気系は、前記排気ポートを経由して排気されるガスの成分を測定する測定器を有し、該測定器からの測定データにより、前記排気ポートを経由して排気されるガスの濃度が所定の閾値より小さくなったときに、前記パージ機構による前記パージ空間のパージを終了することを特徴とするウエハ処理装置。
10. 請求項１記載のウエハ処理装置において、
    前記ドア用アクチュエータの駆動軸の中心軸線と前記チャンバ用アクチュエータの駆動軸の中心軸線は同一線上に配置されていることを特徴とするウエハ処理装置。
11. 請求項１０記載のウエハ処理装置において、
    前記駆動系は、前記ベースに背面に装着されたガイドレールと、該ガイドレールに沿って移動する支持台と、を有し、前記ドア用アクチュエータと前記チャンバ用アクチュエータは、前記支持台に装着されていることを特徴とするウエハ処理装置。
12. 請求項１０記載のウエハ処理装置において、
    前記駆動系は、前記ドアの前記ベースの孔の孔軸方向に沿った移動を確保するための複数のドア用ガイド装置と、前記チャンバの前記ベースの背面に対する近接/離間方向に沿った移動を確保するための複数のチャンバ用ガイド装置とを有し、前記ドア用ガイド装置と前記チャンバ用ガイド装置は、前記駆動軸の中心軸線の回りに回転対称に配置されていることを特徴とするウエハ処理装置。
13. ウエハ収納容器の蓋が通るための孔が設けられた垂直なベースと該ベースの前面側に設けられた水平な基台とを有するロードポートと、前記基台に配置されたウエハ収納容器の蓋を開閉するために前記ベースの背面側に設けられたオープナと、を備え、前記オープナは、前記ベースの孔を経由して前記ウエハ収納容器の蓋を開閉するためのドアと、該ドアを囲むように前面に開口を備えた箱形のチャンバと、前記ドア及び前記チャンバを駆動する駆動系と、前記ウエハ収納容器の内部空間をパージするパージ機構と、を有するウエハ処理装置を用いて、ウエハ収納容器からウエハを搬出する方法において、
    ウエハ収納容器を前記ロードポートの置台に設置するステップと、
    前記オープナをドア前進位置に配置し、前記ウエハ収納容器を蓋開閉位置まで移動させることによって、前記ウエハ収納容器の蓋を前記ベースの孔に配置された前記ドアの前面に当接させるステップと、
    前記ドアによって前記ウエハ収納容器の蓋を吸着するステップと、
    前記オープナを前記ドア前進位置からドア後退位置に配置することによって、前記ウエハ収納容器の蓋を開け、前記ウエハ収納容器の内部空間と前記チャンバの内部空間を接続して１つの密閉されたパージ空間を形成するステップと、
    前記パージ空間を置換ガスで置換する第１の置換ステップと、
    前記オープナを前記ドア後退位置からドア及びチャンバ後退位置に配置することによって、前記ウエハ収納容器の内部空間をウエハ処理装置の内部空間に接続するステップと、
    前記オープナを前記ドア及びチャンバ後退位置から退避位置に配置することによって、前記ウエハ収納容器のウエハ出し入れ口の背後に、ウエハ搬送経路を形成するステップと、
    前記ウエハ搬送経路を介して前記ウエハ収納容器よりウエハを搬送するステップと、
    前記オープナを、前記退避位置から前記ドア及びチャンバ後退位置に戻すステップと、
    前記オープナを、前記ドア及びチャンバ後退位置から前記ドア後退位置に戻すことによって、前記ウエハ収納容器の内部空間と前記チャンバの内部空間を接続して１つの密閉されたパージ空間を形成するステップと、
    前記パージ空間を、前記第１の置換ステップで用いた置換ガスと同一又は異なる置換ガスで置換する第２の置換ステップと、
    前記オープナを前記ドア後退位置から前記ドア前進位置に戻すことによって、前記ドアに吸着された前記ウエハ収納容器の蓋を、前記ウエハ収納容器のウエハ出し入れ口に係合させるステップと、
    前記ドアによる前記ウエハ収納容器の蓋の吸着を解除するステップと、
    前記ウエハ収納容器を蓋開閉位置から元の位置に戻すステップと、
    を有するウエハ収納容器からウエハを搬出する方法。
14. 請求項１３記載のウエハ収納容器からウエハを搬出する方法において、
    前記第１及び第２の置換ステップは、
    前記パージ機構に設けられた排気系によって、前記パージ空間の排気を開始し、同時に、又は、所定の時間が経過した後に、前記パージ機構に設けられた供給系によって前記パージ空間に置換ガスを供給するステップと、
    前記排気系における排気ガスの成分を観察するステップと、
    前記排気ポートを経由して排気されるガスの濃度が所定の閾値より小さくなったときに、前記パージ機構による前記パージ空間のパージを終了するステップと、を有することを特徴とする方法。

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