JP5912656B2 - 半導体ウェーハ用治具の剥離装置及び半導体ウェーハの取り扱い方法 - Google Patents
半導体ウェーハ用治具の剥離装置及び半導体ウェーハの取り扱い方法 Download PDFInfo
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Description
半導体ウェーハ用治具は、半導体ウェーハの片面周縁部に対向するリング形の基材層と、この基材層の半導体ウェーハの片面に対向する対向面に設けられて半導体ウェーハの片面周縁部に剥離可能に粘着する粘着層とを含み、基材層の対向面の大部分に粘着層を積層し、対向面の残部を粘着層の存在しない剥離契機部に形成し、
剥離装置は、半導体ウェーハの片面周縁部に粘着した半導体ウェーハ用治具の剥離契機部に貫通端子を挿入するスライド機構と、半導体ウェーハ用治具の剥離契機部から突出した貫通端子の突出部を保持して引き上げる保持機構とを含んでなることを特徴としている。
また、粘着層を略C字形に形成し、この粘着層の両端部を対向面の残部を介して対向させることができる。
また、粘着層を複数に分割し、これら複数の粘着層の両端部を対向面の残部を介して対向させることもできる。
スライド機構は、アームに設置される第一のアクチュエータと、この第一のアクチュエータに接続されて半導体ウェーハの片面に対向可能なスライド子と、このスライド子に支持されて半導体ウェーハ用治具の剥離契機部に対向可能な可撓性の貫通端子とを含み、半導体ウェーハにアームが接近した場合に第一のアクチュエータを駆動し、半導体ウェーハ片面の幅方向内側から外側にかけてスライド子をスライドさせることができる。
半導体ウェーハ用治具は、半導体ウェーハの片面周縁部に対向するリング形の基材層と、この基材層の半導体ウェーハの片面に対向する対向面に設けられて半導体ウェーハの片面周縁部に剥離可能に粘着する粘着層とを含み、基材層の対向面の大部分に粘着層を積層し、対向面の残部を粘着層の存在しない剥離契機部に形成し、
半導体ウェーハ用治具を、請求項1ないし4いずれかに記載の半導体ウェーハ用治具の剥離装置により剥離することを特徴としている。
10 半導体ウェーハ用治具
11 基材層
13 対向面
14 残部
15 粘着層
16 剥離契機部
20 吸着テーブル
30 剥離装置
31 アーム
34 スライド機構
35 スライド用エアシリンダ(第一のアクチュエータ、エアシリンダ)
36 ピストンロッド
38 スライド子
39 貫通端子
40 保持機構
41 支柱
42 支持板
43 アクチュエータ(第二のアクチュエータ)
44 ボールネジ
45 ブラケット
47 挟持部
48 チャック用エアシリンダ(第三のアクチュエータ、エアシリンダ)
49 ピストンロッド
50 挟持子
Claims (5)
- 半導体ウェーハに剥離可能に粘着して剛性を付与する半導体ウェーハ用治具と、この半導体ウェーハ用治具を剥離する剥離装置とを備えた半導体ウェーハ用治具の剥離装置であって、
半導体ウェーハ用治具は、半導体ウェーハの片面周縁部に対向するリング形の基材層と、この基材層の半導体ウェーハの片面に対向する対向面に設けられて半導体ウェーハの片面周縁部に剥離可能に粘着する粘着層とを含み、基材層の対向面の大部分に粘着層を積層し、対向面の残部を粘着層の存在しない剥離契機部に形成し、
剥離装置は、半導体ウェーハの片面周縁部に粘着した半導体ウェーハ用治具の剥離契機部に貫通端子を挿入するスライド機構と、半導体ウェーハ用治具の剥離契機部から突出した貫通端子の突出部を保持して引き上げる保持機構とを含んでなることを特徴とする半導体ウェーハ用治具の剥離装置。 - 剥離装置は、半導体ウェーハに接近する場合には下方向に回転し、半導体ウェーハから離隔する場合には上方向に回転するアームを含み、
スライド機構は、アームに設置される第一のアクチュエータと、この第一のアクチュエータに接続されて半導体ウェーハの片面に対向可能なスライド子と、このスライド子に支持されて半導体ウェーハ用治具の剥離契機部に対向可能な可撓性の貫通端子とを含み、半導体ウェーハにアームが接近した場合に第一のアクチュエータを駆動し、半導体ウェーハ片面の幅方向内側から外側にかけてスライド子をスライドさせる請求項1記載の半導体ウェーハ用治具の剥離装置。 - 保持機構は、半導体ウェーハにアームが接近した場合にアームから下方向に指向する支柱と、この支柱に沿って昇降する第二のアクチュエータと、この第二のアクチュエータに取り付けられて半導体ウェーハ用治具の剥離契機部から突出した貫通端子の突出部に挟持部を対向させるブラケットと、このブラケットに設置される第三のアクチュエータと、この第三のアクチュエータの駆動により、ブラケットの挟持部との間に貫通端子の突出部を挟む挟持子とを含んでなる請求項2記載の半導体ウェーハ用治具の剥離装置。
- 第一、第三のアクチュエータをそれぞれエアシリンダとし、第一のエアシリンダをアームに横向きに設置してそのピストンロッドを保持機構方向に向け、この第一のエアシリンダのピストンロッドに、半導体ウェーハの片面に上方から隙間を介して対向するスライド子を接続し、第三のエアシリンダをブラケットに縦向きに設置してそのピストンロッドをブラケットの挟持部方向に向け、この第三のエアシリンダのピストンロッドに、ブラケットの挟持部に上方から対向する挟持子を接続した請求項2又は3記載の半導体ウェーハ用治具の剥離装置。
- 半導体ウェーハに半導体ウェーハ用治具を剥離可能に粘着し、半導体ウェーハにストレスリリーフ、PVD、CVD、バックグラインド、あるいはダイシングの何れかの処理を施した後、半導体ウェーハ用治具を剥離する半導体ウェーハの取り扱い方法であって、
半導体ウェーハ用治具は、半導体ウェーハの片面周縁部に対向するリング形の基材層と、この基材層の半導体ウェーハの片面に対向する対向面に設けられて半導体ウェーハの片面周縁部に剥離可能に粘着する粘着層とを含み、基材層の対向面の大部分に粘着層を積層し、対向面の残部を粘着層の存在しない剥離契機部に形成し、
半導体ウェーハ用治具を、請求項1ないし4いずれかに記載の半導体ウェーハ用治具の剥離装置により剥離することを特徴とする半導体ウェーハの取り扱い方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012039767A JP5912656B2 (ja) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 半導体ウェーハ用治具の剥離装置及び半導体ウェーハの取り扱い方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012039767A JP5912656B2 (ja) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 半導体ウェーハ用治具の剥離装置及び半導体ウェーハの取り扱い方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013175628A JP2013175628A (ja) | 2013-09-05 |
JP5912656B2 true JP5912656B2 (ja) | 2016-04-27 |
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ID=49268276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5912656B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7184722B2 (ja) * | 2019-09-19 | 2022-12-06 | 株式会社東芝 | 支持基板、支持基板の剥離方法、及び、半導体装置の製造方法 |
CN112234020B (zh) * | 2020-09-02 | 2024-01-30 | 江苏盐芯微电子有限公司 | 一种集成电路封装设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7148126B2 (en) * | 2002-06-25 | 2006-12-12 | Sanken Electric Co., Ltd. | Semiconductor device manufacturing method and ring-shaped reinforcing member |
DE102004018249B3 (de) * | 2004-04-15 | 2006-03-16 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks an einem Werkstückträger |
JP2006059861A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Lintec Corp | 脆質部材の転着装置 |
JP5328422B2 (ja) * | 2009-03-02 | 2013-10-30 | 信越ポリマー株式会社 | 電子部品保持具 |
JP2010283098A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Lintec Corp | 板状部材の支持部材 |
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2012
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JP2013175628A (ja) | 2013-09-05 |
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