JP2010080647A - 保管庫及び搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷の入出庫が、ＯＨＴ等の搬送車との間で行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫する。
【解決手段】保管庫（１０）は、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷（３）を出し入れ可能な出入口が、複数段の各々に鉛直方向に並ぶように設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、荷を夫々載置可能であると共に相互間で荷を夫々水平移動可能な複数の載置部（２１）と、本体部外にて、複数段の各々における出入口に沿って上下移動可能な複数段に共通の入出庫ポートと、入出庫ポートを上下移動させる上下移動手段（１２）と、複数段の各々において出入口に隣接する一の載置部と一の載置部に対向する位置に移動された入出庫ポートとの間で、荷を水平移動可能な外内移動手段（１６）とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が行われる保管庫、及び該保管庫を備える搬送システムの技術分野に関する。

この種の保管庫は、例えば複数の棚、並びに搬入ポート及び搬出ポートを備え、これら搬入ポート及び搬出ポートを介して、複数の棚に載置される或いは載置されているカセットの入出庫を行う（特許文献１参照）。

また、ＦＯＵＰアドバンスプレートアセンブリによりロードポートを昇降させることで、ＦＯＵＰをコンベアへ又はコンベアから移載可能である搬送システムがある（特許文献２参照）。

特開２００６−０４９４５４号公報 国際公開ＷＯ２００７／０９１５９３号公報

しかしながら、上述した特許文献１の保管庫によれば、保管庫が多数の棚を備えており、多数の棚にて多数のカセットが収容又は載置可能である場合に、多数のカセットの入出庫は、搬入ポート及び搬出ポートの２つのポートだけを介して行われるので、搬送効率が低いという技術的課題がある。

また、上述した特許文献２の搬送システムによれば、ロードポートの昇降距離が比較的長い場合に、コンベアとの間で、１つのＦＯＵＰの移載が迅速に行われても、多数のＦＯＵＰの移載では、荷の数に比例してその昇降時間が増大してしまい、搬送効率が低下するという技術的課題がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、簡単な構成により効率良くカセットやＦＯＵＰ等の荷を入出庫することを可能ならしめる保管庫、このような保管庫を備える搬送システムを提供することを課題とする。

本発明の第１保管庫は上記課題を解決するために、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に前記鉛直方向に並ぶように設けられている本体部と、該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で前記荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部と、前記本体部外にて、前記複数段の各々における前記出入口に沿って上下移動可能な前記複数段に共通の入出庫ポートと、前記入出庫ポートを上下移動させる上下移動手段と、前記複数段の各々において前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と該一の載置部に対向する位置に移動された際における前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。

本発明の第１保管庫によれば、例えばビークル等の搬送車との間で、例えばＦＯＵＰ等の荷の入出庫が行われる。該搬送車は、例えばホイスト機構等の昇降手段を備えており、該昇降手段は、例えばグリッパ等の保持手段を備える。搬送車は、例えば軌道に沿って走行し、該保持手段により保持された荷を、当該第１保管庫や、例えば半導体素子製造用の製造装置、他の保管庫或いはストッカ等へ搬送する。搬送車は、入出庫の際に、昇降手段により保持手段又は保持手段により保持された荷を昇降させることで、当該第１保管庫や、製造装置等における入出庫ポートへ又は入出庫ポートから荷を移載する。

本発明の第１保管庫は、例えば比較的背の低い製造装置等の処理装置の上方に配置される。但し、該処理装置と軌道との間には、当該保管庫に対応する（即ち、当該保管庫を配置するための）空間が必要である。本発明は、例えば処理装置の上方で、本来利用されない空間を有効利用可能な保管庫でもある。

本発明の第１保管庫は、本体部と、複数の載置部と、入出庫ポートと、上下移動手段と、外内移動手段とを備える。本体部の内部は、鉛直方向に複数段に分断されている。ここで「複数段」は、例えば該内部の高さ、実際には、上述した処理装置の上方の空間における上下方向の長さに対応しており、「複数段」の間隔は、例えば荷の高さよりも大きく設定されている。本発明は、例えば各段にグループや種類等を割り当て、各段に所定区分の荷を複数保管可能である。本発明は特に、連続して２つの荷が入庫又は出庫されたり、並びに入庫すべき荷が入庫された直後に出庫すべき荷が出庫される場合に、効率良く入出庫可能な保管庫である。また、このような保管庫は、ストッカと呼ばれてもよい。

本体部における複数段の各々には、出入口が鉛直方向に並ぶように設けられる。該複数段の各々における複数の載置部は、例えば軌道に平行な水平一方向と、軌道に直交する水平一方向との水平二方向に広がる範囲に配列されている。該複数の載置部は、例えば複数のローラからなるローラコンベアや、ベルトコンベア等のコンベアを備える。複数の載置部は、該コンベアにより、相互間で荷を水平移動させることで、荷の保管庫内搬送を行う。当該保管庫における入出庫ポートは、複数段に共通のポートである。上下移動手段は、該入出庫ポートを、本体部外にて、各段における出入口に沿って上下移動させる。該上下移動により、入出庫ポートは、複数段の各々において、複数の載置部のうち出入口に隣接する一の載置部に対向する位置に移動される。外内移動手段は、例えば搬送車から荷が移載される移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と一の載置部との間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。該外内移動手段は、一の載置部と、該一の載置部に対向する位置にある入出庫ポートとの間で、出入口を介して、荷を水平移動させる。

このような本発明の第１保管庫において、入庫時には、例えば入庫すべき荷が搬送車から、複数段のうちのいずれかの段における一の載置部に対向する位置（以下、単に「段に対応する位置」と言う）にある入出庫ポートへ移載（入庫）される。次に、荷を保管すべき段が、入庫時に対応していた段と異なる段であれば、上下移動手段により、入出庫ポートが荷を載置した状態で、保管すべき段に対応する位置へ移動される。尚、この順番とは逆に、先に保管すべき段に対応する位置へ入出庫ポートが空荷のまま上下移動された後に、この入出庫ポート上に荷が搬送車から移載されてもよい。

次に、外内移動手段により、荷が入出庫ポートから同段における一の載置部へ水平移動される。すると、複数の載置部により、該一の載置部から、同段における所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。

出庫時には、例えば出庫すべき荷が所望の載置部から、同段における一の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。次に、入出庫ポートが、出庫すべき荷を保管している段に対応する位置になければ、上下移動手段により、入出庫ポートが、出庫すべき荷を保管している段に対応する位置へ移動される。次に、一の載置部により、荷が入出庫ポートへ水平移動される。次に、入出庫ポート上の荷が該入出庫ポートから搬送車へ移載（出庫）される。尚、搬送車への移載前に、例えば搬送車への移載が容易な上下位置（例えば、最も上方の位置）が存在する場合などに、入出庫ポートが荷を載せた状態で、その上下位置まで上下移動された後に、この入出庫ポートから荷が搬送車へ移載されてもよい。

上述した入庫動作及び出庫動作は、複数段に共通の１つの入出庫ポートを介して行われるが、入庫時には、例えば搬送車から移載（入庫）された荷が、入庫直後に、入出庫ポートから、複数段のうちのいずれかの段における一の載置部に移動され、入庫から僅かな時間で入出庫ポートが空荷の状態となるので、入出庫ポートにおける１つの荷に要する入庫時間が短縮される。また、出庫時には、例えばいずれかの段における一の載置部上の出庫すべき荷が入出庫ポートに移動された直後に、入出庫ポートから搬送車へ移載されれば、出庫すべき荷を載置してから僅かな時間で入出庫ポートが空荷の状態となるので、入出庫ポートにおける１つの荷に要する出庫時間が短縮される。従って、本発明では、複数段の各々における一の載置部が、入庫直後又は出庫直前に、入庫された荷又は出庫すべき荷を載置するための仮の入出庫ポートとして機能する。これにより、本来の入出庫ポートは、搬送車又は一の載置部との間で荷を受け渡しすればよいので、本来の入出庫ポートにおける１つの荷に要する入庫時間又は出庫時間が大幅に短縮される。

また、複数段に共通の入出庫ポートは、鉛直方向に積み重ねられた複数段のうちのどの段からも又はどの段へも荷を移載可能であり、複数段の各々において、入庫された荷又は出庫すべき荷が独立して保管庫内搬送される。このため、１台の搬送車による、入庫すべき荷が入庫された後に出庫すべき荷が出庫される一連の入出庫、並びに複数台の搬送車による連続した入庫又は出庫の際に、複数の荷（即ち、入庫された荷及び／又は出庫すべき荷）にかかる保管庫内搬送時間が最短に抑えられる。

以上のように、入出庫ポートにおける入庫時間及び出庫時間の短縮、並びに保管庫内搬送時間の最短化により、効率良く荷を入出庫することができる。

尚、本発明の第１保管庫は、例えば入出庫ポートを２つ以上備えてもよい。入出庫ポートを２つ備える場合に、例えば出入口の一列に対応して設けられた一方の入出庫ポートが入庫専用のポートとして、出入口の他の列に対応して設けられた他方の入出庫ポートが出庫専用のポートとして機能する。これにより、入庫又は出庫専用のポートを介して、多数の荷を入庫又は出庫することができる。このような２つ入出庫ポートは、横並びに隣接して設けられてもよいし、両端又はその付近に相互に離れて設けられてもよい。

本発明の第２保管庫は上記課題を解決するために、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に前記鉛直方向に並ぶように設けられている本体部と、該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能な複数の載置部と、前記本体部内で、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段と、前記本体部外にて、前記複数段の各々における前記出入口に沿って上下移動可能な前記複数段に共通の入出庫ポートと、前記入出庫ポートを上下移動させる上下移動手段と、前記複数段の各々において前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と該一の載置部に対向する位置に移動された際における前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。

本発明の第２保管庫は、本発明の第１保管庫と同様に、本体部と、入出庫ポートと、上下移動手段と、外内移動手段とを備えるが、第１保管庫の場合と機能が一部異なる複数の載置部と、更に内部移動手段とを備える。

本発明の第２保管庫における複数の載置部は、各段において、例えば軌道に平行な水平一方向と、軌道に直交する水平一方向との水平二方向に広がる範囲に配列されており、夫々単に荷を収容又は載置可能である。

内部移動手段は、例えば荷を載置部に代わってその底側から支持する支持部と、該支持部を水平移動させるロボットアーム等の移動機構とを備える。或いは、ローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構により、載置部間で荷を移動する機構を備えてもよい。内部移動手段は、例えばこれらの機構により、複数の載置部間で支持部を水平移動させることで、荷を水平移動可能である。

このような本発明の第２保管庫において、入庫時には、例えば入庫すべき荷が搬送車から、複数段のうちのいずれかの段に対応する位置にある入出庫ポートへ入庫される。次に、荷を保管すべき段が、入庫時に対応していた段と異なる段であれば、上下移動手段により、入出庫ポートが荷を載置した状態で、保管すべき段に対応する位置へ移動される。次に、外内移動手段により、荷が入出庫ポートから同段における一の載置部へ水平移動される。すると、内部移動手段により、該一の載置部から、同段における所望の載置部へ保管庫内搬送される。

出庫時には、例えば出庫すべき荷が所望の載置部から、同段における一の載置部へ保管庫内搬送される。次に、入出庫ポートが、出庫すべき荷を保管している段に対応する位置になければ、上下移動手段により、入出庫ポートが、出庫すべき荷を保管している段に対応する位置へ移動される。次に、内部移動手段により、荷が一の載置部から入出庫ポートへ水平移動される。次に、入出庫ポート上の荷が該入出庫ポートから搬送車へ出庫される。

このように、本発明では、複数段の各々における一の載置部が、入庫直後又は出庫直前に、入庫された荷又は出庫すべき荷を載置するための仮の入出庫ポートとして機能する。これにより、本来の入出庫ポートは、搬送車又は一の載置部との間で荷を受け渡しすればよいので、本来の入出庫ポートにおける１つの荷に要する入庫時間又は出庫時間が大幅に短縮される。また、１台の搬送車による、入庫すべき荷が入庫された後に出庫すべき荷が出庫される一連の入出庫、並びに複数台の搬送車による連続した入庫又は出庫の際に、複数の荷（即ち、入庫された荷及び／又は出庫すべき荷）にかかる保管庫内搬送時間が最短に抑えられる。

以上のように、入出庫ポートにおける入庫時間及び出庫時間の短縮、並びに保管庫内搬送時間の最短化により、効率良く荷を入出庫することができる。

本発明の第１保管庫及び第２保管庫の一態様では、前記外内移動手段は、前記入出庫ポートに設けられている。

この態様によれば、外内移動手段は、例えば荷を入出庫ポートに代わってその底側から支持する支持部と、該支持部を水平移動させるロボットアーム等の移動機構とを備える。或いは、ローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構により、入出庫ポート及び一の載置部間で荷を移動する機構を備えてもよい。外内移動手段は、例えばこれらの機構により、入出庫ポート及び一の載置部間で支持部を水平移動させることで、荷を水平移動することができる。

本発明の第１保管庫及び第２保管庫の他の態様では、前記外内移動手段は、前記一の載置部に設けられている。

この態様によれば、外内移動手段は、例えば荷を入出庫ポートに代わってその底側から支持する支持部と、該支持部を水平移動させるロボットアーム等の移動機構とを備える。外内移動手段は、例えばこの移動機構により、入出庫ポート及び一の載置部間で支持部を水平移動させることで、荷を水平移動することができる。また、外内移動手が一の載置部（即ち、本体部）に設けられると、入出庫ポートが軽量化されるので、外内移動手段が入出庫ポートに設けられる場合よりも、入出庫ポートの上下移動速度を増速することができる。よって、入出庫ポートにおける入庫時間及び出庫時間をより短縮することができる。

本発明の第１保管庫及び第２保管庫の他の態様では、前記入出庫ポートは、前記本体部外にて、前記出入口に対向する位置を越えて上下移動可能であり、前記上下移動手段は、前記入出庫ポートを、前記出入口に対向する位置を越えて上下移動させ、前記出入口に対向する位置を越えて移動された際における前記入出庫ポートと前記本体部外に設けられた経路との間で、前記荷を移載可能なように、前記入出庫ポート及び前記経路は、構成されている。

この態様によれば、経路は、例えばコンベアにより搬送される荷の移動経路であり、入出庫ポートの下方を通過するように設定されている。例えば経路における該下方に対応する部分（以下、「経路部分」と言う）、及び入出庫ポートは、荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。上下移動手段は、例えば入出庫ポートを、経路部分を介してその上方及び下方間で移動させることで、入出庫ポート及び経路間で荷を移載する。

例えば経路から入出庫ポートへの移載時には、上下移動手段により、入出庫ポートが経路の下方へ移動される。次に、経路上を搬送される荷が、入出庫ポートの下方に位置する経路部分まで搬送される。次に、上下移動手段により、入出庫ポートが、経路部分を介して経路部分の鉛直位置より高くなるまで移動されることで、経路部分上の荷が、経路部分に代わって、入出庫ポートに支持（即ち、移載）される。

入出庫ポートから経路への移載時には、上下移動手段により、荷を載置した状態にある入出庫ポートが、荷を支持していない状態にある経路部分を介して、該経路部分の鉛直位置より低くなるまで移動される。これにより、入出庫ポート上の荷が、入出庫ポートに代わって、経路部分に支持（即ち、移載）される。

以上のような移載動作により、保管庫の下方にある空間を搬送用やバッファ用に利用しつつ、入出庫ポート及び経路間で荷が迅速に移載されるので、経路上を搬送される荷について、効率良く入出庫することができる。

この態様では、前記経路は、前記本体部の側壁に沿って延びており、前記出入口は、前記鉛直方向に並ぶ配列が前記側壁に所定の水平距離を隔てて複数存在するように、前記複数段の各々に複数ずつ設けられており、前記上下移動手段は、前記複数存在する配列に対応して複数設けられてもよい。

このように構成すれば、複数段の各々に出入口が複数設けられ、出入口の配列に対応して上下移動手段が複数設けられている場合に、例えば該出入口に沿って入出庫ポートが複数備えられる。具体的には、複数の入出庫ポートのうち少なくとも１つの入出庫ポートを、入庫専用のポートとして、該入庫専用のポートを除いた複数の入出庫ポートのうち少なくとも１つの入出庫ポートを、出庫専用のポートとして機能させれば、荷を搬送してきた入庫専用のポートに移載した直後の搬送車に対して、出庫専用のポートから荷を移載することが可能となる。従って、搬送車による搬送効率が高められる。同時に、保管庫内における荷の搬送距離を短くすることも可能となり、複数段の各々において、保管庫内搬送時間が短縮される。また、複数の入出庫ポート、及び経路間で、複数の荷が同時期に移載される。よって、多数の荷を、同時期に効率良く入出庫することができる。

本発明の第１搬送システムは上記課題を解決するために、前記経路との間で前記荷を移載可能である保管庫と、前記経路と、前記経路上で前記荷を搬送する搬送手段とを備え、前記入出庫ポートは、前記荷をその底側から支持可能な第１支持部を有し、前記経路及び前記搬送手段の少なくとも一方には、該少なくとも一方における前記荷を支持するための第２支持部に、該第２支持部の下方まで、前記第１支持部が移動するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、前記上下移動手段は、前記第２支持部の上方から下方まで前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第１支持部から第２支持部へ移載し、前記第２支持部の下方から上方へ前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第２支持部から第１支持部へ移載する。

本発明の第１搬送システムによれば、例えば半導体素子製造の工場等内に敷設された経路と、該経路に沿って設置された製造装置やストッカ等との間で、荷を移載可能である。

本発明の第１搬送システムは、例えばＤＬＴ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｌｏａｄ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）であり、上述した第１又は第２保管庫と、経路と、搬送手段とを備える。第１又は第２保管庫における入出庫ポートは、第１支持部を有する。経路は、例えば搬送手段により搬送される荷の移動経路である。搬送手段は、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構であり、経路上で荷を搬送する。該搬送手段は、口又は切れ込みが設けられた第２支持部を有する。例えば第１及び第２支持部は、荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。上下移動手段は、例えば第１支持部を、口又は切れ込みを介して第２支持部の上方及び下方間で移動させることで、第１及び第２支持部間で荷を移載する。

例えば第２支持部から第１支持部への移載時には、上下移動手段により、第１支持部が第２支持部の下方へ移動される。次に、搬送手段により、経路上を搬送される荷が、第１支持部（即ち、入出庫ポート）の下方に位置する第２支持部まで搬送される。次に、上下移動手段により、第１支持部が、口又は切れ込みを介して第２支持部の鉛直位置より高くなるまで移動されることで、第２支持部上の荷が、第２支持部に代わって、第１支持部に支持（即ち、移載）される。

第１支持部から第２支持部への移載時には、上下移動手段により、荷を支持した状態にある第１支持部が、荷を支持していない状態にある第２支持部の口又は切れ込みを介して、該第２支持部の鉛直位置より低くなるまで移動される。これにより、第１支持部上の荷が、第１支持部に代わって、第２支持部に支持（即ち、移載）される。このように、第１及び第２支持部間で、荷の移載が迅速に行われる。

以上のような移載動作により、第１及び第２支持部間で、荷が迅速に移載されるので、経路上を搬送される荷について、効率良く入出庫することができる。

尚、本発明の第１搬送システムは、第１又は第２保管庫を備えるが、第１又は第２保管庫の代わりに、製造装置等の処理装置を適用してもよい。

本発明の第２搬送システムは上記課題を解決するために、荷を出し入れ可能な出入口が設けられている本体部と、該本体部内に配置されており、前記荷を夫々収容又は載置可能である複数の載置部と、前記本体部外にて、前記出入口に対向する位置を越えて上下移動可能な入出庫ポートと、前記入出庫ポートを前記出入口に対向する位置を越えて上下移動させる上下移動手段と前記本体部外に設けられた経路と、前記経路上で前記荷を搬送する搬送手段とを備え、前記入出庫ポートは、前記荷をその底側から支持可能な第１支持部を有し、前記経路及び前記搬送手段の少なくとも一方には、該少なくとも一方における前記荷を支持するための第２支持部に、該第２支持部の下方まで、前記第１支持部が移動するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、前記上下移動手段は、前記第２支持部の上方から下方まで前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第１支持部から第２支持部へ移載し、前記第２支持部の下方から上方へ前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第２支持部から第１支持部へ移載する。

本発明の第２搬送システムによれば、上述した本発明の第１搬送システムと同様に、ＤＬＴ方式によって、即ち第１及び第２支持部間で、荷が迅速に移載されるので、経路上を搬送される荷について、効率良く入出庫することができる。

本発明の第１及び第２搬送システムの他の態様によれば、前記搬送手段は、前記第２支持部として前記経路に沿って移動させる際に駆動される複数のローラを有する。

この態様によれば、搬送手段は、例えば、ローラコンベアであり、第２支持部として、複数のローラを備える。具体的には、口又は切れ込みに係らない経路には、第２支持部として、荷の全底面（即ち、中央寄り部分及び周辺寄り部分）を支持するための第１ローラが複数配置されている。口又は切れ込みに係る経路において、荷の搬送方向における、口又は切れ込みの両側には、第２支持部として、荷の底面における周辺寄り部分を支持するための一対の第２ローラが複数配置されている。各第１ローラの幅は、経路に配置されている一対の第２ローラの各々の幅と一致する。このような一対の第２ローラを備えることで、比較的簡単な構成により、入出庫ポート（即ち、第１支持部）及び経路（即ち、第２支持部）間におけるＤＬＴ方式の移載機構を備えることができる。

尚、本発明の第１及び第２搬送システムにおいても、上述した本発明の第１及び第２保管庫における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞

第１実施形態に係る保管庫の構成について図１から図５を参照して説明する。

先ず、第１実施形態に係る保管庫を有する搬送システムの概要について図１を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す。

図１において、搬送システム１００は、レール１、ビークル２、ストッカ１０、及びコントローラ２０１を備える。レール１は、ビークル２が走行するための軌道の役割を果たす。コントローラ２０１は、制御手段の一例としてプロセッサ、メモリ等を含んで構成され且つ搬送システム１００の各部と接続されており、半導体素子製造工程にて、ビークル２による及びストッカ１０内外におけるＦＯＵＰ３の搬送や移載を、後に詳述するように管理又は制御する。

ビークル２は、「搬送車」の一例として、例えばリニアモータにより駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）であり、ストッカ１０や図示しない製造装置、ＯＨＴバッファ、大型ストッカ等に、ＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル２は、ホイスト機構２ａを有し、ＦＯＵＰ３を保持可能であると共に、保持しているＦＯＵＰ３を昇降可能である。

ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、内部に、不図示の各種基板を複数収納可能である。ＦＯＵＰ３は、上面に、ホイスト機構２ａにより保持される鍔部４を有し、底面に、後述の位置決めピン１１ａに係合される不図示の凹部を有する。

ストッカ１０は、本体部１０ａと、入出庫ポートＰ１及びＰ２と、昇降機構１２と、保管庫内搬送部２０と、スライド機構１６とを備える。

図２は、図１の保管庫の正面を図式的に示す。図２において、本体部１０ａは、４つの段Ｆ１〜Ｆ４に鉛直方向に均等に分断されており、各段において、レール１に沿った側面（即ち、図１における前面）に、複数の開口Ｈ１及びＨ２を設けている。図２において、各開口Ｈ１及びＨ２は、本発明に係る「出入口」の一例として、ＦＯＵＰ３を本体部１０ａの外内に出し入れ可能なサイズに形成されている。各々４つの開口Ｈ１及びＨ２は、所定の水平距離を隔てて鉛直方向に並ぶ配列を成しており、４つの開口Ｈ１が同一鉛直方向Ｇ１に沿って並んでおり、４つの開口Ｈ２が同一鉛直方向Ｇ２に沿って並んでいる。図３は、図１の保管庫の上面を図式的に示す。図３において、開口Ｈ１及びＨ２は、レール１（即ち、図３における一点鎖線Ｒ１）に沿って並んでいる。

図２及び図３に示すように、本実施形態では、ストッカ１０は、２つの入出庫ポートＰ１及びＰ２を備えている。２つの入出庫ポートＰ１及びＰ２について、ビークル２における走行方向の上流側に入出庫ポートＰ１が設置され、その下流側に所定の水平距離隔てて入出庫ポートＰ２が設置されている。各入出庫ポートＰ１及びＰ２は、４つの段Ｆ１〜Ｆ４に共通のポートである。本体部１０ａの外側において、入出庫ポートＰ１は、４つの開口Ｈ１に沿って上下移動され、入出庫ポートＰ２は、４つの開口Ｈ２に沿って上下移動される。各入出庫ポートＰ１及びＰ２は、中央部に、ビークル２からＦＯＵＰ３が移載される移載面１１を設定している。移載面１１には、位置決めピン１１ａが取り付けられている。位置決めピン１１ａは、入出庫されるＦＯＵＰ３の凹部に係合される。

昇降機構１２は、本発明に係る「上下移動手段」の一例として、開口Ｈ１及びＨ２による配列に対応して、複数設けられている。昇降機構１２は、各入出庫ポートＰ１及びＰ２に対して、例えば一対のレール１３と、支持部１４と、不図示のアクチュエータとを備える。一対のレール１３は、本体部１０ａの外壁（即ち、図１における正面）において、４つの開口Ｈ１又はＨ２の両側に、その長手方向が鉛直方向と平行になるように取り付けられている。支持部１４は、入出庫ポートＰ１又はＰ２における移載面１１を支持する。支持部１４の一端部は、一対のレール１３に嵌合されている。昇降機構１２は、アクチュエータを駆動して、支持部１４を一対のレール１３に沿って上下移動させることで、各入出庫ポートＰ１及びＰ２を、後述の第１載置部２１ａ又は２１ｄに対向する位置に独立して移動させる。

保管庫内搬送部２０は、本体部１０ａ内に、複数の載置部２１を備えており、複数の載置部２１を総括的に制御して、各段Ｆ１〜Ｆ４において、複数のＦＯＵＰ３を独立して搬送する、即ち、保管庫内搬送する。本実施形態では、２つの入出庫ポートＰ１及びＰ２が備えられており、各段Ｆ１〜Ｆ４における複数の載置部２１について、２つの第１載置部２１ａ及び２１ｄが設定されている。

図３において、スライド機構１６は、本発明に係る「外内移動手段」の一例として、各入出庫ポートＰ１及びＰ２に備えられている。スライド機構１６は、各入出庫ポートＰ１及びＰ２に対して、不図示の一対のローラと、輪状の回動帯と、アクチュエータとを備える。一対のローラは、輪状の回動帯を取り巻くように構成されている。輪状の回動帯の一部は、入出庫ポートＰ１又はＰ２における移載面１１として機能する。スライド機構１６は、アクチュエータを駆動して一対のローラを回転させ、輪状の回動帯を回動させる。この回動により、スライド機構１６は、開口Ｈ１又はＨ２に隣接する第１載置部２１ａ又は２１ｄと、その第１載置部２１ａ又は２１ｄに対向する位置にある入出庫ポートＰ１又はＰ２との間で、ＦＯＵＰ３を水平移動させる。

スライド機構１６による水平移動について、具体的には、ＦＯＵＰ３を入出庫ポートＰ１又はＰ２から第１載置部２１ａ又は２１ｄへ移動させる場合に、アクチュエータは、一対のローラを所定角度右回転させる。この回動に伴って、回動帯が所定距離右回動されると、移載面１１として機能する回動帯部分が、開口Ｈ１又はＨ２側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ２が示す箇所）に順に引き込まれ、入出庫ポートＰ１又はＰ２の下方へ配置される。これにより、移載面１１（即ち、入出庫ポートＰ１又はＰ２）上のＦＯＵＰ３が開口Ｈ１又はＨ２を介して第１載置部２１ａ又は２１ｄへ水平移動され、第１載置部２１ａ又は２１ｄに収容又は載置される。また、ＦＯＵＰ３を第１載置部２１ａ又は２１ｄから入出庫ポートＰ１又はＰ２へ移動させる場合に、アクチュエータは、第１載置部２１ａ又は２１ｄからのＦＯＵＰ３の移動に併せて、一対のローラを所定角度左回転させる。この回動に伴って、回動帯が所定距離左回動されると、移載面１１として機能する回動帯部分が、開口Ｈ１又はＨ２側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ２が示す箇所）から順に引き出され、入出庫ポートＰ１又はＰ２の上面中央部へ配置される。これにより、第１載置部２１ａ又は２１ｄからのＦＯＵＰ３が開口Ｈ１又はＨ２を介して移載面１１（即ち、入出庫ポートＰ１又はＰ２）へ水平移動され、入出庫ポートＰ１又はＰ２に載置される。この載置状態として、ＦＯＵＰ３の凹部が移載面１１の位置決めピン１１ａに係合されている。

次に、保管庫内搬送部２０の構成について図４及び図５を参照して詳しく説明する。図４は、第１実施形態に係る複数の載置部の配列を示し、図５は、図４の複数の載置部の回転後の状態を示す。図４及び図５は、具体的には、図２におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の最上段Ｆ１に配列される８つの載置部２１を示している。

図４において、保管庫内搬送部２０は、複数の載置部２１により、ＦＯＵＰ３を搬送方向Ｄ３へ水平移動させることで、各階Ｆ１〜Ｆ４において独立して保管庫内搬送を行う。載置部２１は、各階Ｆ１〜Ｆ４において、水平二方向（即ち、図４における左右方向及び上下方向）に広がるように、８つ配列されている。８つの載置部２１は、本体部１０ａ内の四隅に配置されている、２つの第１載置部２１ａ及び２１ｄを含む４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄと、これら回転載置部２１ａ〜２１ｄより他の４つの無回転載置部２１ｅ〜２１ｈとから構成される。

８つの載置部２１の各々は、複数のローラ２３と、不図示のアクチュエータとを有し、８つの載置部２１間でＦＯＵＰ３を水平移動する。複数のローラ２３は、不図示のアクチュエータにより回転される。各ローラ２３の上面は、ＦＯＵＰ３が収容又は載置される載置面として機能する。ＦＯＵＰ３の水平移動について、具体的には、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｅに収容又は載置されている場合に、載置部２１ｅにおける複数のローラ２３が右回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｅの右隣りの載置部２１ｆへ水平移動される。また、この場合に、載置部２１ｅにおける複数のローラ２３が左回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｅの左隣りの載置部２１ｂへ水平移動される。尚、各載置部２１は、複数のローラ２３の代わりに、ベルトコンベアを備えてもよい。例えば、この場合に、ベルトが掛けられたローラが右回転されると、ベルト上に載置されたＦＯＵＰ３が右隣りの載置部へ水平移動され、そのローラが左回転されると、ベルト上のＦＯＵＰ３が左隣りの載置部へ水平移動される。

４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄの各々は更に、ターンテーブル２４と、不図示のアクチュエータとを有し、ＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢を９０度回転させる。ターンテーブル２４は、複数のローラ２３の下方に配置されており、複数のローラ２３における不図示の軸受けに接続されている。ターンテーブル２４は、アクチュエータにより水平面内で９０度回転され、複数のローラ２３を水平面内で９０度回転させる。ＦＯＵＰ３の回転について、具体的には、図４の状態にある４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄにおいて、ターンテーブル２４が９０度右回転されると、図５に示すように、複数のローラ２３が一体となって９０度右回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｄに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度右回転される。また、ターンテーブル２４が９０度左回転されると、図５に示すように、複数のローラ２３が一体となって９０度左回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｄに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度左回転される。
（搬送車及び保管庫間の入出庫動作）

次に、本実施形態に係る保管庫の入庫動作及び出庫動作ついて引き続き図１及び図４を参照して説明する。尚、以下の説明において、初期設定として、入出庫ポートＰ１が入庫専用のポートとして機能し、入出庫ポートＰ２が出庫専用のポートとして機能するように設定されている。

図１において、ビークル２からストッカ１０への入庫時には、先ず、ＦＯＵＰ３を保持しているビークル２が、走行方向Ｄ１へ走行され、入庫対象である入出庫ポートＰ１に対応する位置で停止される。すると、コントローラ２０１により、ＦＯＵＰ３を保持しているビークル２の到着が検知され、昇降機構１２により、入出庫ポートＰ１が、入庫すべき段へＦＯＵＰ３を水平移動可能な高さに移動される。入庫すべき段が最上段Ｆ１である場合に、入出庫ポートＰ１が最上段Ｆ１における開口Ｈ１に隣接する第１載置部２１ａに対応する位置に移動される。この後、ビークル２におけるホイスト機構２ａにより、入庫すべきＦＯＵＰ３が下降され、入出庫ポートＰ１における移載面１１に移載（即ち、入庫）される。この際、位置決めピン１１ａがＦＯＵＰ３の凹部に係合される。

ＦＯＵＰ３が入庫されると、スライド機構１６により、移載面１１が回動され、移載面１１上のＦＯＵＰ３が開口Ｈ１を介して第１載置部２１ａに載置される。この後、保管庫内搬送部２０により、第１載置部２１ａ上のＦＯＵＰ３が、所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。

図４において、第１載置部２１ａから最も遠い載置部である回転載置部２１ｃを、所望の載置部とする。この場合、保管庫内搬送部２０により、ＦＯＵＰ３の収納又は載置状況等に基づいて、第１載置部２１ａから回転載置部２１ｃまでの搬送経路が設定される。設定された搬送経路が、第１載置部２１ａから、回転載置部２１ｂ、無回転載置部２１ｅ及び無回転載置部２１ｆを介して回転載置部２１ｃに達する経路である場合に、これらの載置部２１ａ，２１ｂ，２１ｅ，２１ｆの各々における複数のローラ２３が、回転載置部２１ｃから遠い順に回転される。但し、回転載置部２１ｂ及び回転載置部２１ｃの各々において、第１載置部２１ａ又は無回転載置部２１ｆからＦＯＵＰ３が移動されるよりも前に、ＦＯＵＰ３の移動方向と、複数のローラ２３の回転方向とが一致するように、ターンテーブル２４により複数のローラ２３が一体に水平面内で９０度回転される。更に、回転載置部２１ｂにおける複数のローラ２３が回転されるよりも前に、ＦＯＵＰ３における移動方向の前面が、搬送経路の下流にある無回転載置部２１ｅ側へ向けられるように、ターンテーブル２４により複数のローラ２３が一体に水平面内で９０度回転され、ＦＯＵＰ３の姿勢が水平面内で９０度回転される。これにより、入庫されたＦＯＵＰ３が所望の載置部２１ｃへ移動され、所望の載置部２１ｃに所定姿勢で収納又は載置される。これにより、一連の入庫動作が終了される。

ストッカ１０からビークル２への出庫時には、先ず、入庫を終えた空荷のビークル２が、更に走行方向Ｄ１の下流へ走行され、出庫対象である入出庫ポートＰ２に対応する位置で停止される。すると、入庫時と同様にして、コントローラ２０１により、空荷のビークル２の到着が検知され、昇降機構１２により、入出庫ポートＰ２が、出庫すべき段から水平移動されるＦＯＵＰ３を載置可能な高さに移動される。出庫すべき段が上から３段目の第３段Ｆ３である場合に、入出庫ポートＰ２が第３段Ｆ３における開口Ｈ２に隣接する第１載置部２１ｄに対応する位置に移動される。この移動に並行又は相前後して、保管庫内搬送部２０により、いずれかの載置部２１に収容又は載置されている出庫すべきＦＯＵＰ３が、第１載置部２１ｄへ移動（即ち、保管庫内搬送）される。

出庫すべきＦＯＵＰ３が収容又は載置されている載置部２１を回転載置部２１ｂとする。この場合、保管庫内搬送部２０により、ＦＯＵＰ３の収納又は載置状況等に基づいて、回転載置部２１ｂから、開口Ｈ２に隣接する第１載置部２１ｄまでの搬送経路が設定される。設定された搬送経路が、回転載置部２１ｂから、回転載置部（第１載置部）２１ａ、無回転載置部２１ｈ及び無回転載置部２１ｇを介して第１載置部２１ｄに達する経路である場合に、これらの載置部２１ｂ，２１ａ，２１ｈ，２１ｇの各々における複数のローラ２３が、第１載置部２１ｄから遠い順に回転される。但し、回転載置部２１ａ及び第１載置部２１ｄの各々において、回転載置部２１ｃ又は無回転載置部２１ｇからＦＯＵＰ３が移動されるよりも前に、ＦＯＵＰ３の移動方向と、複数のローラ２３の回転方向とが一致するように、ターンテーブル２４により複数のローラ２３が一体に９０度回転される。更に、回転載置部２１ａ及び第１載置部２１ｄの各々における複数のローラ２３が回転されるよりも前に、ＦＯＵＰ３における移動方向の前面が、搬送経路の下流にある無回転載置部２１ｈ又は入出庫ポートＰ２側へ向けられるように、ターンテーブル２４により複数のローラ２３が一体に９０度回転され、ＦＯＵＰ３の姿勢が９０度回転される。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３が第１載置部２１ｄへ移動され、第１載置部２１ｄに所定姿勢で収納又は載置される。すると、第１載置部２１ｄにおける複数のローラ２３が入出庫ポートＰ２側へ回転され、第１載置面２１ｄ上のＦＯＵＰ３が入出庫ポートＰ２における移載面１１に移動される。この際、第１載置部２１ｄにおける複数のローラ２３の回転に同期して、スライド機構１６により移載面１１が回動され、第１載置部２１ｄからのＦＯＵＰ３の凹部が位置決めピン１１ａに係合される。

この後、ビークル２におけるホイスト機構２ａにより、移載面１１上のＦＯＵＰ３が保持され、保持された状態でＦＯＵＰ３が本体部２内へ上昇される。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３がストッカ１０からビークル２へ移載（即ち、出庫）される。

このように、本実施形態のストッカ１０によれば、複数段Ｆ１〜Ｆ４に共通の入出庫ポートＰ１又はＰ２、及び各段Ｆ１〜Ｆ４における第１載置部２１ａ又は２１ｄの間でＦＯＵＰ３を水平移動させるので、入出庫ポートＰ１及びＰ２を、入庫直後及び出庫直前に空荷の状態とすることができる。また、各段Ｆ１〜Ｆ４において保管庫内搬送を独立して行うので、複数のＦＯＵＰ３を短時間で保管庫内搬送することができる。これにより、入出庫ポートＰ１及びＰ２における１つのＦＯＵＰ３に要する入庫時間及び出庫時間が短縮されると共に、保管庫内搬送時間が最短されるので、効率良くＦＯＵＰ３を入出庫することができる。

尚、本実施形態では、図１に示すように、ストッカ１０において、２つの入出庫ポートＰ１又はＰ２が備えられるが、例えばこれら入出庫ポートＰ１及びＰ２の間に、新たに２つの入出庫ポートＰ３及びＰ４が設けられる。この場合に、ビークル２によりＦＯＵＰ３を入出庫ポートＰ１へ移載し、該移載により空荷になったビークル２により入出庫ポートＰ３からＦＯＵＰ３を取り上げ、後続のビークル２によりＦＯＵＰ３を入出庫ポートＰ４へ移載し、該移載により空荷になった後続のビークル２により入出庫ポートＰ２からＦＯＵＰ３を取り上げるようにする等、より上流でＦＯＵＰ３を入出庫ポートへ降ろすと共に、その降ろした状態（即ち、空荷の状態）でより下流の入出庫ポートでＦＯＵＰ３を取り上げる。このような搬送及び運行制御を行えば、限られたビークル２を利用しての効率的な入出庫が可能となる。

尚、本実施形態では、四隅に配置されている４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄが、ターンテーブル２４を備えるが、８つの全ての載置部２１がターンテーブル２４を備えてもよい。

図６は、保管庫内搬送部１２０が備える複数の載置部１２１の配列を示す断面図である。図６において、保管庫内搬送部１２０は、ターンテーブル１２４を有する８つの載置部１２１を備える。図４に示される無回転載置部２１ｅ〜２１ｈが一方向へのみＦＯＵＰ３を移動するのに対し、これら無回転載置部２１ｅ〜２１ｈに対応する載置部１２１ｅ〜１２１ｈは、ターンテーブル１２４の回転により二方向へＦＯＵＰ３を移動することができる。保管庫内搬送部１２０は、例えば開口Ｈ１１に隣接する第１載置部１２１ａから所望の載置部１２１ｇへＦＯＵＰ３を移動する。この際、第１載置部１２１ａと所望の載置部１２１ｇとの間にある載置部１２１ｈに、既に他のＦＯＵＰ３が載置されている場合に、最短の搬送経路として、矢印Ｄ４が示す搬送経路を設定する。設定された搬送経路は、第１載置部１２１ａから、載置部１２１ｂ、載置部１２１ｅ及び載置部１２１ｆを介して所望の載置部１２１ｇに達する経路であり、保管庫内搬送の搬送時間をより短縮することができる。

尚、本実施形態では、複数の載置部２１の各々が同じ面積を有しており、１つの載置部２１に１つのＦＯＵＰ３を収納又は載置可能であるが、複数の回転載置部２１ａ〜２１ｄの間に配置されている複数の無回転載置部２１ｅ〜２１ｈのうちの少なくとも２つを併せて、該面積が増大された１つの載置部を構成してもよい。

図７は、保管庫内搬送部２２０が備える複数の載置部２２１の配列を示す断面図である。図７において、保管庫内搬送部２２０は、８つのローラ２２３を有する２つの載置部２２１ｅ，２２１ｆを備える。図４に示される無回転載置部２１ｅ〜２１ｈが１つのＦＯＵＰ３を収容又は載置するのに対し、これら無回転載置部２１ｅ〜２１ｈに対応する載置部２２１ｅ，２２１ｆは、最大３つのＦＯＵＰ３を収容又は載置することができる。保管庫内搬送部２２０は、例えば第１載置部２２１ａから所望の載置部２２１ｃへＦＯＵＰ３を移動する。この場合に、最短の搬送経路として、矢印Ｄ５が示す搬送経路を設定する。設定された搬送経路は、第１載置部２２１ａから、載置部２２１ｂ及び載置部２２１ｅを介して所望の載置部２２１ｃに達する経路である。ＦＯＵＰ３が載置部２２１ｅを移動する際には、載置部２２１ｅにおける８つのローラ２２３が高速回転され、図４に示される２つの無回転載置部２１ｅ，２１ｆを移動するときよりも移動時間が短縮される。これにより、保管庫内搬送の搬送時間をより短縮することができると共に、本体部２１０ａ内に、より多くのＦＯＵＰ３を収容又は載置することができる。

尚、本実施形態では、外内移動手段としてスライド機構１６を備えるが、スライド機構１６の代わりに、第１載置部２１ａ又は２１ｄと、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間を移動する機構を備えてもよい。

図８は、ストッカ３１０が備える移載機構３３０を示す断面図である。図８において、ストッカ３１０は、第１載置部３２１ａ又は３２１ｄと、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間を移動する移載機構３３０を備える。移載機構３３０は、支持板３３１と、鉛直水平移動部３３２とを有する。支持板３３１は、ＦＯＵＰ３をその底側から支持すると共に、鉛直水平移動部３３２により、第１載置部３２１ａ又は３２１ｄと、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間で開口Ｈ３１又は３２を介して移動される。第１載置部３２１ａに移動された支持板３３１は、図８において二点鎖線で示される。第１載置部３２１ａにおける複数のローラ３２３ａは、第１載置部３２１ａ又は３２１ｄに移動された支持板３３１に接しないように配置されており、その配置及び形態は、他の載置部３２１ｂ〜３２１ｃ及び３２１ｅ〜３２１ｈにおける複数のローラ３２３のものと異なる。また、入出庫ポートＰ１又はＰ２に移動された支持板３３１は、搬送車２からＦＯＵＰ３が移載される移載面１１に対応する位置（即ち、図８における実線で示される）にある。移載機構３３０は、支持板３３１を鉛直方向及び水平方向へ移動させることで、図４に示されるスライド機構１６と同様に、第１載置部３２１ａ又は３２１ｄと、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間で開口Ｈ３１又はＨ３２を介してＦＯＵＰ３を水平移動することができる。

尚、本実施形態では、複数の載置部２１が相互間でＦＯＵＰ３を水平移動可能に構成されるが、ＦＯＵＰ３を収容又は載置する複数の載置部とは別に、複数の載置部間でＦＯＵＰ３を水平移動させる内部移動機構を備えてもよい。

図９は、保管庫内搬送部４２０が備える複数の載置部４２１及び内部移動機構４３０を示す断面図である。図９において、載置部４２１は、図４に示される複数の載置部２１と同様に、水平二方向（即ち、図９における左右方向及び上下方向）に広がるように配列された８つの載置部４２１ａ〜４２１ｈから構成されるが、図４の各載置部２１が複数のローラ２３を有するのと異なり、８つの載置部４２１ａ〜４２１ｈの各々は、ＦＯＵＰ３を収容又は載置する棚４２２を有する。この棚４２２は、ＦＯＵＰ３の両端を支持するように、２つの棚部分４２２ａから構成される。

内部移動機構４３０は、本発明に係る「内部移動手段」の一例として、例えば支持板４３１と、支持板スライド部４３２と、移動部４３３と、移動レール４３４とを有し、複数の載置部４２１間でＦＯＵＰ３を持ち上げることで、複数の載置部４２１間でのＦＯＵＰ３の水平移動を可能とする。支持板４３１は、各載置部４２１ａ〜４２１ｈにおける２つ棚部分４２２ａ間に配置可能なサイズに形成されており、水平移動する際に、棚４２２の代わりに、ＦＯＵＰ３（詳細には、ＦＯＵＰ３の中央部）をその底側から支持する。支持板スライド部４３２は、支持板４３１を水平一方向（即ち、図９における上下方向）にスライド可能であり、例えば載置部４２１ｂに配置されている支持板４３１（即ち、図９において実線で示される）を、該載置部４２１ｂの水平一方向（即ち、図９における下方向）に配置されている第１載置部４２１ａへスライド（水平移動）させ、第１載置部４２１ａに配置する（即ち、図９における二点鎖線で示される支持板４３１）。このような支持板スライド部４３２は、移動部４３３の上面に固定されている。移動部４３３は、支持板スライド部４３２のスライド方向と直交する水平一方向（即ち、図９における左右方向）に延びる移動レール４３４に沿って移動することで、支持板スライド部４３２を水平移動させる。この水平移動の際に、移動部４３４は、支持板スライド部４３２を昇降させる。具体的には、例えばいずれかの載置部４２１に収容又は載置されているＦＯＵＰ３を移動する際に、移動部４３４は、支持板４３１の高さが棚４２２よりも高くなるように、支持板スライド部４３２を上昇させる。この上昇により、載置部４２１の代わりに、支持板４３１でＦＯＵＰ３を支持する。また、支持板４３１で支持しているＦＯＵＰ３をいずれかの載置部４２１に収納又は載置する際に、移動部４３４は、支持板４３１の高さが棚４２２よりも低くなるように、支持板スライド部４３２を下降させる。この下降により、支持板４３１が支持しているＦＯＵＰ３をいずれかの載置部４２１へ移載する。

このように、支持板スライド部４３３及び移動部４３４により、支持板４３１が複数の載置部４２１ａ〜４２１ｈ間で水平移動されることで、ＦＯＵＰ３が複数の載置部４２１ａ〜４２１ｈ間で水平移動される。従って、内部移動機構４３０により、本実施形態と同様に、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。尚、第１載置部４２１ａ又は４２１ｄと、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間でＦＯＵＰ３を水平移動する手段として、ＦＯＵＰ３の上面を保持して移載するロボットアーム等の機構がある。

加えて、図１０に示すように、ストッカ１０の各段を相互から独立したストッカ要素１０ｅとして予め構築しておき、これらを所望段数だけ積み重ねて、ストッカ１０を構築することも可能である。より具体的には、図１０（ａ）のように、例えばレール１とその下方に配置される製造装置１０１との間のスペースの高さＬ１が相対的に広い場合には、ストッカ要素１０ｅ（即ち、図１０（ａ）において点線で示される）を４段重ねることで、図１に示したのと同様の４段のストッカ１０を構築できる。或いは、図１０（ｂ）のように、例えばレール１とその下方に配置される製造装置５０１との間のスペースの高さＬ２が相対的に狭い場合には、ストッカ要素１０ｅ（即ち、図１０（ｂ）において点線で示される）を２段重ねることで、２段の、即ち比較的薄型のストッカ５０を構築できる。いずれの場合にも、ストッカ要素１０ｅを大量生産しておけば、任意の高さのスペースに合った高さのストッカを簡単に構築できるので、実践上大変有利である。
＜第２実施形態＞

次に、第２実施形態に係る搬送システムの構成について図１１から図１３を参照して説明する。

先ず、第２実施形態に係る搬送システムの概要について図１１を参照して説明する。ここに図１１は、第２実施形態に係る搬送システムの外観を示す。該搬送システムは、図１に示した保管庫（即ち、ストッカ１０）と略同型の保管庫を含んでいる。第２実施形態は、保管庫について、搬送車の代わりに、後述の搬送手段との間でＦＯＵＰ３の入出庫が行われる点が、第１実施形態と異なる。尚、第２実施形態において、第１実施形態と同様に構成される要素について同一の符号を付し、その要素について説明を省略する。

図１１において、搬送システム６００は、ストッカ６０、製造装置１０１、経路７０、コンベア７１、及びコントローラ２０２を備える。経路７０は、ストッカ６０の本体部６０ａの側壁（即ち、図１１における正面）に沿って延びている。コントローラ２０２は、制御手段の一例として、プロセッサ、メモリ等を含んで構成され且つ搬送システム６００の各部と接続されており、半導体素子製造工程にて、コンベア７１による及びストッカ６０内外におけるＦＯＵＰ３の搬送や移載を管理又は制御する。本実施形態では特に、コントローラ２０２は、コンベア７１を制御して、経路７０上でＦＯＵＰ３の搬送をＤＬＴ方式で次に詳述するように行う。

ストッカ６０は、図１に示したストッカ１０と同様に、本体部６０ａと、入出庫ポートＰ１及びＰ２と、昇降機構６２と、保管庫内搬送部２０と、スライド機構１６とを備える。入出庫ポートＰ１及びＰ２は、図１に示したストッカ１０と同様に、移載面１１を有する。移載面１１は、本発明に係る「第１支持部」の一例として、ＦＯＵＰ３の底面における中央部を支持する。

昇降機構６２は、例えば一対のレール６３と、支持部６４と、不図示のアクチュエータとを備える。但し、一対のレール６３は、図１に示した一対のレール１３と異なり、開口Ｈ１又はＨ２に対向する位置を超えて経路７０の下方まで延びている。また、図１に示した支持部１４が、移載面１１の周囲を取り囲む部分を有するのに対し、支持部６４は、移載面１１を支持するための部分（即ち、移載面１１における本体部６０ａ側の端部に接続される部分）のみを有する。昇降機構６２は、アクチュエータを駆動して、支持部６４を一対のレール６３に沿って上下移動させる。昇降機構６２は、この上下移動により、移載面１１を、後述のコンベア部分７２を介して、該コンベア部分７２の上方及び下方間で移動させる。

製造装置１０１は、本体部１０１ａと、入出庫ポートＰ３と、昇降機構６２と、スライド機構１６とを備えており、本体部１０１ａ内のＦＯＵＰ３に対して半導体素子製造に係る所定処理を行う。昇降機構６２及びスライド機構１６は、上述したストッカ６０が備えるものと同等のものであり、入出庫ポートＰ３における移載面１１を、開口Ｈ３に対向する位置から、後述のコンベア部分７２の下方まで移動可能である。

コンベア７１は、本発明に係る「搬送手段」の一例として、複数のコンベア部分７２と、不図示の、一対の支持壁と、アクチュエータとを備える。複数のコンベア部分７２は、一対の支持壁の内側に、経路７０（図１１において一点鎖線で示す）に沿って且つ経路７０の両側に対を成すように取り付けられている。複数のコンベア部分７２の各々は、例えばキャタピラー（登録商標）式コンベアであり、本発明に係る「第２支持部」の一例として、ＦＯＵＰ３の底面における両端部（即ち、経路７０に対する左右端部）を支持する。経路７０の両側に位置する一対のコンベア部分７２の各々は、ＦＯＵＰ３を１つ載置可能に夫々構成されている。コンベア７１は、アクチュエータの駆動により、ＦＯＵＰ３が載置されている一対のコンベア部分７２を同時に回動させることで、ＦＯＵＰ３を搬送方向Ｄ６へ搬送する。

図１２は、図１１の保管庫の上面を図式的に示す。図１２において、複数のコンベア部分７２は、本実施形態では、経路７０に沿った長さが異なる、第１コンベア部分７２ａと、第２コンベア部分７２ｂとから構成される。コンベア７１において、例えば入出庫ポートＰ１の鉛直方向に対応するエリアＡ１（即ち、図１２において一点鎖線で示す）には、１つの第１コンベア部分７２ａと、２つの第２コンベア部分７２ｂとが掛かっている。これら２つの第２コンベア部分７２ｂは、その間に貫通口Ｃ１（即ち、図１２におけるエリアＡ１内に一点鎖線で示す）を設けて、不図示の支持壁に取り付けられている。貫通口Ｃ１は、本発明に係る「口又は切れ込み」の一例として、入出庫ポートＰ１（言い換えれば、移載面１１）が第２コンベア部分７２を貫通するための開口である。昇降機構６２は、この貫通口Ｃ１を介して、移載面１１を、エリアＡ１におけるコンベア部分７２（即ち、第１コンベア部分７２ａ及び２つの第２コンベア部分７２ｂ）の上方及び下方間で移動させる。尚、コンベア７１について、入出庫ポートＰ１と同様に、入出庫ポートＰ２及びＰ３についても、これら入出庫ポートＰ２及びＰ３に対応するコンベア部分７２が構成されている。

次に、ＦＯＵＰ３の移載について図１２及び図１３を参照して説明する。図１３は、図１１の保管庫の一側面（即ち、図１１における右側面）を図式的に示す。図１３において、コンベア７１から入出庫ポート（即ち、入出庫ポートＰ１又はＰ２又はＰ３）へＦＯＵＰ３を移載する際に、昇降機構６２は、移載面１１をコンベア部分７２の下方から上方へ移動させる。この際、移載面１１が、第１コンベア部分７２ａ及び第２コンベア部分７２ｂ間に入り込み、昇降機構６２における支持部６４が、２つの第２コンベア部分７２ｂ間に入り込む。続いて、移載面１１が更に上方へ移動され、第１コンベア部分７２ａ及び第２コンベア部分７２ｂに支持されていないＦＯＵＰ３の中央部が、移載面１１に支持されることで、ＦＯＵＰ３がコンベア部分７２（即ち、コンベア７１）から移載面１１（即ち、入出庫ポート）に移載される。

入出庫ポートからコンベア７１へＦＯＵＰ３を移載する際に、昇降機構６２は、ＦＯＵＰ３を支持している移載面１１を、コンベア部分７２の上方から下方まで移動させる。この際、ＦＯＵＰ３の中央部を支持している移載面１１が、第１コンベア部分７２ａ及び第２コンベア部分７２ｂ間に入り込み、昇降機構６２における支持部６４が、２つの第２コンベア部分７２ｂ間に入り込む。続いて、移載面１１が更に下方へ移動され、移載面１１に支持されていないＦＯＵＰ３の両端部が、第１コンベア部分７２ａ及び第２コンベア部分７２ｂに支持されることで、ＦＯＵＰ３が移載面１１（即ち、入出庫ポート）からコンベア部分７２（即ち、コンベア７１）に移載される。
（搬送手段及び保管庫間の入出庫動作）

次に、本実施形態に係る搬送システムにおける、搬送手段及び保管庫間の入出庫動作ついて図１１及び図１２を参照して説明する。尚、以下の説明において、図１に示したストッカ１０と同様に、初期設定として、入出庫ポートＰ１が入庫専用のポートとして機能し、入出庫ポートＰ２が出庫専用のポートとして機能するように設定されている。

図１１において、コンベア７１からストッカ６０への入庫時には、先ず、コントローラ２０２により、経路７０におけるエリアＡ１（即ち、図１２において一点鎖線で示す）よりも上流側にて、入出庫ポートＰ１に入庫すべきＦＯＵＰ３が検出される。この場合に、入庫すべきＦＯＵＰ３がエリアＡ１に載置されるよりも前に、昇降機構６２により、入出庫ポートＰ１における移載面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分７２の下方に移動される。この後、コンベア７１により、入庫すべきＦＯＵＰ３がエリアＡ１に載置される。すると、昇降機構６２により、移載面１１が貫通口Ｃ１を介してコンベア部分７２の上方に移動され、入庫すべきＦＯＵＰ３がコンベア部分７２から移載面１１へ移載（即ち、入庫）される。続いて、ＦＯＵＰ３を入庫すべき段が最上段Ｆ１である場合に、昇降機構６２により、移載面１１が最上段Ｆ１に対応する位置に移動される。この後、スライド機構１６により、移載面１１が回動され、移載面１１上のＦＯＵＰ３が開口Ｈ１を介して第１載置部２１ａに載置される。この後、保管庫内搬送部２０により、第１載置部２１ａ上のＦＯＵＰ３が、所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。これにより、一連の入庫動作が終了される。

ストッカ６０からコンベア７１への出庫時には、先ず、保管庫内搬送部２０により、所望の載置部上のＦＯＵＰ３が、第１載置部２１ｄに移動（即ち、保管庫内搬送）される。この移動に並行又は相前後して、昇降機構１２により、入出庫ポートＰ２における移載面１１が出庫すべき段に対応する位置に移動される。すると、保管庫内搬送部２０により、ＦＯＵＰ３が第１載置部２１ｄから移載面１１へ水平移動され、出庫すべきＦＯＵＰ３が移載面１１に載置される。この後、コントローラ２０２により、コンベア７１において、入出庫ポートＰ２の鉛直方向に対応するエリアＡ２（即ち、図１２において一点鎖線で示す）に、ＦＯＵＰ３が無いことが検出される。すると、昇降機構６２により、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置している移載面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分７２の下方に移動され、出庫すべきＦＯＵＰ３が移載面１１からコンベア部分７２へ移載（即ち、出庫）される。すると、コンベア７１により、出庫すべきＦＯＵＰ３が経路７０の下流側へ搬送される。この後、ＦＯＵＰ３がエリアＡ２を搬送される時期を避けて、昇降機構６２により、移載面１１が貫通口Ｃ１を介してコンベア部分７２の上方に移動される。これにより、一連の出庫動作が終了される。

このように、本実施形態の搬送システム６００によれば、移載面１１が、貫通口Ｃ１を介してコンベア部分７２の上方及び下方間で移動される。これにより、移載面１１及びコンベア部分７２間で、ＦＯＵＰ３が迅速に移載されるので、経路７０上を搬送されるＦＯＵＰ３について、効率良く入出庫することができる。

尚、本実施形態では、コンベア７１は、複数のコンベア部分７２から構成されるが、複数のコンベア部分７２の代わりに、複数のローラを備えてもよい。

図１４は、図１２と同趣旨の図であり、図１２に示したコンベア７１の変形例であるコンベア７７１の上面を図式的に示す。図１４において、コンベア７７１は、複数のローラ７７２と、アクチュエータとを備える。コンベア７７１は、アクチュエータの駆動により、ＦＯＵＰ３が載置されている複数のローラ７７２を回転させることで、ＦＯＵＰ３を搬送方向Ｄ７へ搬送する。

複数のローラ７７２は、経路７０に沿って設置されており、幅の長さが異なる、第１ローラ７７２ａと、第２ローラ７７２ｂとから構成される。図１４に示すように、コンベア７７１において、例えば入出庫ポートＰ１の鉛直方向に対応するエリアＡ１１（即ち、図１４において一点鎖線で示す）には、５つの第２ローラ７７２ｂが掛かっている。これら５つの第２ローラ７７２ｂは、貫通口Ｃ１１（即ち、図１４におけるエリアＡ１１内に一点鎖線で示す）を取り巻くように、設置されている。貫通口Ｃ１１は、本発明に係る「口又は切れ込み」の一例として、入出庫ポートＰ１（言い換えれば、移載面１１）が第２ローラ７７２ｂを貫通するための開口である。昇降機構６２は、この貫通口Ｃ１１を介して、移載面１１を、エリアＡ１１における複数のローラ７７２（即ち、５つの第２ローラ７７２ｂ）の上方及び下方間で移動させる。

このようなコンベア７７１を備える搬送システム７００は、図１１に示した搬送システム６００と同様に、移載面１１が、貫通口Ｃ１１を介して複数のローラ７７２の上方及び下方間で移動されることで、入出庫ポート及びコンベア７７２間で、ＦＯＵＰ３が迅速に移載されるので、経路７０上を搬送されるＦＯＵＰ３について、効率良く入出庫することができる。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う保管庫及び搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 図１の保管庫の正面を図式的に示す正面図である。 図１の保管庫を上面側から視た上面図である。 第１実施形態に係る複数の載置部の配列を示す断面図である。 図４の複数の載置部の回転後の状態を示す断面図である。 図４の複数の載置部の変形例を示す断面図である。 図４の複数の載置部の変形例を示す断面図である。 図４の外内移動手段の変形例を示す断面図である。 本発明に係る複数の載置部の一例を示す断面図である。 本発明に係る保管庫を複数積み重ねてなる保管庫セットの外観を示す斜視図である。 第２実施形態に係る搬送システムの外観を示す斜視図である。 図１１の保管庫を上面側から視た上面図である。 図１１の保管庫の側面を図式的に示す側面図である。 第２実施形態に係る搬送システムの変形例を上面側から視た上面図である。

符号の説明

１…レール、２…ビークル（天井走行車）、３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ストッカ（保管庫）、１２…昇降機構、１６…スライド機構、２１…載置部、１００…搬送システム

Claims (9)

1. 内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に前記鉛直方向に並ぶように設けられている本体部と、
   該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で前記荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部と、
   前記本体部外にて、前記複数段の各々における前記出入口に沿って上下移動可能な前記複数段に共通の入出庫ポートと、
   前記入出庫ポートを上下移動させる上下移動手段と、
   前記複数段の各々において前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と該一の載置部に対向する位置に移動された際における前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
   を備えることを特徴とする保管庫。
2. 内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に前記鉛直方向に並ぶように設けられている本体部と、
   該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能な複数の載置部と、
   前記本体部内で、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段と、
   前記本体部外にて、前記複数段の各々における前記出入口に沿って上下移動可能な前記複数段に共通の入出庫ポートと、
   前記入出庫ポートを上下移動させる上下移動手段と、
   前記複数段の各々において前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と該一の載置部に対向する位置に移動された際における前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
   を備えることを特徴とする保管庫。
3. 前記外内移動手段は、前記入出庫ポートに設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の保管庫。
4. 前記外内移動手段は、前記一の載置部に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の保管庫。
5. 前記入出庫ポートは、前記本体部外にて、前記出入口に対向する位置を越えて上下移動可能であり、
   前記上下移動手段は、前記入出庫ポートを、前記出入口に対向する位置を越えて上下移動させ、
   前記出入口に対向する位置を越えて移動された際における前記入出庫ポートと前記本体部外に設けられた経路との間で、前記荷を移載可能なように、前記入出庫ポート及び前記経路は、構成されている
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の保管庫。
6. 前記経路は、前記本体部の側壁に沿って延びており、
   前記出入口は、前記鉛直方向に並ぶ配列が前記側壁に所定の水平距離を隔てて複数存在するように、前記複数段の各々に複数ずつ設けられており、
   前記上下移動手段は、前記複数存在する配列に対応して複数設けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の保管庫。
7. 請求項５又は６に記載の保管庫と、
   前記経路と、
   前記経路上で前記荷を搬送する搬送手段と
   を備え、
   前記入出庫ポートは、前記荷をその底側から支持可能な第１支持部を有し、
   前記経路及び前記搬送手段の少なくとも一方には、該少なくとも一方における前記荷を支持するための第２支持部に、該第２支持部の下方まで、前記第１支持部が移動するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、
   前記上下移動手段は、前記第２支持部の上方から下方まで前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第１支持部から第２支持部へ移載し、前記第２支持部の下方から上方へ前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第２支持部から第１支持部へ移載する
   ことを特徴とする搬送システム。
8. 荷を出し入れ可能な出入口が設けられている本体部と、
   該本体部内に配置されており、前記荷を夫々収容又は載置可能である複数の載置部と、
   前記本体部外にて、前記出入口に対向する位置を越えて上下移動可能な入出庫ポートと、
   前記入出庫ポートを前記出入口に対向する位置を越えて上下移動させる上下移動手段と
   前記本体部外に設けられた経路と、
   前記経路上で前記荷を搬送する搬送手段と
   を備え、
   前記入出庫ポートは、前記荷をその底側から支持可能な第１支持部を有し、
   前記経路及び前記搬送手段の少なくとも一方には、該少なくとも一方における前記荷を支持するための第２支持部に、該第２支持部の下方まで、前記第１支持部が移動するのを許容する口又は切れ込みが設けられており、
   前記上下移動手段は、前記第２支持部の上方から下方まで前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第１支持部から第２支持部へ移載し、前記第２支持部の下方から上方へ前記第１支持部を移動させることで、前記荷を前記第２支持部から第１支持部へ移載する
   ことを特徴とする搬送システム。
9. 前記搬送手段は、前記第２支持部として前記経路に沿って移動させる際に駆動される複数のローラを有することを特徴とする請求項７又は８に記載の搬送システム。

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