JP5900398B2 - 加速度センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1に示されるように、本実施形態の加速度センサは、加速度を検出するセンサ部10が回路部100に接続されて構成されている。まず、センサ部10の構成について説明する。
(数2)Cs2=C0{−f(a)+g2(t)}
(数3)Ct1=C0{g1(t)}
(数4)Ct2=C0{g2(t)}
なお、C0は初期容量であり、f(a)は加速度に依存する加速度項、g(t)は熱歪み(温度)に依存する熱歪み項である。また、本実施形態では、アンカー部24の近傍に第1、第2支持部31、41が配置されており、第1、第2固定電極32、42は第1、第2可動電極25a、25bの櫛歯と噛み合うように櫛歯状に配列されている。つまり、第1可動電極25aおよび第1固定電極32、第2可動電極25bおよび第2固定電極42は、それぞれ熱歪みによってほぼ同じように変位する、このため、本実施形態では、Cs1およびCt1における熱歪み項を同じとし、Cs2およびCt2における熱歪み項を同じとしている。
=C0{2f(a)}・Vcc/Cf
すなわち、加速度に応じたセンサ信号Voutとして、熱歪み項をキャンセルした信号が出力される。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してキャップ部を備えたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して枠部22の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
=C0{f(a)}・Vcc/Cf
したがって、加速度に応じたセンサ信号Voutとして、熱歪み項をキャンセルした信号を出力でき、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して枠部22の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
20 可動部
25a、25b 可動電極
30、40 固定部
32、42 固定電極
71、72 下部電極
Claims (6)
- 支持基板(11)と、
前記支持基板の面方向に対する法線方向に前記支持基板から離間して配置され、前記法線方向に加速度が印加されたとき、加速度に応じて回転可能とされた可動電極(25a、25b)を備える可動部(20)と、
前記支持基板に前記可動電極と対向する状態で配置された下部電極(71、72)と、を備える加速度センサにおいて、
前記法線方向に前記下部電極から離間して配置され、加速度が印加されていないとき、前記可動電極と前記下部電極との間に構成される容量と等しい容量を前記下部電極との間に構成する固定電極(32、42)を有する固定部(30、40)を備え、
前記可動電極と前記下部電極との間に構成される容量と前記固定電極と前記下部電極との間に構成される容量との差に基づいて前記加速度の検出を行うことを特徴とする加速度センサ。 - 前記可動部はアンカー部(24)を介して前記支持基板に備えられ、
前記固定電極は、前記下部電極と前記アンカー部との間に配置された支持部(31、41)を介して前記支持基板に備えられていることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。 - 前記可動電極は櫛歯状に前記可動部に備えられ、
前記固定電極は、前記可動電極の櫛歯に噛み合う櫛歯状に前記固定部に備えられていることを特徴とする請求項1または2に記載の加速度センサ。 - 前記固定電極は、加速度が印加されていないとき、前記下部電極と対向する面積が前記可動電極が前記下部電極と対向する面積と等しく、かつ、前記下部電極との間の距離が前記可動電極と前記下部電極との間の距離と等しくされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 前記支持基板には、前記可動電極および前記固定電極を覆うキャップ部(200)が備えられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の加速度センサ。
- 前記可動部は、前記可動部が回転する際の回転軸となると共に前記支持基板に支持されたトーション梁(23)を有し、前記トーション梁に沿った仮想線(L)によって分割される一方の部位を第1部位(22a)とすると共に他方の部位を第2部位(22b)としたとき、前記トーション梁から前記第1部位のうち前記トーション梁から最も離れている端部までの長さ(L1)と、前記トーション梁から前記第2部位のうち前記トーション梁から最も離れている端部までの長さ(L2)とが等しくされており、
前記第2部位は、切り欠き部(22c)が形成されることによって前記第1部位より質量が小さくされていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の加速度センサ。
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