JP5895289B2 - 制御システム及びこの制御システムに用いる位置推定方法 - Google Patents
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Description
ロボット6のアームなどを駆動させる第1モータ41を駆動制御する第1サーボ制御器31と、アライナ7に設けられたターンテーブル71を駆動させる第2モータ43を駆動制御する第2サーボ制御器32と、を有している。
線5を用いた構成でも、多項式補間を用いて位置推定制御を行うことで、高速・高精度の位置決めが可能となり、スループットの短縮に貢献することができると判断できる。
Claims (6)
- 被制御体を駆動するモータと、前記モータの回転角度に基づく前記被制御体の位置データを所定の周期で検出するセンサと、前記モータをサーボ制御するサーボ制御部と、前記サーボ制御部に対して動作指令(位置指令)を発する位置制御部と、を有する制御システムであって、
前記位置制御部は、前記サーボ制御部の動作指令を生成する指令生成手段と、前記センサから取得した前記位置データを取得時刻と共に記憶する位置データ記憶手段と、所定周期内の任意の時刻における前記被制御体の位置を当該任意の時刻の前後に取得した前記位置データに基づいて推定する位置推定手段と、を備え、
前記位置推定手段は、時刻tにおける前記被制御体の位置f(t)を前記位置データに基づいて多項式で表し、多項式補間により前記任意の時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする制御システム。 - 前記位置推定手段は、3次の多項式を用いて任意の時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする請求項1又は2記載の制御システム。
- 前記位置推定手段は、前記被制御体の位置を推定する任意の時刻の近傍の前記位置データに基づいて該時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする請求項3記載の制御システム。
- 前記被制御体に設けられる位置合わせマークを検出するマークセンサを備え、 前記位置推定手段は、前記マークセンサが前記位置合わせマークを検出した時刻における前記被制御体の位置を推定することを特徴とする請求項1から4記載の制御システム。
- 被制御体を駆動するモータと、前記モータの回転角度に基づく前記被制御体の位置データを所定の周期で検出するセンサと、前記モータをサーボ制御するサーボ制御部と、前記サーボ制御部に対して動作指令を発する位置制御部と、を有する制御システムにおいて、
前記位置制御部は、前記サーボ制御部の動作指令を生成するとともに、前記センサから取得した前記位置データを取得時刻と共に記憶し、時刻tにおける前記被制御体の位置f(t)を前記位置データに基づいて多項式で表し、多項式補間により、所定周期内の任意の時刻における前記被制御体の位置を当該任意の時刻の前後に取得した前記位置データに基づいて推定することを特徴とする位置推定方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201180039104.8A CN103081351B (zh) | 2010-08-08 | 2011-08-06 | 电动机控制装置及电动机控制方法 |
KR1020137003052A KR101421906B1 (ko) | 2010-08-08 | 2011-08-06 | 모터 제어 장치 및 모터 제어 방법, 제어 시스템 및 이 제어 시스템에 이용하는 위치 추정 방법 |
CN201510189759.3A CN104808579B (zh) | 2010-08-08 | 2011-08-06 | 控制***及该控制***中使用的位置推定方法 |
US13/814,576 US10345827B2 (en) | 2010-08-08 | 2011-08-06 | Motor control device and motor control method, control system and location estimation method used in control system |
PCT/JP2011/067994 WO2012020714A1 (ja) | 2010-08-08 | 2011-08-06 | モータ制御装置およびモータ制御方法、制御システムおよびこの制御システムに用いる位置推定方法 |
KR1020147013950A KR101483405B1 (ko) | 2010-08-08 | 2011-08-06 | 제어 시스템 및 이 제어 시스템에 이용하는 위치 추정 방법 |
US14/965,364 US10095244B2 (en) | 2010-08-08 | 2015-12-10 | Motor control apparatus, motor control method, control system, and position estimation method to be used in control system |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US37171310P | 2010-08-08 | 2010-08-08 | |
US61/371,713 | 2010-08-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012038312A JP2012038312A (ja) | 2012-02-23 |
JP5895289B2 true JP5895289B2 (ja) | 2016-03-30 |
Family
ID=45850183
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011019448A Active JP5689704B2 (ja) | 2010-08-08 | 2011-02-01 | モータ制御装置およびモータ制御方法 |
JP2011171488A Active JP5895289B2 (ja) | 2010-08-08 | 2011-08-05 | 制御システム及びこの制御システムに用いる位置推定方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011019448A Active JP5689704B2 (ja) | 2010-08-08 | 2011-02-01 | モータ制御装置およびモータ制御方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10345827B2 (ja) |
JP (2) | JP5689704B2 (ja) |
KR (2) | KR101421906B1 (ja) |
CN (2) | CN104808579B (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8832944B2 (en) * | 2011-11-03 | 2014-09-16 | Yen-Fu Liao | Electric hair cutter and control method for motor rotational speed thereof |
EP2819300B1 (en) * | 2012-02-24 | 2019-04-10 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Motor control apparatus |
EP2830209B1 (en) | 2012-03-19 | 2018-09-12 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Motor control device |
JP6080119B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2017-02-15 | アテル株式会社 | アライナ装置 |
JPWO2014102895A1 (ja) * | 2012-12-25 | 2017-01-12 | 三菱電機株式会社 | 位置決め装置および位置決め方法 |
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-
2011
- 2011-02-01 JP JP2011019448A patent/JP5689704B2/ja active Active
- 2011-08-05 JP JP2011171488A patent/JP5895289B2/ja active Active
- 2011-08-06 US US13/814,576 patent/US10345827B2/en active Active
- 2011-08-06 KR KR1020137003052A patent/KR101421906B1/ko active IP Right Grant
- 2011-08-06 KR KR1020147013950A patent/KR101483405B1/ko active IP Right Grant
- 2011-08-06 CN CN201510189759.3A patent/CN104808579B/zh active Active
- 2011-08-06 CN CN201180039104.8A patent/CN103081351B/zh active Active
-
2015
- 2015-12-10 US US14/965,364 patent/US10095244B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103081351B (zh) | 2015-07-29 |
US10345827B2 (en) | 2019-07-09 |
KR101483405B1 (ko) | 2015-01-15 |
KR20140089382A (ko) | 2014-07-14 |
CN104808579B (zh) | 2018-07-10 |
KR101421906B1 (ko) | 2014-07-22 |
US20160098041A1 (en) | 2016-04-07 |
JP5689704B2 (ja) | 2015-03-25 |
KR20130057455A (ko) | 2013-05-31 |
CN103081351A (zh) | 2013-05-01 |
JP2012039847A (ja) | 2012-02-23 |
CN104808579A (zh) | 2015-07-29 |
JP2012038312A (ja) | 2012-02-23 |
US20140070752A1 (en) | 2014-03-13 |
US10095244B2 (en) | 2018-10-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140707 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20150609 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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