JP3367260B2 - エンコーダ装置及びサーボモーター制御装置 - Google Patents

エンコーダ装置及びサーボモーター制御装置

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JP3367260B2
JP3367260B2 JP06644395A JP6644395A JP3367260B2 JP 3367260 B2 JP3367260 B2 JP 3367260B2 JP 06644395 A JP06644395 A JP 06644395A JP 6644395 A JP6644395 A JP 6644395A JP 3367260 B2 JP3367260 B2 JP 3367260B2
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    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • H02P23/16—Controlling the angular speed of one shaft

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  • Control Of Ac Motors In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は工作機械等の位置を検
出するエンコーダ装置及びエンコーダ装置の位置データ
によりサーボモーターを制御するサーボモーター制御装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】エンコーダ装置を高分解能化するため、
あるいは絶対値エンコーダ装置を得るために、例えば特
公平５−６５８２７号公報等に有るように、回転角に対
応し出力される正弦波、三角波等のアナログ信号と、前
記アナログ信号と所定の位相差を持ったアナログ信号を
Ａ／Ｄ変換し演算処理により内挿する方法が知られてい
る。図２２は前記の方法による従来のエンコーダ制御装
置の構成図である。図に於いて、１はエンコーダ装置で
ありサーボモーター３または、機械可動部にとりつけら
れる。２はモーター駆動装置であり、外部からの位置指
令及びエンコーダ装置１の出力をもとにサーボモーター
３を制御する。
【０００３】以下その詳細を説明する。ＬＥＤ４により
発せられた光は、モーター軸または機械可動部にとりつ
けられた遮蔽板５により、フォトダイオード、フォトト
ランジスタ等の受光素子６Ａ，６Ｂに到達する光の量が
変化し、受光素子６Ａ，６Ｂは前記光量に比例した信号
を発生する。この信号は互いに９０゜位相のずれた正弦
波、三角波等のアナログ信号である。このアナログ信号
はサンプルホールド回路７Ａ，７Ｂにより同時にホール
ドされＡ／Ｄ変換器８Ａ，８Ｂへ入力される。Ａ／Ｄ変
換器によりデジタル化されたデータは演算装置９によ
り、位置データへ変換されモーター駆動装置２へ出力さ
れる。演算装置９は除算器、ＲＯＭテーブル等から構成
される。
【０００４】モーター駆動装置２の動作を説明する。減
算器１２は位置指令とエンコーダ装置１の出力θ（Ｔ
ｎ）の差を出力し、その差に応じて位置制御部１３は速
度指令値を生成する。減算器１４は前記速度指令と、θ
（Ｔｎ）を微分器１９にて微分して得た速度フィードバ
ックとの差を出力し、その差に応じて速度制御部１５は
電流指令値を生成する。減算器１６は前記電流指令と、
電流フィードバックとの差を出力し、その差に応じて電
流制御部１７は電圧指令値を生成する。３相ＰＷＭ電圧
発生部１８は電圧指令に応じた３相電圧を出力するが、
サーボモーターが同期電動機である場合モーター磁極位
置を、エンコーダ出力θ（Ｔｎ）より判別し、現在の磁
極位置に応じた３相電圧を出力する。また、電流フィー
ドバックは、電流検出器３１Ａ，３１Ｂにおいて３相交
流電流が検出され、３相交流→ｄ−ｑ軸変換器２０に
て、トルク分電流に変換され、電流制御に使用される。
ここで、３相交流→ｄ−ｑ軸変換器２０はエンコーダ出
力θ（Ｔｎ）よりモーター磁極位置を判別し、現在の磁
極位置に応じた変換を行う。
【０００５】上記従来のエンコーダ装置のデータ処理タ
イミングを図２３に示す。サンプルホールド回路７Ａ，
７Ｂのホールドはモータ駆動装置２から与えられるリク
エスト信号等に応じ周期的にホールドされるのが一般的
である。信号がホールドされるとＡ／Ｄ変換器８Ａ，８
ＢはＡ／Ｄ変換を開始する。Ａ／Ｄ変換が終了した後演
算装置９にて演算処理され、時間Ｔｎ＋Ｔｄに時間Ｔｎ
に於ける角度データθ（Ｔｎ）が出力される。モーター
駆動装置２は時間Ｔｎ＋Ｔｄより、各制御を実行する。
また、この角度データはシリアル信号として出力される
場合が多い。
【０００６】このように、アナログ信号をホールドして
からモータ駆動装置２へデータが送られるまでに、Ａ／
Ｄ変換、演算処理、シリアル通信と、多大な遅れ時間を
有する。
【０００７】また、遅れ時間を補正した速度検出方法と
して、例えば特開昭６２−２６０５７４号公報の様に前
回の検出速度Ｖ（ｎ−１）と今回の検出速度Ｖｎとから
Ｖ（ｎ＋１）を予測する方法が知られている。この時の
演算式は Ｖ（ｎ＋１）＝２Ｖｎ−Ｖ（ｎ−１） という関係式に基づいて行われる。この、補正方法は図
２４に示す直線的に増加、あるいは減少するものとし
て、直線外挿補間するものである。これを、エンコーダ
装置の位置検出に応用し、サンプリング周期Ｔ０、遅れ
時間Ｔｄの予測補正を行う場合の概念図を図２６に、補
正装置のブロック図を図２８に示す。
【０００８】また、図２５に示すようにサンプリング周
期における変化分が、一定の増加幅で増加あるいは減少
するものとして曲線外挿補間する方法も容易に考えられ
る。この演算式は Ｖ（ｎ＋１）＝３Ｖｎ−３Ｖ（ｎ−１）＋Ｖ（ｎ−２） で表せる。これを、エンコーダ装置の位置検出に応用
し、サンプリング周期Ｔ０、遅れ時間Ｔｄの予測補正を
行う場合の概念図を図２７に、補正装置のブロック図を
図２９に示す。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来のエンコーダ装置
は以上のように構成されているので、サーボアンプから
のリクエストに対し、位置データ出力までに遅れ時間を
有する。従って、出力された位置データは、出力された
時点での真の角度と一致せず遅れを持った位置データと
なる。その遅れを持つ位置データにより、モーター駆動
装置２はモーターを制御する。位置制御部１３は一般的
に制御系のループゲインが低く遅れ時間の影響は殆ど無
いが、ループゲインが高く、高周波の応答が要求される
速度制御部１５においては、エンコーダ出力の無駄時間
が速度制御の無駄時間となり制御性能を悪化させるとい
う問題点が有った。
【００１０】また、サーボモータとして同期式電動機を
用いた場合、前述のように３相ＰＷＭ電圧発生部１８、
３相交流→ｄ−ｑ軸変換器２０においては、モーター磁
極位置が必要である。しかし、エンコーダ出力データに
遅れがあると特にモーター高速回転時の磁極検出誤差の
増大を招き、モーター高速回転時のモーター出力トルク
が著しく低下するという問題点が有った。
【００１１】上記問題点を軽減するためには、Ａ／Ｄ変
換時間、演算処理、を高速化すればよいが、高速のＡ／
Ｄ変換器、演算処理装置を使用せねばならず高価なもの
となってしまう欠点が有った。また、シリアル通信の高
速化も信頼性の面で限界が有った。
【００１２】また、図２８，２９に示される検出遅れ分
の移動量を予測演算し補正する方法を用いた場合の問題
点を以下に示す。例えば図３０，図３１に示すようにモ
ーターがθ０とθ１の境界線近傍の位置θ０上に停止し
ており、時間Ｔｎにて、境界線をよぎり位置θ１のエリ
アに入り時間Ｔｎ＋１にて再びもとの位置に戻った場合
を考える。ここでは便宜上（遅れ時間Ｔｄ）＝（サンプ
リング周期Ｔ０）として考える。図２８に示す直線外挿
補間による補正を行う場合、 θ（Ｔｎ＋１）＝２θ（Ｔｎ）−θ（Ｔｎ−１）＝２ θ（Ｔｎ＋２）＝２θ（Ｔｎ＋１）−θ（Ｔｎ）＝−１ となり、実際のモーターの挙動は最小検出単位に満たな
い微小なものであるにも関わらず、エンコーダ出力は３
パルスの幅で振れることになる。これは、モーター駆動
装置２にフィードバックされモーター停止時の振動を増
大させることにつながる。
【００１３】また、図２９に示す曲線外挿補間による補
正を行う場合、 θ（Ｔｎ＋１）＝３θ（Ｔｎ）−３θ（Ｔｎ−１）＋θ（Ｔｎ−２）＝３ θ（Ｔｎ＋２）＝３θ（Ｔｎ＋１）−θ（Ｔｎ）＝−３ となり、エンコーダ出力は６パルスの幅で振れることに
なりさらにモーター停止時の振動を増大させる。
【００１４】また、モーター低速移動時においてもエン
コーダ装置の最小検出単位との関係上検出される位置は
滑らかにならないが、前記図２８，２９の補正を行う
と、最小検出単位以下の誤差を増幅して出力してしまい
低速時の回転ムラを増加させることになる。この様子
を、図３３に示す。これは、減速し速度０となった後に
逆方向へ加速する動作を例にとっている。縦の升目はエ
ンコーダの検出境界、横の升目はサンプリング時間を示
す。以上のように、従来の予測し遅れ時間を補正する方
法をそのままエンコーダ装置に適用しても全く使用に耐
えないものとなってしまう。
【００１５】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、時間的遅れがない位置データを
出力し、位置検出が正確でかつ安価なエンコーダ装置及
び前記エンコーダ装置が出力する位置データによりサー
ボモーターを高精度に制御するサーボモーター制御装置
を得ることを目的とする。
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【課題を解決するための手段】 この発明に係るエンコー
ダ装置は、検出対象の位置に応じたアナログ信号を発生
する信号発生手段と、前記アナログ信号をサンプリング
しデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換さ
れたデジタルデータより検出対象の位置データを得る演
算手段とを備えたエンコーダ装置において、前記アナロ
グ信号を処理して位置データとして出力するまでに要す
る遅れ時間内に前記検出対象が移動する移動量を、今回
サンプリング位置と前回サンプリング位置との差である
今回サンプリング周期移動量と前回サンプリング位置と
前々回サンプリング位置との差である前回サンプリング
周期移動量との内絶対値の小さい方を選択し、該選択さ
れたサンプリング周期移動量から前記アナログ信号を処
理して位置データとして出力するまでに要する遅れ時間
内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今回サ
ンプリングして得られた位置データに上記算出された移
動量分の補正値を加えた位置データを出力するエンコー
ダ出力補正手段を備えるものである。
【００１９】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、今回サンプリング位置と前回
サンプリング位置との差である今回サンプリング周期移
動量と前回サンプリング位置と前々回サンプリング位置
との差である前回サンプリング周期移動量との内絶対値
の小さい方を選択するとともに、今回サンプリング周期
移動量と前回サンプリング周期移動量の差と前回サンプ
リング周期移動量と前々回サンプリング周期移動量の差
との内の小さい方を選択し、選択された周期移動量と選
択された周期移動量の差との和から前記アナログ信号を
処理して位置データとして出力するまでに要する遅れ時
間内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今回
サンプリングして得られた位置データに上記算出された
移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエンコ
ーダ出力補正手段を備えるものである。
【００２０】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、前記アナログ信号を処理して
位置データとして出力するまでに要する遅れ時間内に前
記検出対象が移動する移動量を、今回サンプリング位置
と前々回サンプリング位置との差である２サンプリング
周期移動量を１／２倍した平均値から前記アナログ信号
を処理して位置データとして出力するまでに要する遅れ
時間内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今
回サンプリングして得られた位置データに上記算出され
た移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエン
コーダ出力補正手段を備えるものである。
【００２１】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、今回サンプリング位置と前々
回サンプリング位置との差である２サンプリング周期移
動量と、今回サンプリング位置と前回サンプリング位置
との差である今回サンプリング周期移動量から前々回サ
ンプリング位置と三回前サンプリング位置との差である
前々回サンプリング周期移動量を引いて得られる２サン
プリング周期間の移動量変化とを加算して１／２倍した
平均値から前記アナログ信号を処理して位置データとし
て出力するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量を算出して、今回サンプリングして得られ
た位置データに上記算出された移動量分の補正値を加え
た位置データを出力するエンコーダ出力補正手段を備え
るものである。
【００２２】
【００２３】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、モータ駆動装置が出力する電
流値と今回サンプリング位置と前回サンプリング位置と
の差である今回サンプリング周期移動量の関係をあらか
じめ関数として求めておき、前記アナログ信号を処理し
て位置データとして出力するまでに要する遅れ時間内に
前記検出対象が移動する移動量を、その求めた関数によ
り現在のモータ駆動装置が出力する電流値から推定し
て、今回サンプリングして得られた位置データに上記推
定された移動量分の補正値を加えた位置データを出力す
るエンコーダ出力補正手段を備えるものである。
【００２４】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、互いに９０゜位相のずれたパ
ルスを発生するパルス信号発生手段と、前記パルスのパ
ルス数をカウントするカウンタとを用いて、前記アナロ
グ信号を処理して位置データとして出力するまでに要す
る遅れ時間を計数して該遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量とし、今回サンプリングして得られた位置
データに上記計数された移動量分の補正値を加えた位置
データを出力するエンコーダ出力補正手段を備えるもの
である。
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【作用】 この発明に係るエンコーダ装置は、検出対象の
位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段と、
前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデータよ
り検出対象の位置データを得る演算手段とを備えたエン
コーダ装置において、前記アナログ信号を処理して位置
データとして出力するまでに要する遅れ時間内に前記検
出対象が移動する移動量を、今回サンプリング位置と前
回サンプリング位置との差である今回サンプリング周期
移動量と前回サンプリング位置と前々回サンプリング位
置との差である前回サンプリング周期移動量との内絶対
値の小さい方を選択し、該選択されたサンプリング周期
移動量から前記アナログ信号を処理して位置データとし
て出力するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量を算出して、今回サンプリングして得られ
た位置データに上記算出された移動量分の補正値を加え
た位置データを出力する。
【００２８】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、今回サンプリング位置と前回
サンプリング位置との差である今回サンプリング周期移
動量と前回サンプリング位置と前々回サンプリング位置
との差である前回サンプリング周期移動量との内絶対値
の小さい方を選択するとともに、今回サンプリング周期
移動量と前回サンプリング周期移動量の差と前回サンプ
リング周期移動量と前々回サンプリング周期移動量の差
との内の小さい方を選択し、選択された周期移動量と選
択された周期移動量の差との和から前記アナログ信号を
処理して位置データとして出力するまでに要する遅れ時
間内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今回
サンプリングして得られた位置データに上記算出された
移動量分の補正値を加えた位置データを出力する。
【００２９】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、前記アナログ信号を処理して
位置データとして出力するまでに要する遅れ時間内に前
記検出対象が移動する移動量を、今回サンプリング位置
と前々回サンプリング位置との差である２サンプリング
周期移動量を１／２倍した平均値から前記アナログ信号
を処理して位置データとして出力するまでに要する遅れ
時間内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今
回サンプリングして得られた位置データに上記算出され
た移動量分の補正値を加えた位置データを出力する。
【００３０】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、今回サンプリング位置と前々
回サンプリング位置との差である２サンプリング周期移
動量と、今回サンプリング位置と前回サンプリング位置
との差である今回サンプリング周期移動量から前々回サ
ンプリング位置と三回前サンプリング位置との差である
前々回サンプリング周期移動量を引いて得られる２サン
プリング周期間の移動量変化とを加算して１／２倍した
平均値から前記アナログ信号を処理して位置データとし
て出力するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量を算出して、今回サンプリングして得られ
た位置データに上記算出された移動量分の補正値を加え
た位置データを出力する。
【００３１】
【００３２】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、モータ駆動装置が出力する電
流値と今回サンプリング位置と前回サンプリング位置と
の差である今回サンプリング周期移動量の関係をあらか
じめ関数として求めておき、前記アナログ信号を処理し
て位置データとして出力するまでに要する遅れ時間内に
前記検出対象が移動する移動量を、その求めた関数によ
り現在のモータ駆動装置が出力する電流値から推定し
て、今回サンプリングして得られた位置データに上記推
定された移動量分の補正値を加えた位置データを出力す
る。
【００３３】この発明に係るエンコーダ装置は、検出対
象の位置に応じたアナログ信号を発生する信号発生手段
と、前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄ変換手段と、変換されたデジタルデー
タより検出対象の位置データを得る演算手段とを備えた
エンコーダ装置において、互いに９０゜位相のずれたパ
ルスを発生するパルス信号発生手段と、前記パルスのパ
ルス数をカウントするカウンタとを用いて、前記アナロ
グ信号を処理して位置データとして出力するまでに要す
る遅れ時間を計数して該遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量とし、今回サンプリングして得られた位置
データに上記計数された移動量分の補正値を加えた位置
データを出力する。
【００３４】
【実施例】
実施例１．以下、この発明の実施例について説明する。
図１はこの発明の実施例１によるエンコーダ装置及びサ
ーボモーター制御装置の構成図である。図１に於いて、
図２２に示す各部に対応する部分には、同一の符号を付
しその説明を省略する。演算手段たる演算装置９の出力
θ（Ｔｎ）はモーター駆動装置２、出力補正手段たるエ
ンコーダ出力補正装置（以下出力補正装置という）１１
に出力されるとともに記憶装置１０へ記憶される。記憶
装置１０は図３に示すように最新の位置データｎ個を記
憶し、出力補正装置１１の要求に従い記憶された位置デ
ータを出力する。出力補正装置１１は過去のサンプリン
グ位置データθ（Ｔｎ−１），θ（Ｔｎ−２），・・・
と現在の位置データθ（Ｔｎ）とから演算遅れ時間Ｔｄ
分の遅れ時間を補正したＴｎ＋Ｔｄにおける予測位置デ
ータθ（Ｔｎ＋Ｔｄ）とＴｎ＋Ｔｄ時点のサンプリング
周期における移動量Δθ（Ｔｎ＋Ｔｄ）を出力する。出
力補正装置１１は、図２８，２９に示す遅れ時間補正装
置または、後述の実施例２，３，４，５，６，７に示さ
れる出力補正装置などが用いられる。
【００３５】位置制御のループゲインは通常３０ｒａｄ
／ｓ程度と低く検出の時間遅れの影響は殆ど受けない。
また、従来の遅れ時間補正の説明のように不正確なデー
タをフィードバックすると、振動や速度ムラの増加につ
ながる。従って現在の位置データθ（Ｔｎ）はモーター
駆動装置２の減算器１２へ入力され位置制御に用いられ
る。Ｔｎ＋Ｔｄ時点のサンプリング周期における移動量
Δθ（Ｔｎ＋Ｔｄ）は除算器３１にてサンプリング周期
Ｔ０で除することにより速度フィードバックを生成し速
度制御に使用される。これによりループゲインの高い速
度制御において遅れ時間の無いデータを使用し制御性能
の悪化を防止する。また、電圧発生手段たる３相ＰＷＭ
電圧発生部１８と変換手段たる３相交流→ｄ−ｑ軸変換
器２０においては少々の位置誤差や検出ムラは影響無い
が遅れ時間による大きな位置のズレはモータートルクの
減少を招く為、遅れ時間の無いＴｎ＋Ｔｄにおける予測
位置データθ（Ｔｎ＋Ｔｄ）を使用する。
【００３６】実施例１によるエンコーダ装置のデータ処
理タイミングを図２に示す。各ブロックの動作タイミン
グは図２３の従来例と同一であるが、出力されるデータ
がデータ出力の完了する時間Ｔｎ＋Ｔｄ時の位置データ
であるため遅れ時間が無くなる。
【００３７】実施例２．以降実施例２〜７では出力補正
装置１１の内部の実施例を示す。これらは、従来の遅れ
時間補正方法の問題点を解決するものであるので、エン
コーダ装置全体の構成は図１の実施例１による構成で
も、図４の様に遅れ時間補正のされたθ（Ｔｎ＋Ｔｄ）
のみを出力する構成でも良い。
【００３８】図５はこの発明の実施例２によるエンコー
ダ装置の出力補正装置を示す構成図である。図において
減算器２１Ａは今回サンプリング位置θ（Ｔｎ）と前回
サンプリング位置θ（Ｔｎ−１）との差、すなわち今回
サンプリング周期における移動量Δθｎを出力する。減
算器２１Ｂは前回サンプリング位置θ（Ｔｎ−１）と前
々回サンプリング位置θ（Ｔｎ−２）との差、すなわち
前回サンプリング周期における移動量Δθ（ｎ−１）を
出力する。乗算器２３へ入力される現在の移動量Δθは
セレクトスイッチ２２にてΔθｎとΔθ（ｎ−１）の小
さいものが選択される。選択された移動量Δθを乗算器
２３にてＴｄ／Ｔ０倍しＴｄ間の移動量を求める。その
出力を加算器２４にてθ（Ｔｎ）に加算する事により、
遅れ時間の補正を行う。このスイッチ２２の動作フロー
チャートを図７に示す。ΔθｎとΔθ（ｎ−１）の符号
が異なっていればΔθ＝０、符号一致していればその絶
対値の小さいものをΔθとする。
【００３９】この実施例において図３０の様に検出境界
近傍に停止した状態から境界をよぎった場合の出力位置
を図１０に示す。時間ＴｎにおいてΔθｎ＝１，Δθ
（ｎ−１）＝０であるのでΔθ＝０がスイッチ２２によ
り選択される。従って出力θ（Ｔｎ＋１）＝θ（Ｔｎ）
＝１となる。同様にθ（Ｔｎ＋２）＝θ（Ｔｎ＋１）−
０となり、図３１に示すように不正な出力をモータ駆動
装置２へフィードバックし、モーター振動を増加させる
事を防止する。また、低速移動時の挙動も図１２に示す
様に、位置出力は滑らかになされ、モーター回転の速度
リップルの増加を防止する。
【００４０】実施例３．図６はこの発明の実施例３によ
るエンコーダ装置の出力補正装置を示す構成図である。
図において図５の実施例２の出力補正装置と同一構成部
分は説明を省略する。スイッチ２２Ａは実施例２の出力
補正装置のスイッチ２２と同様に現在の移動量Δθを選
択する。減算器２５Ａは今回サンプリング周期における
移動量Δθｎと前回サンプリング周期における移動量Δ
θ（ｎ−１）との差Δ（Δθｎ）を出力する。減算器２
５Ｂは前回サンプリング周期における移動量Δθ（ｎ−
１）と前々回サンプリング周期における移動量Δθ（ｎ
−２）との差Δ（Δθｎ−１）を出力する。スイッチ２
２Ｂは図７のフローチャートに従いΔ（Δθｎ）とΔ
（Δθｎ−１）の小さいものをΔ（Δθ）として選択す
る。選択された移動量Δθと移動量の増加分Δ（Δθ）
の和を乗算器２３にてＴｄ／Ｔ０倍しＴｄ間の移動量を
求める。その出力を加算器２４にてθ（Ｔｎ）に加算す
る事により、遅れ時間の補正を行う。
【００４１】この実施例において図３０の様に検出境界
近傍に停止した状態から境界をよぎった場合の出力位置
を図１０に示す。時間ＴｎにおいてΔθｎ＝１，Δθ
（ｎ−１）＝０であるのでΔθ＝０がスイッチ２２Ａに
より選択され、Δ（Δθｎ）＝１，Δ（Δθｎ−１）＝
０であるのでΔ（Δθ）＝０がスイッチ２２Ｂによって
選択される。従って出力θ（Ｔｎ＋１）＝１となる。同
様にθ（Ｔｎ＋２）＝０となり、図３２に示すように不
正な出力をモータ駆動装置２へフィードバックし、モー
ター振動を増加させる事を防止する。また、低速移動時
の挙動も図１２に示す様に、位置出力は滑らかになさ
れ、モーター回転の速度リップルの増加を防止する。
【００４２】実施例４．図８はこの発明の実施例４によ
るエンコーダ装置の出力補正装置を示す構成図である。
減算器２１は今回サンプリング位置θ（Ｔｎ）と前々回
サンプリング位置θ（Ｔｎ−２）との差、すなわち２サ
ンプリング周期における移動量２Δθを出力し乗算器２
３へ入力される。乗算器２３にて１／２倍し２サンプリ
ング周期の平均の移動量を導くと同時にＴｄ／Ｔ０倍し
Ｔｄ間の移動量を求める。その出力を加算器２４にてθ
（Ｔｎ）に加算する事により、遅れ時間の補正を行う。
【００４３】本実施例において図３０の様に検出境界近
傍に停止した状態から境界をよぎった場合の出力位置を
図１０に示す。時間Ｔｎにおいて２Δθｎ＝１、その平
均値を端数切り捨て処理しθ（Ｔｎ）に加算し出力θ
（Ｔｎ＋１）＝１となる。同様にθ（Ｔｎ＋２）＝０と
なり、図３１に示す従来例のように不正な出力をモータ
駆動装置２へフィードバックし、モーター振動を増加さ
せる事を防止する。また、低速移動時の挙動も図１３に
示す様に、位置出力は滑らかになされ、モーター回転の
速度リップルの増加を防止する。
【００４４】実施例５．図９はこの発明の実施例５によ
るエンコーダ装置の出力補正装置を示す構成図である。
減算器２１Ｄは実施例４の出力補正装置の減算器２１と
同一の動作をし、２サンプリング周期における移動量２
Δθを出力する。減算器２１Ａは今回のサンプリング周
期における移動量Δθｎを、減算器２１Ｃは前々回のサ
ンプリング周期における移動量Δθ（ｎ−２）を出力し
２サンプリング間の移動量の変化分２Δ（Δθ）を出力
する。２Δθと２Δ（Δθ）は加算器２６で加算された
後、乗算器２３へ入力される。乗算器２３にて１／２倍
し２サンプリング周期の平均の移動量と移動量の変化分
を導くと同時にＴｄ／Ｔ０倍しＴｄ間の移動量を求め
る。その出力を加算器２４にてθ（Ｔｎ）に加算する事
により、遅れ時間の補正を行う。
【００４５】この実施例において図３０の様に検出境界
近傍に停止した状態から境界をよぎった場合の出力位置
を図１１に示す。時間Ｔｎにおいて２Δθ＝１，２Δ
（Δθ）＝１でその平均値θ（Ｔｎ）に加算しθ（Ｔｎ
＋１）＝２となる。同様にθ（Ｔｎ＋２）＝０となり、
図３２に示す従来例のように不正な出力をモータ駆動装
置へフィードバックし、モーター振動を増加させる事を
防止する。また、低速移動時の挙動も図１３に示す様
に、位置出力は滑らかになされ、モーター回転の速度リ
ップルの増加を防止する。
【００４６】実施例６．図１４はこの発明の実施例６に
よるエンコーダ装置の出力補正装置を示す構成図であ
る。図２８の出力補正装置と同一部分は説明は省略す
る。２７は第２の乗算器であり、乗算器２３の出力をＫ
（Δθｎ）倍しその出力を加算器２４にてθ（Ｔｎ）に
加算する事により、遅れ時間の補正を行う。ここで乗算
器２７は倍率Ｋ（Δθｎ）がΔθｎの値により可変され
る可変乗数乗算器である。この乗数Ｋ（Δθｎ）はサン
プリング間隔における移動量が大きい場合大きく、小さ
い場合小さくする。つまり、この可変乗数乗算器２７を
付加する事により、遅れ時間の影響が小さく、かつ微少
な検出誤差が制御ループに悪影響を及ぼし振動や速度ム
ラを大きくする恐れのある低速時に補正倍率を小さく、
遅れ時間の影響が大きく、かつ微少な検出誤差が制御ル
ープに影響を与えにくい高速時に補正倍率を高くする。
従って、遅れ時間による問題点を解決しつつ、従来の遅
れ時間補正による振動の増加等の問題点を解決する。
【００４７】図１５、１６は可変乗数乗算器２７の動作
例を示すグラフで、倍率０〜１を図１５の様にΔθに対
し連続的に変化させても、あるいは図１６のように２段
階以上の複数段に切り換えても良い。なお実施例１〜６
において、直線的に位置が変化するものとして位置を予
測するものについて説明したが、曲線的に位置が変化す
るものとして予測するように構成してもよいことは言う
までもない。
【００４８】実施例７．図１７はこの発明の実施例７に
よるエンコーダ装置及びサーボモーター制御装置を示す
構成図である。図１の実施例１のエンコーダ装置及びサ
ーボモーター制御装置と共通部分は同一の符号を付し説
明は省略する。２８はΔ（Δθ）−Ｉｑ関数推定装置で
あり、サンプリング位置データθ（Ｔｎ）と記憶装置１
０に記憶された前回、前々回のサンプリング位置から移
動量の変化分Δ（Δθ）を求め、更にモーター駆動装置
２から出力される電流値ＩｑとΔ（Δθ）間の関数 Δ（Δθ）＝ｆ（Ｉｑ） を推定する。推定は、図１８の様にサンプリングされた
Δ（Δθ）とＩｑの関係のほぼ平均的な傾きをとる関数
として推定する。また、関数推定装置２８は推定された
関数に基づきＩｑから現在の移動量の変化分Δ（Δθ）
を出力する。θ（Ｔｎ）−θ（Ｔｎ−１）＝Δθと関数
推定装置２８の出力Δ（Δθ）の加算を加減算器２９に
て出力し、その出力を乗算器２３でＴｄ／Ｔ０倍する事
により遅れ時間Ｔｄ間の移動量を求める。その求められ
た移動量を加算器２４にてθ（Ｔｎ）に加算し遅れ時間
の補正を行う。また、関数推定装置２８の推定関数は２
次以上の関数としても良い。
【００４９】実施例８．図１９はこの発明の実施例８に
よるエンコーダ装置を示す構成図である。図に於いて、
図１の実施例１のエンコーダ装置と共通部分は同一の符
号を付し説明は省略する。ＬＥＤは４Ａ，４Ｂで構成さ
れ受光素子６Ｃ，６Ｄが付加される。また、遮蔽板５の
パターンは図２０に示すようにアナログ信号発生用とパ
ルス信号発生用のパターンが並列に作られている。図２
０において、斜線部は光を遮断する部分を示す。受光素
子６Ａ、６Ｂから出力されるアナログ信号は従来例と同
様に処理された位置データθ（Ｔｎ）に変換される。受
光素子６Ｃ，６Ｄから出力されるパルスＡ，パルスＢ
は、互いに９０゜の位相差を有し、アップ・ダウンカウ
ンタ３０にて計数される。図２１は図１９のエンコーダ
装置のデータ処理タイミングを示す。アップ・ダウンカ
ウンタ３０はサンプルホールド回路７Ａ，７Ｂのホール
ドと同時に０クリアされ、その後パルスＡ、Ｂ計数を行
う。演算装置９の演算処理が終了するまでの時間Ｔｄ間
のカウンタ３０のカウント数Δθ（Ｔｄ）を演算装置９
の出力θ（Ｔｎ）に加算器２４で加算する事によりＡ／
Ｄ変換時間、演算処理時間Ｔｄの補正を行う。このよう
な構成にする事により、遅れ時間の無いデータを出力す
る事ができる。また、Δθ（Ｔｄ）よりシリアル出力に
要する時間分の移動量を推定し通信時間に於ける移動量
を補正する事も可能である。
【００５０】
【００５１】
【００５２】
【発明の効果】 この発明に係るエンコーダ装置は、エン
コーダ出力補正手段を備え、アナログ信号を処理して位
置データとして出力するまでに要する遅れ時間内に検出
対象が移動する移動量を、今回サンプリング位置と前回
サンプリング位置との差である今回サンプリング周期移
動量と前回サンプリング位置と前々回サンプリング位置
との差である前回サンプリング周期移動量との内絶対値
の小さい方を選択し、該選択されたサンプリング周期移
動量から前記アナログ信号を処理して位置データとして
出力するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動
する移動量を算出して、今回サンプリングして得られた
位置データに上記算出された移動量分の補正値を加えた
位置データを出力することにより、より正確な位置出力
が得られる。
【００５３】この発明に係るエンコーダ装置は、エンコ
ーダ出力補正手段を備え、今回サンプリング位置と前回
サンプリング位置との差である今回サンプリング周期移
動量と前回サンプリング位置と前々回サンプリング位置
との差である前回サンプリング周期移動量との内絶対値
の小さい方を選択するとともに、今回サンプリング周期
移動量と前回サンプリング周期移動量の差と前回サンプ
リング周期移動量と前々回サンプリング周期移動量の差
との内の小さい方を選択し、選択された周期移動量と選
択された周期移動量の差との和から前記アナログ信号を
処理して位置データとして出力するまでに要する遅れ時
間内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今回
サンプリングして得られた位置データに上記算出された
移動量分の補正値を加えた位置データを出力することに
より、より正確な位置出力が得られる。
【００５４】この発明に係るエンコーダ装置は、エンコ
ーダ出力補正手段を備え、アナログ信号を処理して位置
データとして出力するまでに要する遅れ時間内に前記検
出対象が移動する移動量を、今回サンプリング位置と前
々回サンプリング位置との差である２サンプリング周期
移動量を１／２倍した平均値から前記アナログ信号を処
理して位置データとして出力するまでに要する遅れ時間
内に前記検出対象が移動する移動量を算出して、今回サ
ンプリングして得られた位置データに上記算出された移
動量分の補正値を加えた位置データを出力することによ
り、より正確な位置出力が得られる。
【００５５】この発明に係るエンコーダ装置は、エンコ
ーダ出力補正手段を備え、今回サンプリング位置と前々
回サンプリング位置との差である２サンプリング周期移
動量と、今回サンプリング位置と前回サンプリング位置
との差である今回サンプリング周期移動量から前々回サ
ンプリング位置と三回前サンプリング位置との差である
前々回サンプリング周期移動量を引いて得られる２サン
プリング周期間の移動量変化とを加算して１／２倍した
平均値から前記アナログ信号を処理して位置データとし
て出力するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量を算出して、今回サンプリングして得られ
た位置データに上記算出された移動量分の補正値を加え
た位置データを出力することにより、より正確な位置出
力が得られる。
【００５６】
【００５７】この発明に係るエンコーダ装置は、エンコ
ーダ出力補正手段を備え、モータ駆動装置が出力する電
流値と今回サンプリング位置と前回サンプリング位置と
の差である今回サンプリング周期移動量の関係をあらか
じめ関数として求めておき、前記アナログ信号を処理し
て位置データとして出力するまでに要する遅れ時間内に
前記検出対象が移動する移動量を、その求めた関数によ
り現在のモータ駆動装置が出力する電流値から推定し
て、今回サンプリングして得られた位置データに上記推
定された移動量分の補正値を加えた位置データを出力す
ることにより、より正確な位置出力が得られる。
【００５８】この発明に係るエンコーダ装置は、エンコ
ーダ出力補正手段を備え、互いに９０゜位相のずれたパ
ルスを発生するパルス信号発生手段と、前記パルスのパ
ルス数をカウントするカウンタとを用いて、前記アナロ
グ信号を処理して位置データとして出力するまでに要す
る遅れ時間を計数して該遅れ時間内に前記検出対象が移
動する移動量とし、今回サンプリングして得られた位置
データに上記計数された移動量分の補正値を加えた位置
データを出力することにより、より正確な位置出力が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施例１によるエンコーダ装置及
びサーボモーター制御装置を示すブロック図である。
【図２】 図１のエンコーダ装置の動作を示すタイミン
グチャートである。
【図３】 この発明におけるエンコーダ装置の記憶装置
の動作を示す説明図である。
【図４】 この発明の実施例２によるエンコーダ装置及
びサーボモーター制御装置を示すブロック図である。
【図５】 この発明の実施例２によるエンコーダ装置の
出力補正装置を示すブロック図である。
【図６】 この発明の実施例３によるエンコーダ装置の
出力補正装置を示すブロック図である。
【図７】 この発明におけるエンコーダ装置のスイッチ
の動作を説明するフローチャートである。
【図８】 この発明の実施例４によるエンコーダ装置の
の出力補正装置を示すブロック図である。
【図９】 この発明の実施例５によるエンコーダ装置の
出力補正装置を示すブロック図である。
【図１０】 この発明の実施例２〜４によるエンコーダ
装置の出力補正装置の検出境界近傍での動作を示すグラ
フである。
【図１１】 この発明の実施例５によるエンコーダ装置
の出力補正装置の検出境界近傍での動作を示すグラフで
ある。
【図１２】 この発明の実施例２，３によるエンコーダ
装置の出力補正装置の動作を示すグラフである。
【図１３】 この発明の実施例４，５によるエンコーダ
装置の出力補正装置の動作を示すグラフである。
【図１４】 この発明の実施例６によるエンコーダ装置
の出力補正装置を示すブロック図である。
【図１５】 図１４の出力補正装置の可変乗数乗算器の
一動作例を示すグラフである。
【図１６】 図１４の出力補正装置の可変乗数乗算器の
他の動作例を示すグラフである。
【図１７】 この発明の実施例７によるエンコーダ装置
及びサーボモーター制御装置を示すブロック図である。
【図１８】 図１７のエンコーダ装置の関数推定装置の
動作を説明するグラフである。
【図１９】 この発明の実施例８によるエンコーダ装置
を示すブロック図である。
【図２０】 図１９のエンコーダ装置の遮蔽板を示す図
である。
【図２１】 図１９のエンコーダ装置の動作を示すタイ
ミングチャートである。
【図２２】 従来のエンコーダ装置及びサーボモーター
制御装置を示すブロック図である。
【図２３】 従来のエンコーダ装置の動作を示すタイミ
ングチャートである。
【図２４】 速度検出における遅れ時間補正の従来例を
説明するグラフである。
【図２５】 速度検出における遅れ時間補正の従来例を
説明するグラフである。
【図２６】 従来の遅れ時間補正をエンコーダ装置に適
用した場合の補正動作を説明するグラフである。
【図２７】 従来の遅れ時間補正をエンコーダ装置に適
用した場合の補正動作を説明するグラフである。
【図２８】 従来の遅れ時間補正をエンコーダ装置に適
用した場合の構成を示すブロック図である。
【図２９】 従来の遅れ時間補正をエンコーダ装置に適
用した場合の構成を示すブロック図である。
【図３０】 従来の遅れ時間補正の問題点を説明する図
である。
【図３１】 従来の遅れ時間補正の問題点を説明するグ
ラフである。
【図３２】 従来の遅れ時間補正の問題点を説明するグ
ラフである。
【図３３】 従来の遅れ時間補正の動作を説明するグラ
フである。
【符号の説明】
１ エンコーダ装置、２ モーター駆動装置、３ サー
ボモーター、４，４Ａ，４Ｂ ＬＥＤ、５ 遮蔽板、６
Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ 受光素子、７Ａ，７Ｂサンプル
・ホールド回路、８Ａ，８Ｂ Ａ／Ｄ変換器、９ 位置
演算装置、１０ データ記憶装置、１１ エンコーダ出
力の補正装置、１２，１４，１６ 減算器、１３ 位置
制御部、１５ 速度制御部、１７ 電流制御部、１８
３相ＰＷＭ電圧発生部、１９ 微分器、２０ ３相交流
→ｄ−ｑ軸座標変換器、３１Ａ，３１Ｂ 電流検出器、
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２５，２５
Ａ，２５Ｂ 減算器、２２，２２Ａ，２２Ｂ セレクト
スイッチ、２３ 乗算器、２４，２６ 加算器、２７
可変乗数乗算器、２８ 関数推定装置、２９ 加減算
器、３０ アップ・ダウンカウンタ、３１ 除算器。

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】検出対象の位置に応じたアナログ信号を発
    生する信号発生手段と、 前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
    換するＡ／Ｄ変換手段と、 変換されたデジタルデータより検出対象の位置データを
    得る演算手段とを備えたエンコーダ装置において、 前記アナログ信号を処理して位置データとして出力する
    までに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動する移動
    量を、 今回サンプリング位置と前回サンプリング位置との差で
    ある今回サンプリング周期移動量と前回サンプリング位
    置と前々回サンプリング位置との差である前回サンプリ
    ング周期移動量との内絶対値の小さい方を選択し、 該選択されたサンプリング周期移動量から前記アナログ
    信号を処理して位置データとして出力するまでに要する
    遅れ時間内に前記検出対象が移動する移動量を算出し
    て、 今回サンプリングして得られた位置データに上記算出さ
    れた移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエ
    ンコーダ出力補正手段を備えたことを特徴とするエンコ
    ーダ装置。
  2. 【請求項２】検出対象の位置に応じたアナログ信号を発
    生する信号発生手段と、 前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
    換するＡ／Ｄ変換手段と、 変換されたデジタルデータより検出対象の位置データを
    得る演算手段とを備えたエンコーダ装置において、 今回サンプリング位置と前回サンプリング位置との差で
    ある今回サンプリング周期移動量と前回サンプリング位
    置と前々回サンプリング位置との差である前回サンプリ
    ング周期移動量との内絶対値の小さい方を選択するとと
    もに、 今回サンプリング周期移動量と前回サンプリング周期移
    動量の差と前回サンプリング周期移動量と前々回サンプ
    リング周期移動量の差との内の小さい方を選択し、 選択された周期移動量と選択された周期移動量の差との
    和から前記アナログ信号を処理して位置データとして出
    力するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動す
    る移動量を算出して、 今回サンプリングして得られた位置データに上記算出さ
    れた移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエ
    ンコーダ出力補正手段を備えたことを特徴とするエンコ
    ーダ装置。
  3. 【請求項３】検出対象の位置に応じたアナログ信号を発
    生する信号発生手段と、 前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
    換するＡ／Ｄ変換手段と、 変換されたデジタルデータより検出対象の位置データを
    得る演算手段とを備えたエンコーダ装置において、 前記アナログ信号を処理して位置データとして出力する
    までに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動する移動
    量を、 今回サンプリング位置と前々回サンプリング位置との差
    である２サンプリング周期移動量を１／２倍した平均値
    から前記アナログ信号を処理して位置データとして出力
    するまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動する
    移動量を算出して、 今回サンプリングして得られた位置データに上記算出さ
    れた移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエ
    ンコーダ出力補正手段を備えたことを特徴とするエンコ
    ーダ装置。
  4. 【請求項４】検出対象の位置に応じたアナログ信号を発
    生する信号発生手段と、 前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
    換するＡ／Ｄ変換手段と、 変換されたデジタルデータより検出対象の位置データを
    得る演算手段とを備えたエンコーダ装置において、 今回サンプリング位置と前々回サンプリング位置との差
    である２サンプリング周期移動量と、 今回サンプリング位置と前回サンプリング位置との差で
    ある今回サンプリング周期移動量から前々回サンプリン
    グ位置と三回前サンプリング位置との差である前々回サ
    ンプリング周期移動量を引いて得られる２サンプリング
    周期間の移動量変化とを加算して１／２倍した平均値か
    ら前記アナログ信号を処理して位置データとして出力す
    るまでに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動する移
    動量を算出して、 今回サンプリングして得られた位置データに上記算出さ
    れた移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエ
    ンコーダ出力補正手段を備えたことを特徴とするエンコ
    ーダ装置。
  5. 【請求項５】検出対象の位置に応じたアナログ信号を発
    生する信号発生手段と、 前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
    換するＡ／Ｄ変換手段と、 変換されたデジタルデータより検出対象の位置データを
    得る演算手段とを備えたエンコーダ装置において、 モータ駆動装置が出力する電流値と今回サンプリング位
    置と前回サンプリング位置との差である今回サンプリン
    グ周期移動量の関係をあらかじめ関数として求めてお
    き、 前記アナログ信号を処理して位置データとして出力する
    までに要する遅れ時間内に前記検出対象が移動する移動
    量を、その求めた関数により現在のモータ駆動装置が出
    力する電流値から推定して、 今回サンプリングして得られた位置データに上記推定さ
    れた移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエ
    ンコーダ出力補正手段を備えたことを特徴とするエンコ
    ーダ装置。
  6. 【請求項６】検出対象の位置に応じたアナログ信号を発
    生する信号発生手段と、 前記アナログ信号をサンプリングしデジタルデータに変
    換するＡ／Ｄ変換手段と、 変換されたデジタルデータより検出対象の位置データを
    得る演算手段とを備えたエンコーダ装置において、 互いに９０゜位相のずれたパルスを発生するパルス信号
    発生手段と、 前記パルスのパルス数をカウントするカウンタとを用い
    て、 前記アナログ信号を処理して位置データとして出力する
    までに要する遅れ時間を計数して該遅れ時間内に前記検
    出対象が移動する移動量とし、 今回サンプリングして得られた位置データに上記計数さ
    れた移動量分の補正値を加えた位置データを出力するエ
    ンコーダ出力補正手段を備えたことを特徴とするエンコ
    ーダ装置。
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