JP6982951B2 - 赤外線用機能性膜付シリコン基板 - Google Patents
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Description
実施例1では、蒸着源にSi顆粒、Ge顆粒、ZnS顆粒を用意し、真空蒸着により、密着層としてSiを、高屈折率の第1反射膜層(薄膜層)としてGeを、低屈折率の第2反射膜層(薄膜層)としてZnSを、シリコン基板上にシリコン基板側から順番に積層し、反射防止膜付シリコン基板を得た。すなわち、高屈折率の第1反射膜層としてGeと低屈折率の第2反射膜層としてZnSとによって、反射防止膜層を形成した。ここで、シリコン基板としては、厚さ0.5mmのシリコン板を用いた。Siからなる密着層の膜厚は、物理膜厚で30nmとした。Geからなる第1反射膜層の膜厚は、物理膜厚で650nmとした。ZnSからなる第2反射膜層の膜厚は、物理膜厚で1100nmとした。得られた反射防止膜付シリコン基板の透過率を赤外分光光度計(PerkinElme Inc.Frontier)にて測定した。評価基準は、反射防止膜層を付ける前のシリコン基板の透過率(51%)より透過率が高かった場合には評価○、反射防止膜を付けていないシリコン基板の透過率(51%)以下であった場合には評価×とした。また、反射防止膜付シリコン基板に対して密着試験を行い、反射防止膜層とシリコン基板の密着性の評価を行った。密着試験は反射防止膜付シリコン基板に粘着テープ(ニチバン(株)テープNo.405) を強く貼り付け、それを素早く剥がし反射防止膜の剥がれの有無を確認した。この作業を3回繰り返し、反射防止膜層が剥離しなかった場合には評価○、反射防止膜層が一部でも剥離した場合には評価×とした。下記の実施例2、比較例1〜2についても同様の評価をした。評価結果を表1に示した。
反射防止膜層をGeからなる第1反射膜層とZnSからなる第2反射膜層とによって形成した代わりに、反射防止膜層を低屈折率の第1反射膜層としてZnSのみで形成した以外は、実施例1と同様に反射防止膜付シリコン基板を作製した。ZnSからなる第1反射膜層の膜厚は、物理膜厚で1100nmとした。
シリコン基板と反射防止膜層との間に密着層を形成しない以外は、実施例1と同様に反射防止膜付シリコン基板を作製した。
シリコン基板と反射防止膜層との間に密着層を形成しない以外は、実施例2と同様に反射防止膜付シリコン基板を作製した。
以上、表1で示されるように、シリコン基板と反射防止膜層との間にSiからなる密着層を設けた赤外線用機能性膜付シリコン基板の密着性が、シリコン基板と反射防止膜層との間にSiからなる密着層を設けない場合の密着性と比較して向上する。また、Siからなる密着層を用いた場合に、密着層の上に積層される薄膜層が高屈折材料又は低屈折材料のいずれの材料であっても、密着性を向上させることができる。
Claims (3)
- シリコン基板上に複数の薄膜を積層してなる赤外線用機能性膜付シリコン基板であって、
前記シリコン基板の少なくとも一方の面において、蒸着によって前記シリコン基板の上に形成されるSi層である密着層と、前記密着層の上に機能性膜層と、が前記シリコン基板側から第1層目に前記密着層と前記密着層の次の層に前記機能性膜層との順で形成されていることを特徴とする赤外線用機能性膜付シリコン基板。 - 請求項1の赤外線用機能性膜付シリコン基板において、
前記機能性膜層は、反射防止膜層であることを特徴とする赤外線用機能性膜付シリコン基板。 - 請求項1又は2の赤外線用機能性膜付シリコン基板において、
前記機能性膜層は、前記シリコン基板から最も外側の最終層が前記シリコン基板の屈折率より低い屈折率を有する材料からなる第1薄膜層であることを特徴とする赤外線用機能性膜付シリコン基板。
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