JP2005103453A - 溶液の塗布装置及び塗布装置の脱気方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 この発明は、ノズルを有するヘッド内の脱気を確実かつ能率よく行うことができるようにした塗布装置を提供することにある。
【解決手段】溶液をインクジェット方式によって噴射するノズル14を有するヘッド7と、貯蔵タンク32とヘッド7とを接続した供給管21と、供給管に設けられ溶液の液面の高さを設定する供給タンク31と、ヘッドの脱気を行なう際に貯蔵タンクの溶液を加圧して供給タンクを通じてヘッドに供給するガス供給管46と、供給管の貯蔵タンクと供給タンクとの間の部分に設けられたアスピレータ33と、ヘッドとアスピレータの吸引口とを接続しヘッドに供給されてそのノズルから噴射せずにヘッド内を流れた溶液がアスピレータの吸引作用によって流れる回収管23とを具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】溶液をインクジェット方式によって噴射するノズル14を有するヘッド7と、貯蔵タンク32とヘッド7とを接続した供給管21と、供給管に設けられ溶液の液面の高さを設定する供給タンク31と、ヘッドの脱気を行なう際に貯蔵タンクの溶液を加圧して供給タンクを通じてヘッドに供給するガス供給管46と、供給管の貯蔵タンクと供給タンクとの間の部分に設けられたアスピレータ33と、ヘッドとアスピレータの吸引口とを接続しヘッドに供給されてそのノズルから噴射せずにヘッド内を流れた溶液がアスピレータの吸引作用によって流れる回収管23とを具備する。
【選択図】 図1
Description
この発明は基板に溶液をインクジェット方式で噴射して塗布する塗布装置及その塗布装置の脱気方法に関する。
一般に、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスがある。この成膜プロセスでは、基板の板面にたとえば配向膜やレジストなどの機能性薄膜が形成される。
基板に機能性薄膜を形成する場合、この機能性薄膜を形成する溶液をノズルから噴射して基板の板面に塗付するインクジェット方式の塗布装置が用いられることがある。
この塗付装置は、基板を搬送する搬送テーブルを有しており、この搬送テーブルの上方には、上記ノズルが穿設された複数のヘッドが基板の搬送方向に対してほぼ直交する方向に沿ってたとえば千鳥状に並設されている。それによって、搬送される基板の上面には複数のノズルから溶液が搬送方向と交差する方向に所定間隔で噴射塗布されるようになっている。
インクジェット方式の塗布装置を用いて基板に溶液を塗付する場合、ヘッド内や溶液を供給する配管内などに気泡が残留していると、ノズルから噴射される液滴に気泡が含まれる。それによって、吐出不良となる可能性があるため、基板に溶液を均一に塗布することができないということがある。
そこで、上記塗布装置を使用する前に、上記ヘッドに溶液を加圧して供給し、上記ヘッド内に残留する気泡を、溶液とともに排出することで、ヘッド内の脱気を行なうようにしている。
上記塗布装置は、清浄な溶液が貯えられた貯蔵タンクを有する。この貯蔵タンクには供給タンクが配管接続されている。インクジェット方式によってノズルから溶液を噴射させる場合、ノズルに対向して設けられた圧電素子の伸縮によって一定量の溶液を基板に噴射させるため、上記ノズルの先端面と、供給タンクに収容された溶液の液面とをほぼ同等若しくはノズルの先端面よりも溶液の液面がわずかに低くなるようにしている。
上記供給タンクは溶液の液面の高さを設定するために設けられている。溶液の液面を所定の高さに設定することで、ノズルの先端面と、供給タンクに収容された溶液の液面との水頭差によってノズルから噴射される溶液量が変動するのを防止するようにしている。
従来、上記ヘッド内の脱気を行なう場合、貯蔵タンクに貯えられた清浄な溶液を第1の加圧手段によって供給タンクに供給する。供給タンクに所定量の溶液が貯えられたならば、第1の加圧手段による貯蔵タンクの加圧を停止し、第2の加圧手段によって供給タンクに貯えられた溶液を加圧してヘッドに供給する。
ヘッドに供給された溶液の大半、つまりノズルから流出する溶液以外はヘッド内を流れ、このヘッド内の気泡とともに回収管に流出し、この回収管を通って上記貯蔵タンクに回収されるようになっている。つまり、ヘッドの脱気を行なっているときには供給タンク内が加圧されているから、ヘッド内を流れた溶液は供給タンクに戻すことができず、貯蔵タンクに戻すようにしている。
上述したようにヘッドの脱気を行なうためには、貯蔵タンクに貯えられた溶液を供給タンクに貯めなければならない。そのため、供給タンクに溶液を貯めるのに時間が掛かり、脱気を能率よく行なうことができないということがあった。
しかも、脱気を行なうためには、供給タンク内の溶液を加圧する加圧手段が脱気専用に必要となるから、供給タンクに脱気手段を設けなければならないことで、構成の複雑化やコストの上昇を招くということがある。さらに、ヘッドの数が多い場合、全てのヘッドを同時に脱気できるだけの量の溶液が必要となるから、供給タンクをそれだけの量を貯えることができる大きさにしなければならず、そのことによっても装置の大型化を招くことになる。
一方、ヘッドに溶液を供給する配管は屈曲しているから、この配管を流れる溶液は屈曲箇所で圧力変動することが避けられない。溶液が圧力変動すると、それによって気泡が発生するから、ヘッドに供給される溶液に気泡が含まれることになる。
そこで、ヘッドの上流側に溶液に含まれる気体を分離除去する脱気手段を設け、気泡が含まれていない溶液をヘッドに供給するようにしている。ヘッドの上流側に脱気手段を設けた場合、この脱気手段に排気管を接続し、脱気手段で分離された気体を排気管を通じて排出させるようにしている。
しかしながら、脱気手段に排気管が接続されていると、ヘッドの脱気時にこのヘッドに溶液が加圧されて供給されると、その溶液はヘッドに比べて流路抵抗の小さい上記排気管に流れ、ヘッド側には流れ難くなるので、ヘッドの脱気を確実に行うことができなくなるということがある。
この発明は、溶液を貯蔵タンクから供給タンクを経てヘッドに連続的に流してヘッドの脱気を行なうことができるようにすることで、ヘッド内の脱気を行なうのに要する時間を短縮できるようにした塗布装置及び脱気方法を提供することにある。
この発明は、ヘッドの上流側に、ヘッドに供給される溶液に含まれる気泡を除去する脱気手段が設けられている場合であっても、ヘッドの脱気時に供給タンクから供給された溶液をヘッドに確実に流すことができるようにした塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
この発明は、基板に溶液を噴射塗布する溶液の塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液を貯蔵した貯蔵タンクと、
この貯蔵タンクと上記ヘッドとを接続した供給管と、
この供給管の中途部に設けられ上記基板に溶液を噴射塗布する際に上記溶液の液面の高さを設定する供給タンクと、
上記ヘッドの脱気を行なう際に上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧してその溶液を上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する加圧手段と、
流入口、流出口及び吸引口を有し、上記供給管の上記貯蔵タンクと上記供給タンクとの間の部分に流入口と流出口を介して設けられたアスピレータと、
上記ヘッドと上記アスピレータの吸引口とを接続し上記ヘッドに供給されてそのノズルから噴射せずに上記ヘッド内を流れた溶液が上記アスピレータの吸引作用によって流れる回収管と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液を貯蔵した貯蔵タンクと、
この貯蔵タンクと上記ヘッドとを接続した供給管と、
この供給管の中途部に設けられ上記基板に溶液を噴射塗布する際に上記溶液の液面の高さを設定する供給タンクと、
上記ヘッドの脱気を行なう際に上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧してその溶液を上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する加圧手段と、
流入口、流出口及び吸引口を有し、上記供給管の上記貯蔵タンクと上記供給タンクとの間の部分に流入口と流出口を介して設けられたアスピレータと、
上記ヘッドと上記アスピレータの吸引口とを接続し上記ヘッドに供給されてそのノズルから噴射せずに上記ヘッド内を流れた溶液が上記アスピレータの吸引作用によって流れる回収管と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記供給タンク内には、上記アスピレータを通って上記供給タンクに流れる溶液に含まれる気泡を分離する気泡分離手段が設けられていることが」好ましい。
この発明は、基板に塗布される溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドの脱気を、貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧し、この溶液を上記基板に溶液を噴射塗布する際に溶液の液面の高さを設定する供給タンクを通じて上記ヘッドに流して行なう脱気方法において、
上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧し上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する工程と、
上記溶液を上記ヘッド内を流すことで、このヘッド内の気泡を溶液とともに流出させる工程と、
上記ヘッドから流出した気泡を含む溶液を、上記ヘッドに加圧供給される溶液の流れによって吸引して上記供給タンクに戻す工程と
を具備したことを特徴とする塗布装置の脱気方法にある。
上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧し上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する工程と、
上記溶液を上記ヘッド内を流すことで、このヘッド内の気泡を溶液とともに流出させる工程と、
上記ヘッドから流出した気泡を含む溶液を、上記ヘッドに加圧供給される溶液の流れによって吸引して上記供給タンクに戻す工程と
を具備したことを特徴とする塗布装置の脱気方法にある。
この発明は、基板に溶液を噴射塗布する溶液の塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液を貯蔵した貯蔵タンクと、
この貯蔵タンクと上記ヘッドとを接続した供給管と、
この供給管の中途部に設けられ上記基板に溶液を噴射塗布する際に上記溶液の液面の高さを設定する供給タンクと、
上記ヘッドの脱気を行なう際に上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧してその溶液を上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する加圧手段と、
上記供給タンクと上記ヘッドの間に設けられこの供給タンクからヘッドに流れる溶液に含まれる気泡を除去する脱気手段と、
上記加圧手段によって加圧されて上記脱気手段から上記ヘッド内を流れこのヘッド内を脱気した溶液が流出する回収管と、
上記脱気手段と上記回収管とを接続し上記脱気手段で脱気された気泡を上記回収管へ排出するとともに、上記加圧手段で加圧された溶液を上記脱気手段を通じて上記ヘッドに流しこのヘッド内の脱気を行なうときに、その溶液の一部だけが上記回収管へ流れ残りの大半の溶液が上記ヘッドに流れるよう内径寸法が設定された排気管と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液を貯蔵した貯蔵タンクと、
この貯蔵タンクと上記ヘッドとを接続した供給管と、
この供給管の中途部に設けられ上記基板に溶液を噴射塗布する際に上記溶液の液面の高さを設定する供給タンクと、
上記ヘッドの脱気を行なう際に上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧してその溶液を上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する加圧手段と、
上記供給タンクと上記ヘッドの間に設けられこの供給タンクからヘッドに流れる溶液に含まれる気泡を除去する脱気手段と、
上記加圧手段によって加圧されて上記脱気手段から上記ヘッド内を流れこのヘッド内を脱気した溶液が流出する回収管と、
上記脱気手段と上記回収管とを接続し上記脱気手段で脱気された気泡を上記回収管へ排出するとともに、上記加圧手段で加圧された溶液を上記脱気手段を通じて上記ヘッドに流しこのヘッド内の脱気を行なうときに、その溶液の一部だけが上記回収管へ流れ残りの大半の溶液が上記ヘッドに流れるよう内径寸法が設定された排気管と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
この発明は、基板に塗布される溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドの脱気を行なう脱気方法において、
加圧された溶液を脱気手段で脱気して上記ヘッドに供給する工程と、
上記ヘッドに供給された溶液をこのヘッド内を流して回収管に流出させることで上記ヘッド内を脱気する工程と、
上記脱気手段で脱気された気体を排気管によって上記回収管へ流す工程と、
上記脱気手段に加圧されて供給された溶液の一部だけを上記排気管に流し、残りの大半の溶液を上記脱気手段を通して上記ヘッドに流す工程と
を具備したことを特徴とする塗布装置の脱気方法にある。
加圧された溶液を脱気手段で脱気して上記ヘッドに供給する工程と、
上記ヘッドに供給された溶液をこのヘッド内を流して回収管に流出させることで上記ヘッド内を脱気する工程と、
上記脱気手段で脱気された気体を排気管によって上記回収管へ流す工程と、
上記脱気手段に加圧されて供給された溶液の一部だけを上記排気管に流し、残りの大半の溶液を上記脱気手段を通して上記ヘッドに流す工程と
を具備したことを特徴とする塗布装置の脱気方法にある。
この発明によれば、貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧して供給タンクを通してヘッドに供給し、このヘッドから供給タンクに戻すことができるから、ヘッドの脱気を行なう際に、貯蔵タンクの溶液を供給タンクに移し変えずに行なえる。
この発明によれば、加圧された溶液を脱気手段を通してヘッドに供給してこのヘッドの脱気を行なう際、上記脱気手段に接続された気泡を排出する排気管に溶液が流れるのが制限され、上記ヘッドに溶液を流すことができるから、このヘッドの脱気を確実に行うことができる。
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施の形態を説明する。
図1と図2に示すこの発明の溶液の塗布装置はベース1を有する。ベース1の上面には所定間隔で離間した一対のレール2がベース1の長手方向に沿って敷設されている。上記レール2にはテーブル3が走行可能に設けられ、図示しない駆動源によって走行駆動されるようになっている。テーブル3の上面には多数の支持ピン4が設けられ、これら支持ピン4にはたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板Wが供給支持される。
上記テーブル3とともに駆動される基板Wの上方には、上記基板Wにたとえばポリイミド膜などの機能性薄膜を形成するための溶液をインクジェット方式で噴射塗布する滴下部としての複数のヘッド、この実施の形態では3つのヘッド7が基板Wの走行方向と交差する方向に沿って一列に配設されている。
上記ヘッド7は図3に示すようにヘッド本体8を備えている。ヘッド本体8は筒状に形成され、その下面開口は可撓板9によって閉塞されている。この可撓板9はノズルプレート11によって覆われており、このノズルプレート11と上記可撓板9との間に液室12が形成されている。
上記ヘッド本体8の長手方向一端部には上記液室12に連通する供液孔13が形成されている。この供液孔13から上記液室12にはたとえば配向膜やレジストなどの機能性薄膜を形成する液体としての溶液が供給される。それによって、上記液室12内は溶液で満たされるようになっている。
図4に示すように、上記ノズルプレート11には、基板Wの搬送方向に直交する方向に沿って複数のノズル14が千鳥状に穿設されている。上記可撓板9の上面には、図3に示すように上記各ノズル14にそれぞれ対向して複数の圧電素子15が設けられている。
各圧電素子15には上記ヘッド本体8内に設けられた駆動部16によって駆動電圧が供給される。それによって、圧電素子15は伸縮し、可撓板9を部分的に変形させるから、その圧電素子15に対向位置するノズル14から溶液が基板Wの上面に噴射塗付される。
図3に示すように、上記ヘッド本体8の長手方向他端部には上記液室12に連通する回収孔17が形成されている。上記給液孔13から液室12に供給された溶液は、上記回収孔17から回収することができるようになっている。すなわち、上記ヘッド7は上記液室12に供給された溶液をノズル14から噴射させるだけでなく、上記液室12を通じて上記回収孔17から回収することが可能となっている。
図1と図3に示すように、各ヘッド7の給液孔13には溶液の供給管21から分岐された供給分岐管22が接続され、回収孔17には回収管23から分岐された回収分岐管24が接続されている。上記供給分岐管22には供給開閉弁25と後述する構成の脱気装置71とが順次設けられ、回収分岐管24には回収開閉弁26が設けられている。上記供給管21と回収管23との先端は連通弁27を介して接続されている。さらに、回収管23には回収分岐管24よりも基端側の部分に主回収弁28が設けられている。
上記供給管21の基端は上記溶液Lが収容された貯液装置としての後述する構成の供給タンク31の底部に接続されている。この供給タンク31の上部には、中途部にアスピレータ33が設けられた供給分岐管34の一端が接続されている。この供給分岐管34の他端は上記供給タンク31に供給する溶液Lを貯蔵した貯蔵タンク32に接続されている。
上記供給タンク31の上部には大気開放管35が接続されている。この大気開放管35には第1の開閉制御弁36が設けられている。第1の開閉制御弁36が開放されれば、上記供給タンク31内が大気に連通する。なお、大気開放管35は、この大気開放管35から後述するように大気に放散される気体に含まれる気化溶媒を処理するための図示しない処理装置を介して大気に連通する。したがって、大気開放管35を流れる気体は抵抗を受けることになる。
上記アスピレータ33は流入口33a,流出口33b及び吸引口33cを有し、上記流入口33aと流出口33bを上記供給分岐管34に接続して設けられている。上記吸引口33cには上記回収管23の基端が接続されている。上記供給分岐管34に溶液が流れてアスピレータ33の上記流入口33aを通って流出口33bから流出すると、上記吸引口33cが負圧になる。その負圧力で、吸引口33cに接続された回収管23に溶液が流れるようになっている。
上記貯蔵タンク32の上部には、上記供給タンク31と同様、第2の開閉制御弁43を有する大気開放管44が接続されている。さらに、第3の開閉制御弁45を有するガス供給管46が接続されている。このガス供給管46にはフィルタ47及び第4の開閉制御弁48が順次接続されている。第4の開閉制御弁48には流量絞り弁49が並列に設けられている。
なお、上記供給開閉弁25、回収開閉弁26、主回収弁28、第1乃至第4の開閉制御弁36,43,45,48は図示しない制御装置によって開閉が制御されるようになっている。さらに、供給タンク31内の溶液Lの液面はレベルセンサ50によって検出される。溶液Lの液面が所定以下になったことがレベルセンサ50によって検出されると、その検出に基いて貯蔵タンク32から溶液Lが補給される。つまり、貯蔵タンク32内の溶液Lが第3の開閉制御弁45を通じて供給される不活性ガスによって加圧されることで、上記溶液Lが上記供給タンク31に補給される。
図2に示すように、上記テーブル3の一端面には側面形状がL字状の取付け部材51が垂直な一辺を上記テーブル3の端面に固定して設けられている。この取付け部材51の水平な他辺には上下シリンダ52が軸線を垂直にして設けられている。
上記上下シリンダ52のロッドには弾性部材53を介して載置板54が取付けられている。この載置板54の上面には各ヘッド7に対応する長さのブレード状のゴムなどの弾性材からなる3つのワイピング部材58設けられている。
上記載置板54は回収槽61の内底部に設けられている。この回収槽61の一側にはガイド板62が設けられ、このガイド板62にはガイド部材63が設けられている。このガイド部材63は上記テーブル3の端面に上下方向に沿って設けられたガイドレール64にガイドされて上下動可能となっている。
それによって、上記上下シリンダ52が駆動されれば、上記載置板54が駆動されるとともに、ガイド板62がガイドレール64に沿って上下動するから、載置板54が前後左右方向に振れるのが規制されて上下動する。
上記回収槽61には図1に示す回収タンク65が接続されている。この回収タンク65は、上記ヘッド7やノズル14の気泡抜きを行なう際、ノズル14から回収槽61に噴射される溶液を回収する。
基板Wに溶液Lを塗布する際、ワイピング部材58をヘッド7のノズル14が開口したノズル面に接触する高さに設定しておけば、基板Wがヘッド7の下方を往復動する際にノズル面に付着残留する溶液Lを拭き取ることができる。
上記脱気装置71は上記供給管21から分岐された、上記供給分岐管22の、上記供給開閉弁25とヘッド本体8との間の部分(この部分を介装部分とする)に介装されている。すなわち、この脱気装置71は図5に示すように円筒状の容器72を有する。この容器72の周壁の上部には供給部としての第1の接続部71aが形成されている。この第1の接続部71aには、上記供給分岐管22の上記介装部分の上流部22aが接続される。それによって、容器72内には上記供給タンク31からの溶液Lが供給される。
上記容器72の底部には上記供給分岐管22の介装部分の下流部22bが接続される、流出部としての第2の接続部71bが形成されている。それによって、容器72内に供給された溶液Lは底部から上記ヘッド本体8の給液孔13に供給される。
上記容器72の内底部には気体分離部材73が設けられている。この気体分離部材73は、気泡が付着し易い材料、すなわち溶液Lとの接触角が10°より大きい材料、たとえば溶液がポリイミドの場合は、フッ素系やナイロン系などの合成樹脂によって網目状に形成されている。それによって、上記容器72内に供給された溶液Lが気液分離部材73の網目を通って底部に接続された供給分岐管22の介装部分の下流部22bからヘッド本体8へ流出するとき、溶液に含まれた気泡が上記気液分離部材73に付着して容器72内に残留する。
気液分離部材73に付着残留した小さな気泡bは寄り集まって大きな気泡Bに成長し、浮力が増大すると容器72内を浮上する。容器72の上部にはこの発明の排気部となる排気管74の一端が接続される、排気部としての第3の接続部71cが形成されている。この排気管74の他端は上記回収管23に回収分岐管24を介して接続されている。それによって、容器72内を浮上した気泡Bは上記排気管74から回収管23を通って貯蔵タンク32に流入し、この貯蔵タンク32に接続された大気開放管44から大気中に放散される。
上記容器72の直径をD、容器72内へ供給される溶液Lの流量をQ、容器72内を浮上する気泡の直径をa、溶液Lの粘度をζ、気泡密度をρ1 、溶液密度をρ2 、重力加速度をgとすると、
D>[(4Q/π)×{6πaζ/(4πa3 ρ1 g/3)
−(4πa3 ρ2 g/3)}]1/2 …(1)式
の関係を満足するよう、Dを設定することで、容器72内で成長した気泡Bを、容器72に流入する溶液Lの速度に抗して浮上させることができる。
D>[(4Q/π)×{6πaζ/(4πa3 ρ1 g/3)
−(4πa3 ρ2 g/3)}]1/2 …(1)式
の関係を満足するよう、Dを設定することで、容器72内で成長した気泡Bを、容器72に流入する溶液Lの速度に抗して浮上させることができる。
なお、容器72は気泡が付着し難い材料、すなわち、溶液Lとの接触角が10°より小さい材料、たとえば溶液Lがポリイミドの場合はガラスなどによって形成されるが、それ以外にステンレスなどの金属やセラミックなど、比較的気泡が付着し難い材料で形成してもよい。上記気体分離部材74は全体を合成樹脂によって網目状に形成されているが、ステンレスなどの金属製のメッシュに合成樹脂をコーティングして形成してもよく、要は少なくとも表面を気泡が付着し易い合成樹脂によって形成すればよい。
貯蔵タンク32内の溶液Lが第3の開閉制御弁45を通じて供給される不活性ガスによって加圧されると、上記溶液Lが上記供給タンク31に補給される。供給タンク31への溶液の供給を継続し、この供給タンク31内の圧力が上昇すると、溶液は供給タンク31から流出し、上記脱気装置71の容器72内へ上記供給分岐管22の上流部22aを通って流入する。
上記容器72には、ヘッド7の給液孔13に連通する供給分岐管22の下流部22bと、溶液から除去した気泡が流出する気泡Bが流出する排気管とが接続されている。そのため、上記上流部22aから容器72内に流入した溶液は下流部22bと通ってヘッド7へ流れず、排気管74に流れる虞がある。
そこで、上記排気管74に流れる溶液の抵抗を、この排気管74の内径寸法を上記下流部22bの内径寸法よりも小さくしてこの下流部22bよりも十分に大きくすることで、上流部22aから容器72内に流入した溶液のほとんどが上記下流部22bに流れるよう、設定されている。すなわち、上記排気管74は、流量配分の条件式である、
Σh=ΣkQ2=0 …(2)式
を満たす配管形状に設定されている。
Σh=ΣkQ2=0 …(2)式
を満たす配管形状に設定されている。
たとえば、排気管74の圧力損失をh、内径をDとすると、マニングの公式より、
h=kQ2 …(3)式
ただし、kはk=10.20n2L/D16/3であり、Lは排気管74の長さ、Qが流量、nは粗度係数で、排気管74が塩化ビニル、ガラス或いは鉛であれば、0.009〜0.012である。
h=kQ2 …(3)式
ただし、kはk=10.20n2L/D16/3であり、Lは排気管74の長さ、Qが流量、nは粗度係数で、排気管74が塩化ビニル、ガラス或いは鉛であれば、0.009〜0.012である。
図7は脱気装置71の部分の配管系統の模式図で、上流部22aは内径寸法が4mmで、流量Qの溶液が供給されるとする。排気管74の内径をD1、長さをL1、排気管に流れる溶液の流量をQ1とし、回収分岐管24の内径寸法をD2、長さをL2、溶液の流量をQ2とする。
そして、L1を100mm、L2を200mm、D2を4mmに設定して排気管74の内径寸法を図8に示すように変化させたときに回収分岐管24に流れる溶液の流量Q2を測定したところ、排気管74の内径寸法が1mmでは上流部22aに供給された溶液の80%が流れ、2mmでは約70%とであり、4mmで約40%となった。
すなわち、排気管74と回収分岐管24との長さや内径寸法を設定することで、上流部22aから容器72に供給された溶液がヘッド7と排気管74とに流れる割合を設定することができ、この実施の形態ではQ1:Q2=2:8、好ましくは1:9に設定される。それによって、上流部22aからの溶液をヘッド7に確実に流すことができるから、用液によるヘッド7の脱気を確実に行うことができる。
上記供給タンク31は、図6に示すようにタンク本体81を備えている。このタンク本体81はガラスなどの気泡が付着し難い材料或いは金属やセラミックなどの気泡が比較的付着しにくい材料、すなわち溶液Lとの接触角が10°より小さい材料によって円筒状に形成されているとともに、下端には次第に小径となる逆円錐状の漏斗部82及びこの漏斗部82に連続する小径円筒部83が連設されている。なお、タンク本体81を形成する材料は限定されるものでない。
上記タンク本体81内には、内部を分離室84とした気泡分離手段としての分離容器85が収容され、図示しない保持部材によって保持されている。この分離容器85は、気泡が付着し難いガラス、或いは比較的気泡が付着し難い金属やセラミックなどの材料、すなわち溶液Lとの接触角が10°より小さい材料によって上端面及び先端面が開放した逆円錐状に形成されている。この分離容器85の下端部は、上記タンク本体81の小径円筒部83内に隙間のある状態で挿入されている。この分離容器85の先端部は側方に向かって屈曲されていて、開口した先端面85aは上記小径円筒部83の内周面に近接している。
上記供給分岐管34の先端は、上記タンク本体81の周壁を気密に貫通し、上記分離容器85の周壁の上部の内周面に対して接線方向に沿って接続されている。上記溶液供給管21の基端は、上記タンク本体81の小径円筒部83の先端に接続されている。
上記供給分岐管34から分離容器85内に接線方向に沿って供給される溶液Lは、分離容器85の内周面を図6に矢印で示すように旋回しながら落下する。溶液Lが分離容器85の内周面に沿って旋回すると、溶液Lに遠心力が作用する。そのため、溶液Lに気泡bが含まれていると、気泡bと溶液Lとの密度差によって溶液Lから気泡bが分離して旋回中心に集まり、分離容器85内を浮上する。タンク本体81の上面に接続された大気開放管35を開放すれば、分離容器85内を浮上した気泡bは、大気開放管35から大気に放散させることができる。
分離容器85内を旋回しながら落下する溶液Lは、その先端面85aから流出してタンク本体81内に溜まる。タンク本体81内の溶液Lの液面は、その液面とヘッド7のノズル面とがなす水頭h(図1に示す)が一定になるよう、レベルセンサ50によって制御される。
溶液Lが分離容器85の先端面85aから流出する際、溶液Lはタンク本体81の小径円筒部83の内周面に衝突する。そのため、分離容器85を落下する溶液Lに気泡bが残留していたとしても、衝突時に気泡bをタンク本体81の内壁に沿わせ溶液Lから気泡bが分離され、タンク本体81内を浮上して排出される。
上記構成の塗布装置において、基板Wに溶液を塗布する前に、ヘッド7の脱気が行なわれる。脱気を行なうには、貯蔵タンク32にガス供給管46を通じて不活性ガスを供給し、この貯蔵タンク32に貯蔵された溶液を加圧する。それによって、溶液は供給タンク31に流れる。
溶液が供給され続けることで、供給タンク31内の圧力が上昇すると、その溶液は供給管21から分岐供給管22の上流部22aを通り、脱気装置71の容器72に流入する。容器72に流入した溶液は、下流部22bから流出してヘッド7の液室12に流入し、この液室12に残留する気泡とともに液室12から分岐回収管24を通って回収管23に流れる。ヘッド7の液室12に流入した溶液の一部はノズル14から流出する。溶液の一部がノズル14から流出することで、その流出量に応じた流量が貯蔵タンク32から供給タンク31に供給され続ける。
上記回収管23の基端はアスピレータ33の吸引口33cに接続されている。溶液が貯蔵タンク32から供給タンク31へ流れることで、上記アスピレータ33の吸引口33cが負圧になる。それによって、ヘッド7の液室12の脱気を行い回収管23に流れた溶液がアスピレータ33を通って供給タンク31に戻る。供給タンク31に戻った溶液は、この内部に設けられた分離容器85で脱気されてからヘッド7に供給されることになる。
供給タンク31に溶液から脱気された気泡が溜まったならば、大気開放管35に設けられた第1の開閉制御弁36を開放することで、大気に放散される。
このように、貯蔵タンク32内の溶液を加圧して供給タンク31に供給しながらヘッド7内の脱気を行なうことができるから、貯蔵タンク32内の溶液を供給タンク31に所定量貯めてから、ヘッド7に供給して脱気を行なう場合に比べ、脱気を行なうために要する時間を短縮することができる。しかも、供給タンク31内の溶液を加圧する加圧手段としての配管系統が不要となるから、構成を簡略化することができる。
さらに、溶液を貯蔵タンク32から供給タンク31に供給しながらヘッド7内の脱気を行なうため、供給タンク31の容積を十分に小さくし、この供給タンク31に貯えられる溶液の量を少なくしても、ヘッド7内の脱気に支障をきたすことがない。つまり、供給タンク31を小型化することが可能となる。
なお、ヘッド7内の脱気を行なえば、それと同時に、溶液が流れる配管の脱気も行なわれることになる。
なお、ヘッド7内の脱気を行なえば、それと同時に、溶液が流れる配管の脱気も行なわれることになる。
一方、ヘッド7には、溶液が脱気装置71を通って供給される。脱気装置71の容器72には排気管74が接続されている。そのため、脱気装置71に供給された溶液は、ヘッド7に流入せずに、排気管74を通って回収管23に流れてしまう虞がある。
しかしながら、排気管74を流れる溶液の抵抗が供給分岐管22の下流部分22bを通ってヘッド7に流れる溶液の抵抗よりも十分に大きくなるよう、たとえば上記排気管74の内径寸法や長さなどによって設定した。
そのため、容器72に供給される溶液のほとんどは、排気管74に流れず、ヘッド7に流れることになるから、このヘッド7内の脱気を確実に行うことが可能となる。つまり、ヘッド7に供給される溶液を、このヘッド7の上流側に設けられた脱気装置71で脱気する構造であっても、上記脱気装置71によってヘッド7の脱気が確実に行なえなくなるのを防止することができる。
ヘッド7や配管の脱気を行なったならば、ヘッドの流出側に設けられた回収開閉弁26を閉じ、ヘッド7に供給された溶液をノズル14から流出させる。それによって、ノズル14に付着する気泡を除去することができる。
このようにして、各部の脱気を行なったならば、供給タンク31内の溶液の液面をヘッド7のノズル14が形成された面に対して所定の水頭hとなるよう設定する。ついで、基板Wをテーブル3によって搬送し、ヘッド7の下方に搬送されてきたならば、駆動部16によって圧電素子15に通電し、ヘッド7の液室12に供給された溶液Lをノズル14から基板Wに噴射する。それによって、基板Wに溶液Lを噴射塗布することができる。
上記一実施の形態では基板にポリイミド膜を形成するための塗布装置にこの発明の脱気装置を適用した場合について説明したが、基板に液晶を滴下供給したり、レジスト、エッチング液或いは現像液などを滴下供給する場合などであっても、この発明の塗布装置を用いることができる。
7…ヘッド、14…ノズル、21…供給管、23…回収管、31…供給タンク、32…貯蔵タンク、33…アスピレータ、34…供給分岐管、35…大気開放管、45…第3の開閉弁(加圧手段)、46…ガス供給管(加圧手段)、71…脱気装置(脱気手段)、74…排気管。
Claims (5)
- 基板に溶液を噴射塗布する溶液の塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液を貯蔵した貯蔵タンクと、
この貯蔵タンクと上記ヘッドとを接続した供給管と、
この供給管の中途部に設けられ上記基板に溶液を噴射塗布する際に上記溶液の液面の高さを設定する供給タンクと、
上記ヘッドの脱気を行なう際に上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧してその溶液を上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する加圧手段と、
流入口、流出口及び吸引口を有し、上記供給管の上記貯蔵タンクと上記供給タンクとの間の部分に流入口と流出口を介して設けられたアスピレータと、
上記ヘッドと上記アスピレータの吸引口とを接続し上記ヘッドに供給されてそのノズルから噴射せずに上記ヘッド内を流れた溶液が上記アスピレータの吸引作用によって流れる回収管と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。 - 上記供給タンク内には、上記アスピレータを通って上記供給タンクに流れる溶液に含まれる気泡を分離する気泡分離手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。
- 基板に塗布される溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドの脱気を、貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧し、この溶液を上記基板に溶液を噴射塗布する際に溶液の液面の高さを設定する供給タンクを通じて上記ヘッドに流して行なう脱気方法において、
上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧し上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する工程と、
上記溶液を上記ヘッド内を流すことで、このヘッド内の気泡を溶液とともに流出させる工程と、
上記ヘッドから流出した気泡を含む溶液を、上記ヘッドに加圧供給される溶液の流れによって吸引して上記供給タンクに戻す工程と
を具備したことを特徴とする塗布装置の脱気方法。 - 基板に溶液を噴射塗布する溶液の塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液を貯蔵した貯蔵タンクと、
この貯蔵タンクと上記ヘッドとを接続した供給管と、
この供給管の中途部に設けられ上記基板に溶液を噴射塗布する際に上記溶液の液面の高さを設定する供給タンクと、
上記ヘッドの脱気を行なう際に上記貯蔵タンクに貯蔵された溶液を加圧してその溶液を上記供給タンクを通じて上記ヘッドに供給する加圧手段と、
上記供給タンクと上記ヘッドの間に設けられこの供給タンクからヘッドに流れる溶液に含まれる気泡を除去する脱気手段と、
上記加圧手段によって加圧されて上記脱気手段から上記ヘッド内を流れこのヘッド内を脱気した溶液が流出する回収管と、
上記脱気手段と上記回収管とを接続し上記脱気手段で脱気された気泡を上記回収管へ排出するとともに、上記加圧手段で加圧された溶液を上記脱気手段を通じて上記ヘッドに流しこのヘッド内の脱気を行なうときに、その溶液の一部だけが上記回収管へ流れ残りの大半の溶液が上記ヘッドに流れるよう内径寸法が設定された排気管と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。 - 基板に塗布される溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドの脱気を行なう脱気方法において、
加圧された溶液を脱気手段で脱気して上記ヘッドに供給する工程と、
上記ヘッドに供給された溶液をこのヘッド内を流して回収管に流出させることで上記ヘッド内を脱気する工程と、
上記脱気手段で脱気された気体を排気管によって上記回収管へ流す工程と、
上記脱気手段に加圧されて供給された溶液の一部だけを上記排気管に流し、残りの大半の溶液を上記脱気手段を通して上記ヘッドに流す工程と
を具備したことを特徴とする塗布装置の脱気方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003340817A JP2005103453A (ja) | 2003-09-30 | 2003-09-30 | 溶液の塗布装置及び塗布装置の脱気方法 |
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JP2005103453A true JP2005103453A (ja) | 2005-04-21 |
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JP2003340817A Pending JP2005103453A (ja) | 2003-09-30 | 2003-09-30 | 溶液の塗布装置及び塗布装置の脱気方法 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009248513A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Ulvac Japan Ltd | 印刷装置 |
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US8500262B2 (en) | 2008-10-08 | 2013-08-06 | Konica Minolta Ij Technologies, Inc. | Inkjet recording device |
JP7503614B2 (ja) | 2021-12-31 | 2024-06-20 | サムス カンパニー リミテッド | 液体トラップタンク及び液体トラップタンク用液体供給ユニット |
-
2003
- 2003-09-30 JP JP2003340817A patent/JP2005103453A/ja active Pending
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