JP5871601B2 - 被検光学系の収差を算出する装置、方法およびトールボット干渉計 - Google Patents
被検光学系の収差を算出する装置、方法およびトールボット干渉計 Download PDFInfo
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- 被検光学系の収差を算出する算出装置であって、
前記被検光学系からの光を複数の回折光に分割する回折格子と前記複数の回折光による干渉縞を検出する検出器とを有するトールボット干渉計を用いて検出された前記干渉縞の画像データを取得する取得部と、
前記干渉縞の画像データを用いて第1の波面を復元し、かつ、
前記回折格子に入射する第2の波面の値を設定して、前記複数の回折光による干渉縞の画像をシミュレーションにより計算し、該計算された前記干渉縞の画像データを用いて第3の波面を復元する演算部とを有し、
前記演算部は、
前記トールボット干渉計における光軸に垂直な面内における前記回折格子の位置を変更することにより、該検出された干渉縞および該シミュレーションによって計算された干渉縞のキャリア周波数成分の位相を一致させて前記第3の波面を復元し、前記第2の波面および前記第3の波面を用いて前記第1の波面に含まれる誤差を低減して前記被検光学系の収差を算出することを特徴とする算出装置。 - 前記演算部は、該検出された干渉縞のキャリア周波数成分の位相をθe、該シミュレーションにより計算された干渉縞のキャリア周波数成分の位相をθs、前記回折格子の回折ピッチをdとして、前記回折格子を面内方向にd×(θs−θe)/2πだけ移動させることにより、前記第3の波面を復元することを特徴とする請求項1に記載の算出装置。
- 前記演算部は、
前記第3の波面から前記第2の波面を引いた波面を前記第1の波面から除いた波面を、前記回折格子に入射する第2の波面の新たな値として設定し、前記複数の回折光による干渉縞の画像をシミュレーションにより計算し、該計算された前記干渉縞の画像データを用いて新たな第3の波面を復元する処理を繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の算出装置。 - 被検光学系の収差を算出する算出装置であって、
前記被検光学系からの光を複数の回折光に分割する回折格子と前記複数の回折光による干渉縞を検出する検出器とを有するトールボット干渉計を用いて検出された前記干渉縞の画像データを取得する取得部と、
前記干渉縞の画像データを用いて第1の波面を復元し、かつ、
前記回折格子に入射する第2の波面の値を設定して、前記複数の回折光による干渉縞の画像をシミュレーションにより計算し、該計算された前記干渉縞の画像データを用いて第3の波面を復元する演算部とを有し、
前記演算部は、
該検出された干渉縞および該シミュレーションによって計算された干渉縞のキャリア周波数成分の位相が一致するように、前記トールボット干渉計における光軸に垂直な面内における前記回折格子の位置を調整した状態で検出された干渉縞の画像データを用いて前記第1の波面を復元し、前記第2の波面および前記第3の波面を用いて前記第1の波面に含まれる誤差を低減して前記被検光学系の収差を算出することを特徴とする算出装置。 - 請求項1乃至4の何れか1項に記載の算出装置と、
被検光学系を透過した光を複数の回折光に分割する回折格子と、
前記複数の回折光による干渉縞を検出する検出器と、を有するトールボット干渉計。 - 被検光学系の収差を算出する算出方法であって、
前記被検光学系からの光を複数の回折光に分割する回折格子と前記複数の回折光による干渉縞を検出する検出器とを有するトールボット干渉計を用いて検出された前記干渉縞の画像データを取得するステップと、
前記干渉縞の画像データを用いて第1の波面を復元するステップと、
前記回折格子に入射する第2の波面の値を設定して、前記複数の回折光による干渉縞の画像をシミュレーションにより計算し、該計算された前記干渉縞の画像データを用いて第3の波面を復元するシミュレーションステップと、
前記第2の波面および前記第3の波面を用いて前記第1の波面に含まれる誤差を低減して前記被検光学系の収差を算出するステップとを有し、
前記シミュレーションステップにおいて、
前記トールボット干渉計における光軸に垂直な面内における前記回折格子の位置を変更することにより、該検出された干渉縞および該シミュレーションによって計算された干渉縞のキャリア周波数成分の位相を一致させて、前記第3の波面を復元することを特徴とする算出方法。 - 被検光学系の収差を算出する算出方法であって、
前記被検光学系からの光を複数の回折光に分割する回折格子と前記複数の回折光による干渉縞を検出する検出器とを有するトールボット干渉計を用いて検出された前記干渉縞の画像データを取得するステップと、
前記干渉縞の画像データを用いて第1の波面を復元するステップと、
前記回折格子に入射する第2の波面の値を設定して、前記複数の回折光による干渉縞の画像をシミュレーションにより計算し、該計算された前記干渉縞の画像データを用いて第3の波面を復元するシミュレーションステップと、
前記第2の波面および前記第3の波面を用いて前記第1の波面に含まれる誤差を低減して前記被検光学系の収差を算出するステップとを有し、
前記第1の波面の復元ステップにおいて、
該検出された干渉縞および該シミュレーションによって計算された干渉縞のキャリア周波数成分の位相が一致するように、前記トールボット干渉計における光軸に垂直な面内における前記回折格子の位置を調整した状態で検出された干渉縞の画像データを用いて前記第1の波面を復元することを特徴とする算出方法。 - 投影光学系を用いて基板を露光する露光装置において、
トールボット干渉計と、請求項1又は4に記載の算出装置とを有し、
前記算出装置は前記投影光学系の収差を算出することを特徴とする露光装置。 - 請求項8に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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