JPH10249757A - 搬送用ロボット - Google Patents
搬送用ロボットInfo
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- JPH10249757A JPH10249757A JP9064405A JP6440597A JPH10249757A JP H10249757 A JPH10249757 A JP H10249757A JP 9064405 A JP9064405 A JP 9064405A JP 6440597 A JP6440597 A JP 6440597A JP H10249757 A JPH10249757 A JP H10249757A
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- drive
- link
- link mechanism
- drive shaft
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/046—Revolute coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
- B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
- B25J9/0021—All motors in base
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送用ロボット全体を回転するための駆動モ
ータを小型化できるようにする。 【解決手段】 駆動側リンク３１ａ，３１ｂ，３６ａ，
３６ｂと従動側リンク３２ａ，３２ｂ，３７ａ，３７ｂ
とを平行に構成した第１・第２の平行リンク機構２２
ａ，２２ｂ，１２ａ，２３ｂからなり、先端側の第２の
平行リンク機構に搬送台２４ａ，２４ｂを備えたロボッ
トリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 を少なくとも一対有し、各ロボ
ットリンク機構の各第１の平行リンク機構２２ａ，２２
ｂの従動側リンク３２ａ，３２ｂを、一端を駆動軸２５
ａに固着した回転用アーム３０に連結し、また各第１の
平行リンク機構の駆動側リンク３１ａ，３１ｂを駆動軸
２５ａ，２５ｂに固着し、この各駆動軸を同軸状に配置
し、この各駆動軸のそれぞれに駆動モータ２９ａ，２９
ｂ，２９ｃを連結した構成にした。
ータを小型化できるようにする。 【解決手段】 駆動側リンク３１ａ，３１ｂ，３６ａ，
３６ｂと従動側リンク３２ａ，３２ｂ，３７ａ，３７ｂ
とを平行に構成した第１・第２の平行リンク機構２２
ａ，２２ｂ，１２ａ，２３ｂからなり、先端側の第２の
平行リンク機構に搬送台２４ａ，２４ｂを備えたロボッ
トリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 を少なくとも一対有し、各ロボ
ットリンク機構の各第１の平行リンク機構２２ａ，２２
ｂの従動側リンク３２ａ，３２ｂを、一端を駆動軸２５
ａに固着した回転用アーム３０に連結し、また各第１の
平行リンク機構の駆動側リンク３１ａ，３１ｂを駆動軸
２５ａ，２５ｂに固着し、この各駆動軸を同軸状に配置
し、この各駆動軸のそれぞれに駆動モータ２９ａ，２９
ｂ，２９ｃを連結した構成にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルや、半
導体の製造装置、さらにＬＣＤ製造装置等のように、１
つのトランスファチャンバの周囲に複数のステーション
となるプロセスチャンバを配設し、各プロセスチャンバ
にて加工処理される液晶パネルやウエハ等の薄板状のワ
ークを、トランスファチャンバを経由して、このトラン
スファチャンバに設けた搬送用ロボットにて、１つのプ
ロセスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬送するよ
うにしたマルチチャンバタイプの製造装置における上記
搬送用ロボットに関するものである。
導体の製造装置、さらにＬＣＤ製造装置等のように、１
つのトランスファチャンバの周囲に複数のステーション
となるプロセスチャンバを配設し、各プロセスチャンバ
にて加工処理される液晶パネルやウエハ等の薄板状のワ
ークを、トランスファチャンバを経由して、このトラン
スファチャンバに設けた搬送用ロボットにて、１つのプ
ロセスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬送するよ
うにしたマルチチャンバタイプの製造装置における上記
搬送用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マルチチャンバタイプの製造装置は図１
に示すようになっていて、トランスファチャンバ１の周
囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチャン
バステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部
に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡しステー
ション３とが配設されており、トランスファチャンバ１
内は常時真空装置にて真空状態が保たれており、このト
ランスファチャンバ１内に回転可能に、かつハンドが放
射方向に出没可能にした搬送用ロボットが配置されてい
る。そしてこのトランスファチャンバ１の周壁で、かつ
各プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ及びワーク受け渡しステーション３に対向する
仕切り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワ
ークの出入口となるゲート６が設けてある。このゲート
６はトランスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向
して設けられた図示しない開閉扉にて開閉されるように
なっている。
に示すようになっていて、トランスファチャンバ１の周
囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチャン
バステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部
に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡しステー
ション３とが配設されており、トランスファチャンバ１
内は常時真空装置にて真空状態が保たれており、このト
ランスファチャンバ１内に回転可能に、かつハンドが放
射方向に出没可能にした搬送用ロボットが配置されてい
る。そしてこのトランスファチャンバ１の周壁で、かつ
各プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ及びワーク受け渡しステーション３に対向する
仕切り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワ
ークの出入口となるゲート６が設けてある。このゲート
６はトランスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向
して設けられた図示しない開閉扉にて開閉されるように
なっている。
【０００３】この種の半導体等の製造装置に用いられる
従来の搬送用ロボットとしては、同一方向作動型の搬送
用ロボットＡ（特開平４−３０４４７号公報）が知られ
ており、従来の技術のものは図３に示すようになってい
る。
従来の搬送用ロボットとしては、同一方向作動型の搬送
用ロボットＡ（特開平４−３０４４７号公報）が知られ
ており、従来の技術のものは図３に示すようになってい
る。
【０００４】ハンドリング部の支持台として、歯車機構
１０を介して第１の駆動モータ１１で回転する回転台１
２が備えてある。この回転台１２には、一対のロボット
リンク機構Ａ1 ，Ａ2 が並べて設けられている。各ロボ
ットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 は、それぞれ同一機構となっ
ていて、一対となる第１の平行リンク機構１３と第２の
平行リンク機構１４が連結されており、先端にワークを
保持する搬送台１５，１５が備えてある。両ロボットリ
ンク機構Ａ1 ，Ａ2 とでは、各搬送台１５，１５の高さ
位置に差があるようになっている。
１０を介して第１の駆動モータ１１で回転する回転台１
２が備えてある。この回転台１２には、一対のロボット
リンク機構Ａ1 ，Ａ2 が並べて設けられている。各ロボ
ットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 は、それぞれ同一機構となっ
ていて、一対となる第１の平行リンク機構１３と第２の
平行リンク機構１４が連結されており、先端にワークを
保持する搬送台１５，１５が備えてある。両ロボットリ
ンク機構Ａ1 ，Ａ2 とでは、各搬送台１５，１５の高さ
位置に差があるようになっている。
【０００５】第１の平行リンク機構１３は、一対の長い
リンク１３ａ，１３ｂが回転台１２に回転可能に支持さ
れ、各ロボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 のそれぞれの一方
のリンク１３ａの回転中心となる駆動軸１６ａ，１６ｂ
は、回転台１２の下方に取り付けられた第２・第３の駆
動モータ１７ａ，１７ｂに連結されている。リンク１３
ａ，１３ｂの先端に第２の平行リンク機構１４の一対の
リンク１４ａ，１４ｂがそれぞれ回転自在に連結されて
おり、この一対のリンク１４ａ，１４ｂの先端に各搬送
台１５，１５が回転自在に連結されている。
リンク１３ａ，１３ｂが回転台１２に回転可能に支持さ
れ、各ロボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 のそれぞれの一方
のリンク１３ａの回転中心となる駆動軸１６ａ，１６ｂ
は、回転台１２の下方に取り付けられた第２・第３の駆
動モータ１７ａ，１７ｂに連結されている。リンク１３
ａ，１３ｂの先端に第２の平行リンク機構１４の一対の
リンク１４ａ，１４ｂがそれぞれ回転自在に連結されて
おり、この一対のリンク１４ａ，１４ｂの先端に各搬送
台１５，１５が回転自在に連結されている。
【０００６】上記両平行リンク機構１３，１４の各リン
ク１３ａ，１３ｂとリンク１４ａ，１４ｂとの連結個所
には、それぞれ同一歯数の歯車１８ａ，１８ｂが互いに
噛合されて取り付けられている。そして一方の歯車１８
ａが第１の平行リンク機構１３の一方のリンク１３ａに
固定され、他方の歯車１８ｂは、第２の平行リンク機構
１４の一方のリンクで、かつ第１の平行リンク機構１３
の他方のリンク１３ｂに連結したリンク１４ａに固定さ
れている。この第２の平行リンク機構１４のリンク１４
ａ，１４ｂは各歯車１８ａ，１８ｂよりも先に延長さ
れ、短いリンク１９にて回転自在に連結されている。
ク１３ａ，１３ｂとリンク１４ａ，１４ｂとの連結個所
には、それぞれ同一歯数の歯車１８ａ，１８ｂが互いに
噛合されて取り付けられている。そして一方の歯車１８
ａが第１の平行リンク機構１３の一方のリンク１３ａに
固定され、他方の歯車１８ｂは、第２の平行リンク機構
１４の一方のリンクで、かつ第１の平行リンク機構１３
の他方のリンク１３ｂに連結したリンク１４ａに固定さ
れている。この第２の平行リンク機構１４のリンク１４
ａ，１４ｂは各歯車１８ａ，１８ｂよりも先に延長さ
れ、短いリンク１９にて回転自在に連結されている。
【０００７】このように構成された搬送用ロボットＡ
は、第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにより各ロ
ボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 の駆動軸１６ａ，１６ｂを
回転することにより、それぞれの第１の平行リンク機構
１３，１３が回転される。そしてこの第１の平行リンク
機構１３，１３の回転により、歯車１８ａ，１８ｂの噛
合によりそれぞれの第２の平行リンク機構１４，１４
が、各第１の平行リンク機構１３，１３の回転方向と逆
方向に同一回転角だけ回転する。その結果、両ロボット
リンク機構Ａ1 ，Ａ2 が互いに外側に向けて屈曲すると
共に、搬送台１５，１５が平行リンク機構の短節に沿う
方向に直線的に平行移動する。また、第１の駆動モータ
１１を駆動することにより、回転台１２が回転して、搬
送用ロボットＡ全体が回転される。
は、第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにより各ロ
ボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 の駆動軸１６ａ，１６ｂを
回転することにより、それぞれの第１の平行リンク機構
１３，１３が回転される。そしてこの第１の平行リンク
機構１３，１３の回転により、歯車１８ａ，１８ｂの噛
合によりそれぞれの第２の平行リンク機構１４，１４
が、各第１の平行リンク機構１３，１３の回転方向と逆
方向に同一回転角だけ回転する。その結果、両ロボット
リンク機構Ａ1 ，Ａ2 が互いに外側に向けて屈曲すると
共に、搬送台１５，１５が平行リンク機構の短節に沿う
方向に直線的に平行移動する。また、第１の駆動モータ
１１を駆動することにより、回転台１２が回転して、搬
送用ロボットＡ全体が回転される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術にあっ
ては、一対をなす各ロボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 はそ
れぞれ第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにて駆動
し、搬送用ロボットＡの全体の回転は第１の駆動モータ
１１にて駆動するようになっているため、上記第２・第
３の駆動モータ１７ａ，１７ｂの容量は、各個々のロボ
ットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 を駆動するに足りるだけの比
較的小さくてすむが、第１の駆動モータ１１は、これら
の第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂ及び回転台１
２等を含む搬送用ロボットＡの全体を回転駆動しなけれ
ばならないため、上記第２・第３の駆動モータ１７ａ，
１７ｂに比較して大きな容量にせざるを得なかった。
ては、一対をなす各ロボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 はそ
れぞれ第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにて駆動
し、搬送用ロボットＡの全体の回転は第１の駆動モータ
１１にて駆動するようになっているため、上記第２・第
３の駆動モータ１７ａ，１７ｂの容量は、各個々のロボ
ットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 を駆動するに足りるだけの比
較的小さくてすむが、第１の駆動モータ１１は、これら
の第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂ及び回転台１
２等を含む搬送用ロボットＡの全体を回転駆動しなけれ
ばならないため、上記第２・第３の駆動モータ１７ａ，
１７ｂに比較して大きな容量にせざるを得なかった。
【０００９】そのため、３個のモータにおいて、第１の
駆動モータ１１と第２、第３の駆動モータ１７ａ，１７
ｂの２種類の駆動モータを用いなければならないと共
に、その一方の１個の駆動モータが、他方の２個の駆動
モータのそれぞれに比較して高価になり、全体としてコ
スト高となっている問題があった。
駆動モータ１１と第２、第３の駆動モータ１７ａ，１７
ｂの２種類の駆動モータを用いなければならないと共
に、その一方の１個の駆動モータが、他方の２個の駆動
モータのそれぞれに比較して高価になり、全体としてコ
スト高となっている問題があった。
【００１０】また、この従来の技術のものでは、第２・
第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂが、回転台１２と共に
図示しないフレームに対して回転されるため、この第２
・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにフレーム側から接
続された動力ケーブルや信号ケーブル等のケーブルが、
上記回転に伴ってねじれてしまい、搬送用ロボットを無
制限に回転することができない。この問題を解決するた
めに、上記第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂに接
続するケーブルの途中にブラシ接続機構を介装して上記
回転部をこのブラシ接続機構を介して電気的に接続する
ようにしたものがあるが、この構成は複雑であると共
に、寿命的にも問題があるという不具合がある。
第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂが、回転台１２と共に
図示しないフレームに対して回転されるため、この第２
・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにフレーム側から接
続された動力ケーブルや信号ケーブル等のケーブルが、
上記回転に伴ってねじれてしまい、搬送用ロボットを無
制限に回転することができない。この問題を解決するた
めに、上記第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂに接
続するケーブルの途中にブラシ接続機構を介装して上記
回転部をこのブラシ接続機構を介して電気的に接続する
ようにしたものがあるが、この構成は複雑であると共
に、寿命的にも問題があるという不具合がある。
【００１１】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、搬送用ロボットの全体を回転するための駆動モー
タを小さく、例えば一対のロボットリンク機構を駆動す
るためのリンク機構駆動用の駆動モータの大きさと同一
にでき、３個用いる駆動モータの共通化を図ってコスト
ダウンすることができるようにした搬送用ロボットを提
供することを目的とするものである。
ので、搬送用ロボットの全体を回転するための駆動モー
タを小さく、例えば一対のロボットリンク機構を駆動す
るためのリンク機構駆動用の駆動モータの大きさと同一
にでき、３個用いる駆動モータの共通化を図ってコスト
ダウンすることができるようにした搬送用ロボットを提
供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記目的
を達成するために、本発明に係る搬送用ロボットは、駆
動側リンクと従動側リンクとを平行に構成した第１・第
２の平行リンク機構からなり、先端側の第２の平行リン
ク機構に搬送台を備えたロボットリンク機構を少なくと
も一対有し、各ロボットリンク機構の各第１の平行リン
ク機構の従動側リンクを、一端を駆動軸に固着した回転
用アームに連結し、また各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを駆動軸に固着し、この各駆動軸を同軸状に配
置し、この各駆動軸のそれぞれに駆動モータを連結した
構成となっている。
を達成するために、本発明に係る搬送用ロボットは、駆
動側リンクと従動側リンクとを平行に構成した第１・第
２の平行リンク機構からなり、先端側の第２の平行リン
ク機構に搬送台を備えたロボットリンク機構を少なくと
も一対有し、各ロボットリンク機構の各第１の平行リン
ク機構の従動側リンクを、一端を駆動軸に固着した回転
用アームに連結し、また各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを駆動軸に固着し、この各駆動軸を同軸状に配
置し、この各駆動軸のそれぞれに駆動モータを連結した
構成となっている。
【００１３】この構成において、回転用アームに連結し
た駆動軸を停止した状態で、各ロボットリンク機構のそ
れぞれの第１の平行リンク機構の駆動側リンクを固着し
た各駆動軸を、それぞれに連結した駆動モータにて回転
することにより、各ロボットリンク機構がそれぞれ独立
して作動し、それぞれの第２の平行リンク機構に備えた
搬送台が直線状に往復動し、この搬送台にて薄板状のワ
ークを、例えばトランスファチャンバからプロセスチャ
ンバ相互にわたって出し入れする。
た駆動軸を停止した状態で、各ロボットリンク機構のそ
れぞれの第１の平行リンク機構の駆動側リンクを固着し
た各駆動軸を、それぞれに連結した駆動モータにて回転
することにより、各ロボットリンク機構がそれぞれ独立
して作動し、それぞれの第２の平行リンク機構に備えた
搬送台が直線状に往復動し、この搬送台にて薄板状のワ
ークを、例えばトランスファチャンバからプロセスチャ
ンバ相互にわたって出し入れする。
【００１４】また、各ロボットリンク機構の第１の平行
リンク機構の駆動側リンクに固着した各駆動軸と、各従
動側リンクに連結した回転用アームの駆動軸とを同一方
向へ同一回転速度で回転することにより、各ロボットリ
ンク機構が一体状になって同軸状に回転される。
リンク機構の駆動側リンクに固着した各駆動軸と、各従
動側リンクに連結した回転用アームの駆動軸とを同一方
向へ同一回転速度で回転することにより、各ロボットリ
ンク機構が一体状になって同軸状に回転される。
【００１５】従って、各ロボットリンク機構からなる搬
送用ロボットの全体回転時には、各ロボットリンク機構
を作動する各駆動モータと、回転用アームを駆動する駆
動モータとが協動されることになり、搬送用ロボットの
全体を回転するために回転アームを回転駆動するための
駆動モータの容量を搬送用ロボット全体を１個の駆動モ
ータにて回転させる場合に比較して小型にでき、例えば
これを各ロボットリンク機構を作動するための各駆動モ
ータと同一にすることができて、各駆動モータの共通化
が可能になり、装置の小型化と共にコストダウンを図る
ことができる。
送用ロボットの全体回転時には、各ロボットリンク機構
を作動する各駆動モータと、回転用アームを駆動する駆
動モータとが協動されることになり、搬送用ロボットの
全体を回転するために回転アームを回転駆動するための
駆動モータの容量を搬送用ロボット全体を１個の駆動モ
ータにて回転させる場合に比較して小型にでき、例えば
これを各ロボットリンク機構を作動するための各駆動モ
ータと同一にすることができて、各駆動モータの共通化
が可能になり、装置の小型化と共にコストダウンを図る
ことができる。
【００１６】また、本発明に係る搬送用ロボットは、上
記搬送用ロボットにおいて、一端を駆動軸に固着した回
転用アームを、複数個一体状に設け、この各回転用アー
ムに各ロボットリンク機構の各第１の平行リンク機構の
従動側リンクを連結し、各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを上記回転用アームの駆動軸と同軸状にした駆
動軸に固着した構成となっており、この構成によれば、
複数のロボットリンク機構を、各回転用アームの方向に
沿って互いに異なる角度方向に作動することができる。
記搬送用ロボットにおいて、一端を駆動軸に固着した回
転用アームを、複数個一体状に設け、この各回転用アー
ムに各ロボットリンク機構の各第１の平行リンク機構の
従動側リンクを連結し、各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを上記回転用アームの駆動軸と同軸状にした駆
動軸に固着した構成となっており、この構成によれば、
複数のロボットリンク機構を、各回転用アームの方向に
沿って互いに異なる角度方向に作動することができる。
【００１７】さらに、本発明に係る搬送用ロボットは、
上記搬送用ロボットにおいて、一端を駆動軸に固着した
複数の回転用アームを、それぞれの駆動軸を同軸状にし
て設け、この各回転用アームに各ロボットリンク機構の
各第１の平行リンク機構の従動側リンクを連結し、各第
１の平行リンク機構の駆動側リンクを上記各回転用アー
ムの駆動軸と同軸状にした駆動軸に固着した構成となっ
ており、この構成によれば、複数のロボットリンク機構
を、個々に回転することができる。
上記搬送用ロボットにおいて、一端を駆動軸に固着した
複数の回転用アームを、それぞれの駆動軸を同軸状にし
て設け、この各回転用アームに各ロボットリンク機構の
各第１の平行リンク機構の従動側リンクを連結し、各第
１の平行リンク機構の駆動側リンクを上記各回転用アー
ムの駆動軸と同軸状にした駆動軸に固着した構成となっ
ており、この構成によれば、複数のロボットリンク機構
を、個々に回転することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図４以下に
基づいて説明する。図４は本発明に係る搬送用ロボット
の第１の実施の形態を示す。この搬送用ロボットＢは一
対のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 にて構成されてい
る。この各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれ
は、一対となる第１・第２の平行リンク機構２２ａ，２
３ａ，２２ｂ，２３ｂが連結した構成となっており、先
端にワークを保持する搬送台２４ａ，２４ｂが備えてあ
る。両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 とでは、各搬送台
２４ａ，２４ｂの高さ位置に差があるようになってい
る。
基づいて説明する。図４は本発明に係る搬送用ロボット
の第１の実施の形態を示す。この搬送用ロボットＢは一
対のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 にて構成されてい
る。この各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれ
は、一対となる第１・第２の平行リンク機構２２ａ，２
３ａ，２２ｂ，２３ｂが連結した構成となっており、先
端にワークを保持する搬送台２４ａ，２４ｂが備えてあ
る。両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 とでは、各搬送台
２４ａ，２４ｂの高さ位置に差があるようになってい
る。
【００１９】両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の作動中
心部には第１・第２・第３の駆動軸２５ａ，２５ｂ，２
５ｃが同心状に配設されている。そして図５に示すよう
に、第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃが中空になって
いて、第１の駆動軸２５ａが第２の駆動軸２５ｂ内に軸
受２６ａ及び磁性流体シール２７ａを介して回転自在に
嵌合され、第２の駆動軸２５ｂは第３の駆動軸２５ｃ内
に軸受２６ｂ及び磁性流体シール２７ｂを介して回転自
在に嵌合されている。第３の駆動軸２５ｃは軸受２６ｃ
及び磁性流体シール２７ｃを介してトランスファチャン
バ２８側に回転自在に嵌合支持されている。そして上記
各駆動軸２４ａ，２４ｂ，２５ｃのそれぞれに第１・第
２・第３の駆動モータ２９ａ，２９ｂ，２９ｃが個々に
連結されている。
心部には第１・第２・第３の駆動軸２５ａ，２５ｂ，２
５ｃが同心状に配設されている。そして図５に示すよう
に、第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃが中空になって
いて、第１の駆動軸２５ａが第２の駆動軸２５ｂ内に軸
受２６ａ及び磁性流体シール２７ａを介して回転自在に
嵌合され、第２の駆動軸２５ｂは第３の駆動軸２５ｃ内
に軸受２６ｂ及び磁性流体シール２７ｂを介して回転自
在に嵌合されている。第３の駆動軸２５ｃは軸受２６ｃ
及び磁性流体シール２７ｃを介してトランスファチャン
バ２８側に回転自在に嵌合支持されている。そして上記
各駆動軸２４ａ，２４ｂ，２５ｃのそれぞれに第１・第
２・第３の駆動モータ２９ａ，２９ｂ，２９ｃが個々に
連結されている。
【００２０】第１の駆動軸２５ａには第１・第２のロボ
ットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの第１の平行リン
ク機構２２ａ，２２ｂの短節となる長さの回転用アーム
３０の一端部が固着されている。また第２の駆動軸２５
ｂには第１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リン
ク機構２２ａの駆動側リンク３１ａの一端が固着されて
いる。また第３の駆動軸２５ｃには第２のロボットリン
ク機構Ｂ2 の第１の平行リンク機構２２ｂの駆動リンク
３１ｂの一端が固着されている。
ットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの第１の平行リン
ク機構２２ａ，２２ｂの短節となる長さの回転用アーム
３０の一端部が固着されている。また第２の駆動軸２５
ｂには第１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リン
ク機構２２ａの駆動側リンク３１ａの一端が固着されて
いる。また第３の駆動軸２５ｃには第２のロボットリン
ク機構Ｂ2 の第１の平行リンク機構２２ｂの駆動リンク
３１ｂの一端が固着されている。
【００２１】また、上記回転用アーム３０の先端部に
は、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2の第１の平行リン
ク機構２２ａ，２２ｂのそれぞれの従動側リンク３２
ａ，３２ｂの一端が回転自在に連結されている。
は、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2の第１の平行リン
ク機構２２ａ，２２ｂのそれぞれの従動側リンク３２
ａ，３２ｂの一端が回転自在に連結されている。
【００２２】各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第１の
平行リンク機構２２ａ，２２ｂのそれぞれのリンク３１
ａ，３２ａ，３１ｂ，３２ｂの先端部が短節リンク３３
ａ，３３ｂに支軸３４，３５を介して回転自在に連結さ
れている。また、この各支軸３４，３５には各ロボット
リンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第２の平行リンク機構２３ａ，
２３ｂの駆動側及び従動側のリンク３６ａ，３７ａ，３
６ｂ，３７ｂがそれぞれ回転自在に連結されている。
平行リンク機構２２ａ，２２ｂのそれぞれのリンク３１
ａ，３２ａ，３１ｂ，３２ｂの先端部が短節リンク３３
ａ，３３ｂに支軸３４，３５を介して回転自在に連結さ
れている。また、この各支軸３４，３５には各ロボット
リンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第２の平行リンク機構２３ａ，
２３ｂの駆動側及び従動側のリンク３６ａ，３７ａ，３
６ｂ，３７ｂがそれぞれ回転自在に連結されている。
【００２３】また上記両支持軸３４，３５には同一歯数
で互いに噛合する歯車３８，３９がそれぞれ回転自在に
支持されており、一方の歯車３８は第１の平行リンク機
構２２ａ，２２ｂの駆動側リンク３１ａ，３１ｂに固着
されており、他方の歯車３９が第２の平行リンク機構２
３ａ，２３ｂの駆動側リンク３６ａ，３６ｂに固着され
ている。
で互いに噛合する歯車３８，３９がそれぞれ回転自在に
支持されており、一方の歯車３８は第１の平行リンク機
構２２ａ，２２ｂの駆動側リンク３１ａ，３１ｂに固着
されており、他方の歯車３９が第２の平行リンク機構２
３ａ，２３ｂの駆動側リンク３６ａ，３６ｂに固着され
ている。
【００２４】上記構成において、第２の駆動モータ２９
ｂを回転駆動して第２の駆動軸２５ｂを回転すると、第
１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機構２
２ａの駆動側リンク３１ａが回動される。このとき、一
方の歯車３８がこの駆動側リンク３１ａと一体状にこの
リンク３１ａの回転方向に回転し、これに噛合している
他方の歯車３９は同一回転角だけ逆方向に回転する。従
ってこの他方の歯車３９に固着されている第２の平行リ
ンク機構２３ａの駆動側リンク３６ａが回動し、第２の
平行リンク機構２３ａは第１の平行リンク機構２２ａの
回転に連動して同一方向へ回転し、第２の平行リンク機
構２３ａの先端に連結された搬送台２４ａは第１の平行
リンク機構２２ａの短節となる回転用アーム３０の方向
に沿って平行移動される。そしてこれにより搬送台２４
ａ，２４ｂに載置したワークＷをトランスファチャンバ
２８からプロセスチャンバ内へ搬送したり、その逆の動
作が行われる。
ｂを回転駆動して第２の駆動軸２５ｂを回転すると、第
１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機構２
２ａの駆動側リンク３１ａが回動される。このとき、一
方の歯車３８がこの駆動側リンク３１ａと一体状にこの
リンク３１ａの回転方向に回転し、これに噛合している
他方の歯車３９は同一回転角だけ逆方向に回転する。従
ってこの他方の歯車３９に固着されている第２の平行リ
ンク機構２３ａの駆動側リンク３６ａが回動し、第２の
平行リンク機構２３ａは第１の平行リンク機構２２ａの
回転に連動して同一方向へ回転し、第２の平行リンク機
構２３ａの先端に連結された搬送台２４ａは第１の平行
リンク機構２２ａの短節となる回転用アーム３０の方向
に沿って平行移動される。そしてこれにより搬送台２４
ａ，２４ｂに載置したワークＷをトランスファチャンバ
２８からプロセスチャンバ内へ搬送したり、その逆の動
作が行われる。
【００２５】同様に、第３の駆動モータ２９ｃを駆動し
て、第３の駆動軸２５ｃを回転することにより第２のロ
ボットリンク機構Ｂ2 が上記した第１のロボットリンク
機構Ｂ1 と同様に作動され、第２の搬送台２４ｂが上記
回転用アーム３０の方向に沿って平行移動される。この
各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台２４ａ，２４
ｂのストロークはトランスファチャンバ２８内から、こ
れに隣接した各プロセスチャンバ内にワークを出し入れ
するに足りるだけのストロークとなっている。
て、第３の駆動軸２５ｃを回転することにより第２のロ
ボットリンク機構Ｂ2 が上記した第１のロボットリンク
機構Ｂ1 と同様に作動され、第２の搬送台２４ｂが上記
回転用アーム３０の方向に沿って平行移動される。この
各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台２４ａ，２４
ｂのストロークはトランスファチャンバ２８内から、こ
れに隣接した各プロセスチャンバ内にワークを出し入れ
するに足りるだけのストロークとなっている。
【００２６】次に第１の駆動モータ２９ａを駆動して第
１の駆動軸２５ａを回転することにより回転用アーム３
０が回転して搬送用ロボットＢ全体が回転される。この
とき、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 は回転用アーム
３０に対して相対的な姿勢を保持する必要があるので、
第２・第３の駆動モータ２９ｂ，２９ｃも同時に駆動し
て第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃを、上記第１の駆
動軸２５ａと同一方向へ同一の回転角に亘って回転させ
る。
１の駆動軸２５ａを回転することにより回転用アーム３
０が回転して搬送用ロボットＢ全体が回転される。この
とき、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 は回転用アーム
３０に対して相対的な姿勢を保持する必要があるので、
第２・第３の駆動モータ２９ｂ，２９ｃも同時に駆動し
て第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃを、上記第１の駆
動軸２５ａと同一方向へ同一の回転角に亘って回転させ
る。
【００２７】従って、この搬送用ロボットＢの全体の回
転時には、第１・第２・第３の駆動モータ２９ａ，２９
ｂ，２９ｃは協動することになり、第１の駆動モータ２
９ａはことさらに大型のものを必要とせず、各ロボット
リンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 を駆動するための第２・第３の駆
動モータ２９ｂ，２９ｃと同等、もしくはそれより小さ
いものでよい。
転時には、第１・第２・第３の駆動モータ２９ａ，２９
ｂ，２９ｃは協動することになり、第１の駆動モータ２
９ａはことさらに大型のものを必要とせず、各ロボット
リンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 を駆動するための第２・第３の駆
動モータ２９ｂ，２９ｃと同等、もしくはそれより小さ
いものでよい。
【００２８】上記両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の上
下方向の位置関係は図６に示すように、上下方向にずれ
ていて、各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台２４
ａ，２４ｂは互いに干渉することなく往復動できるよう
になっている。
下方向の位置関係は図６に示すように、上下方向にずれ
ていて、各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台２４
ａ，２４ｂは互いに干渉することなく往復動できるよう
になっている。
【００２９】この種の搬送用ロボットＢにあっては、ト
ランスファチャンバ２８内は低圧（真空）に保たれてい
るため、このトランスファアチャンバ２８と各駆動モー
タ２９ａ，２９ｂ，２９ｃを収納する駆動モータ室４０
とは気密状に遮断する必要がある。このため、上記実施
の形態では、駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃの軸受部に
磁性流体シール２７ａ，２７ｂ，２７ｃを介装して両空
間の気密を保持するようにしたが、駆動モータ室４０と
トランスファチャンバ２８との間に気密状の隔壁を設
け、各駆動部材をこの隔壁を隔ててマックネットカップ
リングにて連結するようにしてもよい。
ランスファチャンバ２８内は低圧（真空）に保たれてい
るため、このトランスファアチャンバ２８と各駆動モー
タ２９ａ，２９ｂ，２９ｃを収納する駆動モータ室４０
とは気密状に遮断する必要がある。このため、上記実施
の形態では、駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃの軸受部に
磁性流体シール２７ａ，２７ｂ，２７ｃを介装して両空
間の気密を保持するようにしたが、駆動モータ室４０と
トランスファチャンバ２８との間に気密状の隔壁を設
け、各駆動部材をこの隔壁を隔ててマックネットカップ
リングにて連結するようにしてもよい。
【００３０】図７はこの他の実施の形態を示すもので、
各駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃの先端部はそれぞれの
同径の円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃとなってい
る。また、上記各円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃに
対向する外側にリング状ボス４２ａ，４２ｂ，４２ｃが
それぞれ独立して回転自在にトランスファチャンバ２８
側に支持されており、第１のリング状ボス４２ａに回転
用アーム３０が、第２のリング状ボス４２ｂに第１のロ
ボットリンク機構Ｂ1 第１の平行リンク機構２２ａの駆
動側リンク３１ａが、第３のリング状ボス４２ｃに第２
のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リンク機構２２
ｂの駆動側リンク３１ｂがそれぞれ固着されている。そ
して上記各対の円板状ボスとリンク状ボスとが隔壁４３
を隔ててそれぞれマグネットカップリング４４ａ，４４
ｂ，４４ｃにて磁気的に連結されている。隔壁４３は駆
動モータ室４０側とトランスファチャンバ２８という気
密状に遮断する構成となっていて、これにより駆動モー
タ室４０とトランスファチャンバ２８とが気密状に遮断
される。
各駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃの先端部はそれぞれの
同径の円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃとなってい
る。また、上記各円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃに
対向する外側にリング状ボス４２ａ，４２ｂ，４２ｃが
それぞれ独立して回転自在にトランスファチャンバ２８
側に支持されており、第１のリング状ボス４２ａに回転
用アーム３０が、第２のリング状ボス４２ｂに第１のロ
ボットリンク機構Ｂ1 第１の平行リンク機構２２ａの駆
動側リンク３１ａが、第３のリング状ボス４２ｃに第２
のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リンク機構２２
ｂの駆動側リンク３１ｂがそれぞれ固着されている。そ
して上記各対の円板状ボスとリンク状ボスとが隔壁４３
を隔ててそれぞれマグネットカップリング４４ａ，４４
ｂ，４４ｃにて磁気的に連結されている。隔壁４３は駆
動モータ室４０側とトランスファチャンバ２８という気
密状に遮断する構成となっていて、これにより駆動モー
タ室４０とトランスファチャンバ２８とが気密状に遮断
される。
【００３１】また、上記実施の形態で、各ロボットリン
ク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第１・第２の平行リンク機構相互の
連結に歯車３８，３９を用いた例を示したが、これは図
８から図１０に示すように、２本のベルト４５ａ，４５
ｂを上記歯車３８，３９に代えて用いてもよい。
ク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第１・第２の平行リンク機構相互の
連結に歯車３８，３９を用いた例を示したが、これは図
８から図１０に示すように、２本のベルト４５ａ，４５
ｂを上記歯車３８，３９に代えて用いてもよい。
【００３２】図８から図１０において、一方のロボット
リンク機構Ｂ1 について説明する。第１の平行リンク機
構２２ａの駆動側リンク３１ａに第１プーリ４６が固着
されており、また第２の平行リンク機構２３ａの駆動側
リンク３６ａに第２プーリ４７が固着されていて、両プ
ーリ４６，４７に、図９、図１０に示すように、２本の
ベルト４５ａ，４５ｂがたすき掛けされ、それぞれの端
部が各プーリ４６，４７に固着してある。この構成によ
り、上記歯車３８，３９と同様の作用を行う。なおこの
ベルトは、８の字状に巻き掛ければ１本ですむ。
リンク機構Ｂ1 について説明する。第１の平行リンク機
構２２ａの駆動側リンク３１ａに第１プーリ４６が固着
されており、また第２の平行リンク機構２３ａの駆動側
リンク３６ａに第２プーリ４７が固着されていて、両プ
ーリ４６，４７に、図９、図１０に示すように、２本の
ベルト４５ａ，４５ｂがたすき掛けされ、それぞれの端
部が各プーリ４６，４７に固着してある。この構成によ
り、上記歯車３８，３９と同様の作用を行う。なおこの
ベルトは、８の字状に巻き掛ければ１本ですむ。
【００３３】図１１は本発明の第２の実施の形態を示す
もので、これを上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。第１の駆動軸２５ａに２本の回転用アーム３
０ａ，３０ｂが所定の角度θを有して固着されている。
そして一対のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれ
の第１の平行リンク機構２２ａ，２２ｂの従動側リンク
３２ａ，３２ｂがこの各回転用アーム３０ａ，３０ｂに
連結されている。
もので、これを上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。第１の駆動軸２５ａに２本の回転用アーム３
０ａ，３０ｂが所定の角度θを有して固着されている。
そして一対のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれ
の第１の平行リンク機構２２ａ，２２ｂの従動側リンク
３２ａ，３２ｂがこの各回転用アーム３０ａ，３０ｂに
連結されている。
【００３４】この構成によれば、一対のロボットリンク
機構Ｂ1 ，Ｂ2 は第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃを
回転することによりそれぞれ作動して、それぞれの搬送
台２４ａ，２４ｂは上記各回転用アーム３０ａ，３０ｂ
の方向、すなわちθだけ角度がずれた方向に沿って往復
動される。また各駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃを一体
状に同一方向に回転することにより、両ロボットリンク
機構Ｂ1 ，Ｂ2 が一体となって同一方向に回転する。
機構Ｂ1 ，Ｂ2 は第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃを
回転することによりそれぞれ作動して、それぞれの搬送
台２４ａ，２４ｂは上記各回転用アーム３０ａ，３０ｂ
の方向、すなわちθだけ角度がずれた方向に沿って往復
動される。また各駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃを一体
状に同一方向に回転することにより、両ロボットリンク
機構Ｂ1 ，Ｂ2 が一体となって同一方向に回転する。
【００３５】図１２は本発明の第３の実施の形態を示す
もので、これを上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。第１の駆動軸２５ａに３本の回転用アーム３
０ａ，３０ｂ，３０ｃが等角度をあけて放射状に固着し
てあり、この各回転用アーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃに
対応して第１・第２・第３のロボットリンク機構Ｂ1，
Ｂ2 ，Ｂ3 が用いられる。なおこの３本の回転用アーム
３０ａ，３０ｂ，３０ｃの相互の角度は等角度に限るも
のではなく、相互にある角度を有していればよい。
もので、これを上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。第１の駆動軸２５ａに３本の回転用アーム３
０ａ，３０ｂ，３０ｃが等角度をあけて放射状に固着し
てあり、この各回転用アーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃに
対応して第１・第２・第３のロボットリンク機構Ｂ1，
Ｂ2 ，Ｂ3 が用いられる。なおこの３本の回転用アーム
３０ａ，３０ｂ，３０ｃの相互の角度は等角度に限るも
のではなく、相互にある角度を有していればよい。
【００３６】そして各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 ，
Ｂ3 の各第１の平行リンク機構２２ａ，２２ｂ，２２ｃ
の従動リンク３２ａ，３２ｂ，３２ｃがこの各回転用ア
ーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃに連結されている。この実
施の形態の駆動軸は同軸状にして４本設けてある。そし
て第１の駆動軸２５ａに上記各回転用アーム３０ａ，３
０ｂ，３０ｃが、第２の駆動軸２５ｂに第１のロボット
リンク機構Ｂ1 の平行リンク機構２２ａの駆動側リンク
３１ａが、第３の駆動軸２５ｃに第２のロボットリンク
機構Ｂ2 の平行リンク機構２２ｂの駆動側リンク３１ｂ
が、第４の駆動軸２５ｄに第３のロボットリンク機構Ｂ
3 の第１の平行リンク機構２２ｃの駆動側リンク３１ｃ
がそれぞれ固着されている。
Ｂ3 の各第１の平行リンク機構２２ａ，２２ｂ，２２ｃ
の従動リンク３２ａ，３２ｂ，３２ｃがこの各回転用ア
ーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃに連結されている。この実
施の形態の駆動軸は同軸状にして４本設けてある。そし
て第１の駆動軸２５ａに上記各回転用アーム３０ａ，３
０ｂ，３０ｃが、第２の駆動軸２５ｂに第１のロボット
リンク機構Ｂ1 の平行リンク機構２２ａの駆動側リンク
３１ａが、第３の駆動軸２５ｃに第２のロボットリンク
機構Ｂ2 の平行リンク機構２２ｂの駆動側リンク３１ｂ
が、第４の駆動軸２５ｄに第３のロボットリンク機構Ｂ
3 の第１の平行リンク機構２２ｃの駆動側リンク３１ｃ
がそれぞれ固着されている。
【００３７】この機構において、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 の各第１の平行リンク機構２２ａ，２
２ｂ，２２ｃの駆動側リンク３１ａ，３１ｂ，３１ｃを
第２・第３・第４の各駆動軸２５ｂ，２５ｃ，２５ｄを
個々に回転することにより、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 は、それぞれの搬送台２４ａ，２４
ｂ，２４ｃが、各回転アーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃの
方向に沿って往復動される。そして各駆動軸２５ａ，２
５ｂ，２５ｃ，２５ｄを同一方向に回転することにより
各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 が一体状になっ
て回転される。
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 の各第１の平行リンク機構２２ａ，２
２ｂ，２２ｃの駆動側リンク３１ａ，３１ｂ，３１ｃを
第２・第３・第４の各駆動軸２５ｂ，２５ｃ，２５ｄを
個々に回転することにより、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 は、それぞれの搬送台２４ａ，２４
ｂ，２４ｃが、各回転アーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃの
方向に沿って往復動される。そして各駆動軸２５ａ，２
５ｂ，２５ｃ，２５ｄを同一方向に回転することにより
各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 が一体状になっ
て回転される。
【００３８】図１３は本発明の第４の実施の形態を示す
もので、これも上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。この実施の形態では上記第３の実施の形態と
同じように駆動軸が同心状に４本設けてある。そして第
１の駆動軸２５ａに第１の回転用アーム３０ａが、また
第２の駆動軸２５ｂに第２の回転用アーム３０ｂがそれ
ぞれ別々に固着されている。また第３の駆動軸２５ｃに
は第１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機
構２２ａの駆動側リンク３１ａが、また第４の駆動軸２
５ｄには第２のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リ
ンク機構２２ｂの駆動側リンク３１ｂがそれぞれ固着し
てある。
もので、これも上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。この実施の形態では上記第３の実施の形態と
同じように駆動軸が同心状に４本設けてある。そして第
１の駆動軸２５ａに第１の回転用アーム３０ａが、また
第２の駆動軸２５ｂに第２の回転用アーム３０ｂがそれ
ぞれ別々に固着されている。また第３の駆動軸２５ｃに
は第１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機
構２２ａの駆動側リンク３１ａが、また第４の駆動軸２
５ｄには第２のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リ
ンク機構２２ｂの駆動側リンク３１ｂがそれぞれ固着し
てある。
【００３９】一方上記第１の回転用アーム３０ａに第１
のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機構２２
ａの従動側リンク３２ａが、また第２の回転用アーム３
０ｂに第２のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リン
ク機構２２ｂの従動側リンク３２ｂがそれぞれ回転自在
に連結されている。
のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機構２２
ａの従動側リンク３２ａが、また第２の回転用アーム３
０ｂに第２のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リン
ク機構２２ｂの従動側リンク３２ｂがそれぞれ回転自在
に連結されている。
【００４０】この構成において、第３・第４の駆動軸２
５ｃ，２５ｄを個々に回転することにより第１・第２の
ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 が個々に作動されて、そ
れぞれの搬送台２４ａ，２４ｂがそれぞれの回転用アー
ム３０ａ，３０ｂに沿う方向に往復動される。また、第
１の駆動軸２５ａと第３の駆動軸２５ｃを同一方向に回
転することにより、一方のロボットリンク機構Ｂ1 は、
この第１・第３の駆動軸２５ａ，２５ｃのそれぞれを駆
動する２個の駆動モータの協動にて回転作動される。
５ｃ，２５ｄを個々に回転することにより第１・第２の
ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 が個々に作動されて、そ
れぞれの搬送台２４ａ，２４ｂがそれぞれの回転用アー
ム３０ａ，３０ｂに沿う方向に往復動される。また、第
１の駆動軸２５ａと第３の駆動軸２５ｃを同一方向に回
転することにより、一方のロボットリンク機構Ｂ1 は、
この第１・第３の駆動軸２５ａ，２５ｃのそれぞれを駆
動する２個の駆動モータの協動にて回転作動される。
【００４１】また、第２と第４の駆動軸２５ｂ，２５ｄ
を同一方向に回転することにより、第２のロボットリン
ク機構Ｂ2 は、この第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｄ
のそれぞれを駆動する２個の駆動モータの協動にて回転
される。
を同一方向に回転することにより、第２のロボットリン
ク機構Ｂ2 は、この第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｄ
のそれぞれを駆動する２個の駆動モータの協動にて回転
される。
【００４２】上記第２〜第４の実施の形態を説明する各
図面はそれぞれ構成を概略的に示すもので、各ロボット
リンク機構の第１と第２の平行リンク機構を連結する歯
車機構あるいはベルト機構を省略して示した。また上記
第１〜第４の各実施例において、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 における搬送台２４ａ，２４ｂ，２４
ｃの向きは特に決められてものではなく、使用目的によ
り決める。
図面はそれぞれ構成を概略的に示すもので、各ロボット
リンク機構の第１と第２の平行リンク機構を連結する歯
車機構あるいはベルト機構を省略して示した。また上記
第１〜第４の各実施例において、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 における搬送台２４ａ，２４ｂ，２４
ｃの向きは特に決められてものではなく、使用目的によ
り決める。
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。
半導体製造装置の概略的な平面図である。
【図２】トランスファチャンバを示す斜視図である。
【図３】従来の搬送用ロボットを示す斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を概略的に示す平面
図である。
図である。
【図５】本発明における回転駆動部を示す断面図であ
る。
る。
【図６】本発明におけるロボットリンク機構の要部を示
す断面図である。
す断面図である。
【図７】本発明における回転駆動部の他例を示す断面図
である。
である。
【図８】ロボットリンク機構の平行リンク相互の連結部
の他例を示す構成説明図である。
の他例を示す構成説明図である。
【図９】図８のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図１０】図８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態を概略的に示す平
面図である。
面図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態を概略的に示す平
面図である。
面図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態を概略的に示す平
面図である。
面図である。
１，２８…トランスファチャンバ ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセルチャンバステ
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート １０…歯車機構 １１，１７ａ，１７ｂ，２９ａ，２９ｂ，２９ｃ…駆動
モータ １２…回転台 １３，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…第１の平行リンク機構 １４，２３ａ，２３ｂ…第２の平行リンク機構 ２４ａ，２４ｂ…搬送台 ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ…駆動軸 ３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ…回転用アーム ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３６ａ，３６ｂ…駆動側リン
ク ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３７ａ，３７ｂ…従動側リン
ク ３８，３９…歯車 ４３…隔壁 ４４ａ…，４４ｂ，４４ｃ…マグネットカップリング ４５ａ，４５ｂ…ベルト ４６，４７…プーリイ Ａ，Ｂ…搬送用ロボット Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 …ロボットリンク機構
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート １０…歯車機構 １１，１７ａ，１７ｂ，２９ａ，２９ｂ，２９ｃ…駆動
モータ １２…回転台 １３，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…第１の平行リンク機構 １４，２３ａ，２３ｂ…第２の平行リンク機構 ２４ａ，２４ｂ…搬送台 ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ…駆動軸 ３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ…回転用アーム ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３６ａ，３６ｂ…駆動側リン
ク ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３７ａ，３７ｂ…従動側リン
ク ３８，３９…歯車 ４３…隔壁 ４４ａ…，４４ｂ，４４ｃ…マグネットカップリング ４５ａ，４５ｂ…ベルト ４６，４７…プーリイ Ａ，Ｂ…搬送用ロボット Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 …ロボットリンク機構
Claims (3)
- 【請求項１】 駆動側リンクと従動側リンクとを平行に
構成した第１・第２の平行リンク機構からなり、先端側
の第２の平行リンク機構に搬送台を備えたロボットリン
ク機構を少なくとも一対有し、各ロボットリンク機構の
各第１の平行リンク機構の従動側リンクを、一端を駆動
軸に固着した回転用アームに連結し、また各第１の平行
リンク機構の駆動側リンクを駆動軸に固着し、この各駆
動軸を同軸状に配置し、この各駆動軸のそれぞれに駆動
モータを連結したことを特徴とする搬送用ロボット。 - 【請求項２】 請求項１記載の搬送用ロボットにおい
て、一端を駆動軸に固着した回転用アームを、複数個一
体状に設け、この各回転用アームに各ロボットリンク機
構の各第１の平行リンク機構の従動側リンクを連結し、
各第１の平行リンク機構の駆動側リンクを上記回転用ア
ームの駆動軸と同軸状にした駆動軸に固着したことを特
徴とする搬送用ロボット。 - 【請求項３】 請求項１記載の搬送用ロボットにおい
て、一端を駆動軸に固着した複数の回転用アームを、そ
れぞれの駆動軸を同軸状にして設け、この各回転用アー
ムに各ロボットリンク機構の各第１の平行リンク機構の
従動側リンクを連結し、各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを上記各回転用アームの駆動軸と同軸状にした
駆動軸に固着したことを特徴とする搬送用ロボット。
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|---|---|---|---|
| JP9064405A JPH10249757A (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | 搬送用ロボット |
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|---|---|---|---|
| JP9064405A JPH10249757A (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | 搬送用ロボット |
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|---|---|
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ID=13257381
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|---|---|---|---|
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1998
- 1998-02-05 TW TW087101468A patent/TW376356B/zh active
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