JP5865021B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
少なくとも上記第1,第2の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続されており、上記制御部は、上記スイッチがオフであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第1の電圧値とし、上記スイッチがオンであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第2の電圧値として、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが実質的に等しい場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が良好であると判定し、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが異なる場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が不良であると判定することを特徴としている。
2 電圧検出手段(電圧計)
3 電流検出手段(電流計)
5 リード線(導通手段)
10 制御部
20 測定部
31,32 可動アーム
41,42 移動機構
A 被検査回路基板
DUT 被測定試料
P1,P2 電流プローブ
P3,P4 電圧プローブ
C1〜C4 同軸ケーブル
IL 内部導体
S 外部導体(シールド被覆線)
FC 帰還制御回路
R0 インピーダンスマッチング用の抵抗素子
SW1,SW2 スイッチ
Claims (2)
- 測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出する制御部とを備え、4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記各同軸ケーブルの外部導体同士が所定の導通手段を介して相互に接続されている回路基板検査装置において、
少なくとも上記第1,第2の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続されており、
上記制御部は、上記スイッチがオフであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第1の電圧値とし、上記スイッチがオンであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第2の電圧値として、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが実質的に等しい場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が良好であると判定し、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが異なる場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が不良であると判定することを特徴とする回路基板検査装置。 - 上記制御部は、上記測定信号源から出力される測定信号の特定周波数を境として、上記スイッチをオンからオフもしくはオフからオンに切り替えることを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置。
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