JP5865021B2 - Circuit board inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、４端子対法による計測が行える回路基板検査装置に関し、さらに詳しく言えば、４端子対法での計測時におけるプローブ（導電接触ピン）のコンタクトチェックの技術に関するものである。 The present invention relates to a circuit board inspection apparatus that can perform measurement by the four-terminal pair method, and more particularly, to a technique for contact check of a probe (conductive contact pin) at the time of measurement by the four-terminal pair method.
回路基板に存在する導体パターン，実装部品や素子等（以下、これらを「被測定試料」という。）のインピーダンスを測定する方法の一つとして４端子法がある。 There is a four-terminal method as one of methods for measuring the impedance of conductor patterns, mounted parts, elements, etc. (hereinafter referred to as “samples to be measured”) present on a circuit board.
４端子法においては、図５の模式図に示すように、基本的な構成として、測定信号を発生する測定信号源１と、電圧検出手段としての電圧計２と、電流検出手段としての電流計３とを備える。
In the four-terminal method, as shown in the schematic diagram of FIG. 5, as a basic configuration, a
プローブとしては、測定信号源１から被測定試料ＤＵＴに流れる測定電流径路に内に含まれる２つの電流プローブＰ１，Ｐ２（Ｐ１が高電位Ｈｃ側で、Ｐ２が低電位Ｌｃ側）と、被測定試料ＤＵＴの電圧検出径路内に含まれる２つの電圧プローブＰ３，Ｐ４（Ｐ３が高電位Ｈｐ側で、Ｐ２が低電位Ｌｐ側）の４つのプローブが用いられる。
As probes, two current probes P1 and P2 (P1 is on the high potential Hc side and P2 is on the low potential Lc side) included in the measurement current path that flows from the
なお、これらの各プローブは構造的には変わらないが、本明細書では、説明の便宜上、電流系統側のものを電流プローブと言い、電圧系統側のものを電圧プローブと言う。 Although these probes are not structurally different, in the present specification, for convenience of explanation, the current system side is referred to as a current probe, and the voltage system side is referred to as a voltage probe.
測定にあたっては、測定信号源１から電流プローブＰ１，Ｐ２を介して被測定試料ＤＵＴに例えば定電流を流し、これによって被測定試料ＤＵＴの両端に発生する電圧を電圧プローブＰ３，Ｐ４を介して電圧計２で測定し、電流計３による電流値と電圧計２による電圧値とに基づいて、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺを測定する。
In measurement, for example, a constant current is passed from the
この４端子法によれば、測定系の電気配線（リード線）の配線抵抗や被測定試料との接触抵抗の影響をほとんど排除することができるが、測定電流径路に流れる電流によって発生する磁束が電圧検出径路をよぎると、検出電圧に誤差が生じ、この誤差がインピーダンス測定値に含まれることになる。 According to this four-terminal method, the influence of the wiring resistance of the electrical wiring (lead wire) of the measurement system and the contact resistance with the sample to be measured can be almost eliminated, but the magnetic flux generated by the current flowing through the measurement current path is If the voltage detection path is crossed, an error occurs in the detection voltage, and this error is included in the impedance measurement value.
この現象は、特に高い周波数の測定電流で測定を行う高周波測定時に問題となる。なお、測定系の電気配線に、同軸ケーブル（シールド被覆線）を使用しても、静電シールドの効果はあるが、上記のような電磁誘導に対しては有効ではない。 This phenomenon becomes a problem particularly during high-frequency measurement in which measurement is performed with a high-frequency measurement current. Even if a coaxial cable (shielded wire) is used for the electrical wiring of the measurement system, there is an effect of electrostatic shielding, but it is not effective for electromagnetic induction as described above.
この電磁誘導による問題は、４端子対法によって解決することができる。４端子対法に関する文献としては例えば特許文献１があるが、図６に４端子対法による測定状態を模式的に示し、これについて説明する。
This problem due to electromagnetic induction can be solved by the four-terminal pair method. As a document related to the four-terminal pair method, for example, there is
図６を参照して、４端子対法の場合、電流プローブＰ１，Ｐ２の電気配線として同軸ケーブルＣ１，Ｃ２を用い、同様に、電圧プローブＰ３，Ｐ４の電気配線にも同軸ケーブルＣ３，Ｃ４を用いる。そして、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体（シールド被覆線）Ｓのすべてを各プローブの基端付近でリード線５にて接続し短絡する。
Referring to FIG. 6, in the case of the four-terminal pair method, coaxial cables C1 and C2 are used as the electric wires for current probes P1 and P2, and similarly, coaxial cables C3 and C4 are used for the electric wires of voltage probes P3 and P4. Use. Then, all the outer conductors (shield covered wires) S of the respective coaxial cables C1 to C4 are connected and short-circuited by the
動作について説明すると、４端子対法には、低電位側の電圧プローブＰ４を仮想接地（０電位）とする自動平衡ブリッジ法が適用され、測定信号源１よりＨｃラインを介して被測定試料ＤＵＴに測定電圧Ｖを印加すると（この印加電圧はＨｐラインと同じ）、被測定試料ＤＵＴにはＶ／Ｚなる測定電流が流れる。この測定電流は電流計３を通り、そのまま逆向きに外部導体Ｃ２，Ｃ１を流れて測定信号源１に戻る（図６の電流の流れ方向を示す矢印参照）。
The operation will be described. In the four-terminal pair method, an automatic balanced bridge method in which the voltage probe P4 on the low potential side is set to virtual ground (0 potential) is applied, and the sample DUT to be measured from the
このとき、被測定試料ＤＵＴの反対側では、ＬｃがＬｐ（＝仮想接地の０電位）となるようにヌルループ方式による帰還制御回路ＦＣが動作する。したがって、被測定試料ＤＵＴには、電圧計２の両端と同じ電圧がかかるため、電圧計２の示す値は、被測定試料ＤＵＴの両端電圧と同じとなる。
At this time, on the opposite side of the DUT to be measured, the feedback control circuit FC by the null loop system operates so that Lc becomes Lp (= 0 potential of virtual ground). Therefore, since the same voltage is applied to the sample DUT to be measured at both ends of the
このように、４端子対法によれば、測定電流径路内において、測定電流の往路と復路とが重ね合わされるため、上記４端子法の利点を維持しながら、測定電流により生ずる磁束の影響（電磁誘導）を軽減することができる。 Thus, according to the four-terminal pair method, the forward and backward paths of the measurement current are overlapped in the measurement current path, so that the influence of the magnetic flux generated by the measurement current (while maintaining the advantages of the four-terminal method ( Electromagnetic induction) can be reduced.
なお、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体Ｓのすべてをリード線５にて接続しているのは、上記電圧を測定する際に、それに関与するＨｐ，Ｌｐの各外部導体Ｓの電位が確定していない状態は好ましくない、等の理由による。
Note that all of the outer conductors S of the coaxial cables C1 to C4 are connected by the
ところで、測定周波数が高くなると、測定経路長と信号波長との関係から、ある条件下では測定経路内に定在波が発生し、ブリッジ回路のバランスがくずれることがある。この場合には、完全な４端子測定ではなくなるため、４端子測定時には無視できたプローブの接触抵抗の影響を受けることがある。 By the way, when the measurement frequency is increased, a standing wave may be generated in the measurement path under certain conditions due to the relationship between the measurement path length and the signal wavelength, and the balance of the bridge circuit may be lost. In this case, since it is not a complete four-terminal measurement, it may be influenced by the contact resistance of the probe that could be ignored during the four-terminal measurement.
この点に関し、特許文献２には、コンタクトチェックを行うため、低圧電圧端子Ｌｐに判定電流を注入して低圧電流端子Ｌｃの電位を測定することにより、被測定試料ＤＵＴと低圧電圧端子Ｌｐおよび低圧電流端子Ｌｃとの接触を判定する接触判定回路を備えるインピーダンス測定装置が提案されている。
In this regard, in
これによれば、接触判定回路の構成が簡単で、コンタクトチェックを短時間で判定でき、被測定試料ＤＵＴの電気的特異による制約が少なく、また、被測定試料ＤＵＴとのエネルギー授受が小さい等の利点がある。 According to this, the configuration of the contact determination circuit is simple, the contact check can be determined in a short time, there are few restrictions due to the electrical singularity of the sample DUT to be measured, and energy exchange with the sample DUT to be measured is small. There are advantages.
しかしながら、接触判定回路は、基本的に反転増幅器，判定電流注入手段およびＡ／Ｄコンバータよりなり、その構成が簡単ではあるものの、測定器本体であるインピーダンス測定装置にコンタクトチェックのための専用回路を付加しているため、その分、コストアップは否めない。また、測定中にコンタクトチェックを行うことができない、という問題がある。 However, the contact determination circuit basically consists of an inverting amplifier, determination current injection means, and an A / D converter. Although its configuration is simple, a dedicated circuit for contact check is provided in the impedance measuring apparatus which is the measuring instrument body. Since it is added, the cost increase cannot be denied. In addition, there is a problem that contact check cannot be performed during measurement.
したがって、本発明の課題は、４端子対法による計測が行える回路基板検査装置において、プローブのコンタクトチェックのための専用回路が不要であり、また、測定中においても適宜コンタクトチェックが行えるようにすることにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a circuit board inspection apparatus that can perform measurement by the four-terminal pair method, and does not require a dedicated circuit for probe contact check, and can perform contact check appropriately even during measurement. There is.
上記課題を解決するため、本発明は、測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第１，第２の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第１，第２の電圧プローブと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出する制御部とを備え、４端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記各同軸ケーブルの外部導体同士が所定の導通手段を介して相互に接続されている回路基板検査装置において、
少なくとも上記第１，第２の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続されており、上記制御部は、上記スイッチがオフであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第１の電圧値とし、上記スイッチがオンであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第２の電圧値として、上記第１の電圧値と上記第２の電圧値とが実質的に等しい場合には、上記被測定試料に対する上記第１，第２の電圧プローブの接触状態が良好であると判定し、上記第１の電圧値と上記第２の電圧値とが異なる場合には、上記被測定試料に対する上記第１，第２の電圧プローブの接触状態が不良であると判定することを特徴としている。
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a measurement unit including a measurement signal source and voltage detection means, and first and second current probes included in a measurement current path between the measurement signal source and the sample to be measured. And control for calculating parameters of the sample to be measured based on measurement signals from the first and second voltage probes included in the voltage detection path between the voltage detection means and the sample to be measured and the measurement unit. A coaxial cable is used for the electrical wiring leading to the measurement part of each current probe and each voltage probe, and the outer conductors of each coaxial cable are connected to each other in a predetermined manner. In the circuit board inspection apparatus connected to each other through the conduction means of
Each coaxial cable used for at least the first and second voltage probes has a series circuit including a resistance element for impedance matching and a switch connected between the inner conductor and the outer conductor, control unit, a voltage value between the inner conductor and the outer conductor when the switch is off and the first voltage value, the internal conductor and the voltage between the external conductors when the switch is on value as the second voltage value, the contact of the first case of the voltage value and the second voltage value is substantially equal to, the first with respect to the sample to be measured, the second voltage probe When it is determined that the state is good and the first voltage value and the second voltage value are different, the contact state of the first and second voltage probes with respect to the sample to be measured is poor. as determining means determines that That.
また、上記制御部は、上記測定信号源から出力される測定信号の特定周波数を境として、上記スイッチをオンからオフもしくはオフからオンに切り替える。 The control unit switches the switch from on to off or from off to on, with a specific frequency of the measurement signal output from the measurement signal source as a boundary.
本発明によれば、高周波領域においても、測定経路に定在波が発生しないようにするため、少なくとも第１，第２の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続され、このスイッチは、高周波領域における特定の周波数を境にしてオンからオフもしくはオフからオンに切り替えられるが、その際、スイッチがオフであるときに得られる内部導体と外部導体間の第１の電圧値と、スイッチがオンであるときに得られる内部導体と外部導体間の第２の電圧値とに基づいて、各電圧プローブのコンタクトチェックを行うことができる。したがって、コンタクトチェックを行うための専用回路が不要であり、また、測定中においてもコンタクトチェックを行うことができる。 According to the present invention, in order to prevent a standing wave from being generated in the measurement path even in a high frequency region, at least each of the coaxial cables used in the first and second voltage probes includes an inner conductor and an outer conductor. Between, a series circuit including a resistance element for impedance matching and a switch is connected, and this switch is switched from on to off or from off to on at a specific frequency in the high frequency region. Based on the first voltage value between the inner and outer conductors obtained when the switch is off and the second voltage value between the inner and outer conductors obtained when the switch is on, The contact check of the voltage probe can be performed. Therefore, a dedicated circuit for performing a contact check is unnecessary, and the contact check can be performed even during measurement.
次に、図１ないし図４により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4, but the present invention is not limited to this.
まず、図１（ａ）を参照して、本発明の回路基板検査装置の構成を概略的に説明すると、この回路基板検査装置は、Ｘ−Ｙ型もしくはフライング型と呼ばれる検査装置で、基本的な構成として、制御部１０と、測定部２０と、一対の可動アーム３１，３２と、可動アームの移動機構４１，４２とを備える。
First, the configuration of the circuit board inspection apparatus of the present invention will be schematically described with reference to FIG. 1A. This circuit board inspection apparatus is an inspection apparatus called an XY type or flying type, and is basically As a simple configuration, the
制御部１０には、例えばマイクロコンピュータが用いられ、その記憶部には、被検査回路基板Ａ上に存在する被測定試料ＤＵＴについての検査プログラムや、良否判定用の基準データ等が設定される。また、制御部１０は、測定部２０からの測定信号に基づいて、被測定試料ＤＵＴのパラメータ（例えば、インピーダンス）を算出し、好ましくは、その良否判定等を行う。
For example, a microcomputer is used as the
図２に示すように、測定部２０は、先の図６で説明したのと同じく、４端子対法による測定を行うための測定信号源１、電圧検出手段としての電圧計２、電流検出手段としての電流計３およびヌルループ方式による帰還制御回路ＦＣ等を備え、この測定には、低電位Ｌｐ側の電圧プローブＰ４を仮想接地とする自動平衡ブリッジ法が適用される。
As shown in FIG. 2, the
可動アーム３１，３２は、それらの移動機構４１，４２によりＸ−Ｙ−Ｚ方向に駆動される。可動アーム３１，３２の移動制御信号は、制御部１０から移動機構４１，４２に与えられる。図示しないが、可動アーム３１，３２のほかに、別の可動アーム（例えば、ガードプローブ用の可動アーム等）が設けられてもよい。
The
なお、Ｘ−Ｙ方向とは、可動アーム３１，３２が図１に示す被検査回路基板Ａの基板面と平行な面に沿って動く方向（図１の紙面左右方向を例えばＸ方向とすれば、図１の紙面と直交する方向がＹ方向）であり、Ｚ方向とは、被検査回路基板Ａの基板面と直交する垂直方向（図１において上下方向）である。
The XY direction is a direction in which the
検査プローブには、図１（ｂ）に示す４端子対法による４本のプローブＰ１〜Ｐ４が用いられる。このうち、先の図６で説明したのと同じく、Ｐ１，Ｐ２が被測定試料ＤＵＴに対する測定電流径路に含まれる電流プローブで、Ｐ３，Ｐ４が被測定試料ＤＵＴの電圧検出径路に含まれる電圧プローブである。 As the inspection probe, four probes P1 to P4 based on the four-terminal pair method shown in FIG. 1B are used. Among these, as described above with reference to FIG. 6, P1 and P2 are current probes included in the measurement current path for the sample DUT to be measured, and P3 and P4 are voltage probes included in the voltage detection path of the sample DUT to be measured. It is.
電流プローブＰ１，Ｐ２，電圧プローブＰ３，Ｐ４には、同じ構造のプローブが用いられてよい。なお、説明するうえで、これらの各プローブを区別する必要がない場合には、単にプローブということがある。 Probes having the same structure may be used for the current probes P1, P2, and the voltage probes P3, P4. In the description, when it is not necessary to distinguish between these probes, they may be simply referred to as probes.
プローブＰ１，Ｐ２，Ｐ３およびＰ４は、それぞれ同軸ケーブルＣ１，Ｃ２，Ｃ３およびＣ４の各内部導体ＩＬを介して測定部２０に接続される。
The probes P1, P2, P3, and P4 are connected to the
電流プローブＰ１，Ｐ２のうち、電流プローブＰ１が高電位（Ｈｉ）側で測定信号源１のＨｃ端子に接続され、電流プローブＰ２は低電位（Ｌｏｗ）側として電流検出系のＬｃ端子側に接続される。
Of the current probes P1 and P2, the current probe P1 is connected to the Hc terminal of the
同様に、電圧プローブＰ３，Ｐ４のうち、電圧プローブＰ３が高電位側で電圧計２のＨｐ端子に接続され、電圧プローブＰ４は低電位側として電圧検出系のＬｐ端子側に接続される。
Similarly, of the voltage probes P3 and P4, the voltage probe P3 is connected to the Hp terminal of the
同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬは、その各一端がプローブＰ１〜Ｐ４の基端ｂ側に接続され、各他端が測定部２０に接続されるが、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の外部導体（シールド被覆線）Ｓ同士は、プローブＰ１〜Ｐ４の基端ｂ側付近において例えばリード線５により相互に接続される。
Each of the inner conductors IL of the coaxial cables C1 to C4 has one end connected to the proximal end b side of the probes P1 to P4 and the other end connected to the measuring
プローブＰ１〜Ｐ４のうち、好ましくは、高電位側の電流プローブＰ１および高電位側の電圧プローブＰ３が一方の可動アーム３２側のプローブ保持部３２ａに支持され、低電位側の電流プローブＰ２および低電位側の電圧プローブＰ４が他方の可動アーム３１側のプローブ保持部３１ａに支持される。この場合、可動アーム３１，３２は、電圧プローブＰ３，Ｐ４間に架け渡されているリード線５の長さ以下の間隔を保って移動する。
Of the probes P1 to P4, the high potential side current probe P1 and the high potential side voltage probe P3 are preferably supported by the
ところで、測定周波数が例えば数１０ＭＨｚ帯と高くなると、測定経路長と信号波長との関係から、ある条件下では測定経路内に定在波が発生し、ブリッジ回路のバランスがくずれ、完全な４端子測定ではなくなるため、４端子測定時には無視できたプローブの接触抵抗の影響を受けることがある。 By the way, when the measurement frequency is as high as several tens of MHz, for example, a standing wave is generated in the measurement path under certain conditions due to the relationship between the measurement path length and the signal wavelength, and the balance of the bridge circuit is lost. Since it is not a measurement, it may be affected by the contact resistance of the probe, which could be ignored during 4-terminal measurement.
そこで、本発明では、図２に示すように、電流プローブＰ１のＨｃ端子および電流プローブＰ２のＬｃ端子の各々に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子Ｒ０とスイッチＳＷ１の並列回路２１を接続する。
Therefore, in the present invention, as shown in FIG. 2, the
また、電圧プローブＰ３のＨｐ端子および電圧プローブＰ４のＬｐ端子については、その内部導体ＩＬと外部導体Ｓとの間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子Ｒ０とスイッチＳＷ２の直列回路２２を接続するようにしている。
For the Hp terminal of the voltage probe P3 and the Lp terminal of the voltage probe P4, the
これによれば、測定周波数や測定経路長にかかわらず、信号の反射による定在波の発生が抑えられ、測定信号を送電端から受電端に正確に伝えることが可能となり、高周波領域においても、高確度な測定を行うことができる。 According to this, regardless of the measurement frequency and measurement path length, the occurrence of standing waves due to signal reflection is suppressed, and the measurement signal can be accurately transmitted from the power transmission end to the power reception end. Highly accurate measurement can be performed.
この種の測定装置としては、アジレントテクノロジー社の１１０ＭＨｚプレシジョン・インピーダンスアナライザ４２９４Ａが知られている。 As this type of measuring apparatus, a 110 MHz precision impedance analyzer 4294A manufactured by Agilent Technologies is known.
その説明書によれば、各抵抗素子Ｒ０の抵抗値は５０Ωであり、ケーブル延長なしの場合で１５ＭＨｚ，１ｍ／２ｍケーブル延長時には５ＭＨｚ以上でスイッチＳＷ１をオフ、スイッチＳＷ２をオンとし、それ以下の周波数では、スイッチＳＷ１をオン、スイッチＳＷ２をオフとすることが記載されている。 According to the instructions, the resistance value of each resistance element R0 is 50Ω, and when the cable is not extended, the switch SW1 is turned off at 5 MHz or more and the switch SW2 is turned on when the cable is extended at 15 MHz or 1 m / 2 m. In terms of frequency, it is described that the switch SW1 is turned on and the switch SW2 is turned off.
本発明では、電圧プローブＰ３，Ｐ４のコンタクトチェックをインピーダンスマッチング用の直列回路２２に含まれているスイッチＳＷ２を利用して行う。これについて、図３に示されている高電位Ｈｐ側の電圧プローブＰ３により説明する。同図において、Ｒ１は電圧プローブＰ３の接触抵抗で、Ｖ０は被測定試料ＤＵＴに印加される検査電圧である。
In the present invention, the contact check of the voltage probes P3 and P4 is performed using the switch SW2 included in the impedance
スイッチＳＷ２がオフでインピーダンスマッチングが行われないとき、実質的にＲ０＝∞であるから、電圧計２の指示値ＶはＶ０を示す。
When the switch SW2 is OFF and impedance matching is not performed, since R0 = ∞ is substantially satisfied, the indication value V of the
これに対して、スイッチＳＷ２がオンでインピーダンスマッチングが行われたとき、電圧計２の指示値Ｖは、Ｖ＝｛Ｒ０／（Ｒ０＋Ｒ１）}×Ｖ０となる。
On the other hand, when the switch SW2 is on and impedance matching is performed, the indication value V of the
ここで、接触抵抗Ｒ１＝０Ω（もしくはＲ１≒０Ω）であれば、電圧計２の指示値Ｖは、Ｖ＝Ｖ０（もしくはＶ≒Ｖ０）となるが、接触抵抗Ｒ１≫０Ωのときには、電圧計２の指示値Ｖは、Ｖ≠Ｖ０となり、指示値Ｖに誤差が生ずる。
Here, if the contact resistance R1 = 0Ω (or R1≈0Ω), the indication value V of the
したがって、測定信号が低周波領域から高周波領域に入って、例えば１５ＭＨｚもしくは５ＭＨｚ以上の時点でインピーダンスマッチングが行われ、スイッチＳＷ２がオフからオンに転じられた際、接触抵抗Ｒ１がほぼ０Ωで、電圧計２の指示値ＶがＶ＝Ｖ０（もしくはＶ≒Ｖ０）あれば、図４（ａ）に示すように、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺは、インピーダンスマッチングの前後において連続した波形となる。 Therefore, when the measurement signal enters the high frequency region from the low frequency region and impedance matching is performed at, for example, 15 MHz or 5 MHz or more, and the switch SW2 is turned from off to on, the contact resistance R1 is approximately 0Ω, If the instruction value V of the total 2 is V = V0 (or V≈V0), as shown in FIG. 4A, the impedance Z of the sample DUT to be measured has a continuous waveform before and after impedance matching.
これに対して、接触抵抗Ｒ１がＲ１≫０Ωの場合には、電圧計２の指示値ＶがＶ≠Ｖ０となることから、図４（ｂ）に示すように、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺは、インピーダンスマッチングの前後において不連続の波形となる。なお、図４（ａ），（ｂ）に示す波形は、被測定試料ＤＵＴをコンデンサとした場合のものである。
On the other hand, when the contact resistance R1 is R1 >> 0Ω, the indication value V of the
ちなみに、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺは、電流計３により測定される電流をＩとして、Ｚ＝Ｖ／Ｉにより求められることから、スイッチＳＷ２がオンされた時点でＶが変化すると、それに応じてＺも変化する。
Incidentally, the impedance Z of the sample DUT to be measured is obtained by Z = V / I, where I is the current measured by the
電圧プローブＰ４のＬｐ端子側も同様に、その内部導体ＩＬと外部導体Ｓとの間における電圧を図示しない電圧測定手段にて測定し、スイッチＳＷ２がオフからオン（もしくはオンからオフ）に転じた時点での電圧を監視することにより、コンタクトチェックを行うことができる。 Similarly, on the Lp terminal side of the voltage probe P4, the voltage between the inner conductor IL and the outer conductor S is measured by a voltage measuring means (not shown), and the switch SW2 is turned from off to on (or from on to off). A contact check can be performed by monitoring the voltage at the time.
インピーダンスマッチングを行う周波数はあらかじめ分かっているため、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺの波形を監視し、インピーダンスマッチング周波数において、その波形が不連続である場合には、接触不良の可能性が高いため、コンタクトエラー（接触不良）と判定する。なお、Ｈｐ端子およびＬｐ端子の内部導体ＩＬと外部導体Ｓ間の電圧を監視するようにしてもよい。 Since the frequency for performing impedance matching is known in advance, the waveform of the impedance Z of the sample DUT to be measured is monitored. If the waveform is discontinuous at the impedance matching frequency, there is a high possibility of contact failure. A contact error (contact failure) is determined. Note that the voltage between the inner conductor IL and the outer conductor S of the Hp terminal and the Lp terminal may be monitored.
１ 測定信号源
２ 電圧検出手段（電圧計）
３ 電流検出手段（電流計）
５ リード線（導通手段）
１０ 制御部
２０ 測定部
３１，３２ 可動アーム
４１，４２ 移動機構
Ａ 被検査回路基板
ＤＵＴ 被測定試料
Ｐ１，Ｐ２ 電流プローブ
Ｐ３，Ｐ４ 電圧プローブ
Ｃ１〜Ｃ４ 同軸ケーブル
ＩＬ 内部導体
Ｓ 外部導体（シールド被覆線）
ＦＣ 帰還制御回路
Ｒ０ インピーダンスマッチング用の抵抗素子
ＳＷ１，ＳＷ２ スイッチ
1
3 Current detection means (Ammeter)
5 Lead wire (conduction means)
DESCRIPTION OF
FC feedback control circuit R0 impedance matching resistor SW1, SW2 switch
Claims (2)
少なくとも上記第１，第２の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続されており、
上記制御部は、上記スイッチがオフであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第１の電圧値とし、上記スイッチがオンであるときの上記内部導体と上記外部導体間の電圧値を第２の電圧値として、上記第１の電圧値と上記第２の電圧値とが実質的に等しい場合には、上記被測定試料に対する上記第１，第２の電圧プローブの接触状態が良好であると判定し、上記第１の電圧値と上記第２の電圧値とが異なる場合には、上記被測定試料に対する上記第１，第２の電圧プローブの接触状態が不良であると判定することを特徴とする回路基板検査装置。 A measurement unit including a measurement signal source and a voltage detection unit; first and second current probes included in a measurement current path between the measurement signal source and the sample to be measured; the voltage detection unit; and the sample to be measured. A first and second voltage probes included in a voltage detection path between and a control unit that calculates the parameters of the sample to be measured based on a measurement signal from the measurement unit, and is measured by a four-terminal pair method. For this purpose, a coaxial cable is used for the electrical wiring leading to the measurement section of each current probe and each voltage probe, and the outer conductors of each coaxial cable are connected to each other via a predetermined conduction means. Circuit board inspection equipment
Each coaxial cable used for at least the first and second voltage probes has a series circuit including a resistance element for impedance matching and a switch connected between the inner conductor and the outer conductor,
The control unit, the switch is a voltage value between the internal conductor and the external conductor when is off and the first voltage value, between said inner conductor and said outer conductor when said switch is on a voltage value as the second voltage value, the first when the voltage value and the second voltage value is substantially equal to, the first with respect to the sample to be measured, the second voltage probe When it is determined that the contact state is good and the first voltage value and the second voltage value are different, the contact state of the first and second voltage probes with respect to the sample to be measured is poor. circuit board inspection apparatus and judging that there is.
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