JP5847190B2 - 双極性スピン転移反転 - Google Patents
双極性スピン転移反転 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5847190B2 JP5847190B2 JP2013539989A JP2013539989A JP5847190B2 JP 5847190 B2 JP5847190 B2 JP 5847190B2 JP 2013539989 A JP2013539989 A JP 2013539989A JP 2013539989 A JP2013539989 A JP 2013539989A JP 5847190 B2 JP5847190 B2 JP 5847190B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- polarization
- magnetic
- pulse
- spin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/161—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect details concerning the memory cell structure, e.g. the layers of the ferromagnetic memory cell
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
Description
本出願は,2010年11月17日に提出された米国仮出願61/414,724号からの優先権を主張し、2011年3月4日に出願された米国特許出願第13/041,104号の一部継続であり、この第13/041,104号は2009年6月24日に出願された米国特許出願第12/490,588号の分割米国特許出願であり、この第12/490,588号は2007年10月31日に出願された米国特許出願第11/932,745号の一部継続であり、この第11/932,745号は2006年8月1日に出願された米国特許出願第11/498,303号の一部継続であり、この第11/498,303号は,2005年10月13日に米国特許出願第11/250,791号として出願され,2006年11月14日に許可され,2007年1月30日に米国特許第7,170,778号として発行されたものの一部継続であり、この米国特許第7,170,778号は2003年8月19日に出願された米国特許出願第10/643,762号の継続であり、2005年9月12日に許可され、米国特許第6,980,469号として2005年12月27日に発行されたものであり、これらのすべては,その全体が参照により本明細書に組み込まれるものである。
OST−MRAM積層体はSingulus TIMARIS PVDモジュールを使用して150ミリメートルの酸化シリコンウェハ上に成長させた。装置の層構造は、図1(a)に示されている。分極子は、Co/Niの多層膜に結合されたCO/Pdの多層交換により構成される。Co/Niの多層膜は、Ni内のCoの強いスピン散乱の非対称性と垂直磁気異方性(PMA)により高スピン分極性を有する。層の保磁力や残留磁束密度を高めるために、この層は、非常に大きいPMAと、パラジウムの強いスピン軌道散乱に起因する低いスピン分極とを有する、Co/Pdに結合されている。分極子は、MTJの一方の電極である、面内磁化されたCoFeBの自由層から10nmのCuによって分離される。MTJ構造は3CoFeB|0.8MgO|2.3Co0.4Fe0.4B0.2|0.6Ru|2Co0.4Fe0.316PtMn(各組成の左側の数は層の厚さをnmで示す)である。ウェハは、磁場中で2時間300℃で焼きなました後、振動試料磁気測定(VSM)、強磁性共鳴分光法(FMR)、および面内電流トンネリング(CIPT)測定により、特性が決定される。図1(c)は、面内および面に対して垂直に印加された磁界におけるフィルム磁化のVSM測定値を示している。自由層は非常に柔らかいが、他方、参照層は約50mTの保磁力を持っており、反強磁性PtMnからの交換バイアスは100mTである。垂直分極子は50mTの保磁力を持つ。
好適な実施形態における装置および方法の磁化のダイナミクスは、垂直分極子と、基準層に関連付けられたスピン転移トルクを考慮することにより、以下のように第一近似にモデル化することができる。
特定の実施形態では、パルス持続時間は重要ではない。このような場合には、メモリ動作のために、パルス持続時間が重要な変数ではない(すなわち、正確なパルス持続時間はビットセルの最終状態を決定せず、パルス極性‐正または負の‐だけが重要である)ことが好ましいことがあり得る。この場合、装置には1または1より大きいβが与えられる。多くの方法によりこれを達成することができる。
Claims (12)
- 垂直に磁化され、Co/Pd上またはCo/Pt上に配置された、スピン分極を低減させる多層のCo/Niを含む分極層、
第一の電極を形成し、第一の非磁性金属層により磁化された前記分極層から分離され、第一の安定状態と第二の安定状態とを有する磁化ベクトルを有する自由磁性層、
第二の電極を形成し、第二の非磁性層によって前記自由磁性層から分離され、固定された磁化ベクトルを有する基準層、並びに
単極性電流を前記磁化された分極層、前記自由磁性層及び前記基準層を通して発生させる電流源であって、最小切替パルス持続時間より長い第一の持続時間で選択される振幅を有する第一の単極性電流パルスを出力することが可能な電流源を含む磁気装置であって、
前記第一の単極性電流パルスが前記分極層を直交して通して流れ、正の極性を有し、前記電流源が最小切替パルス持続時間より長い第二の持続時間で選択される振幅を有する第二の単極性電流パルスを出力することが可能であり、前記第二の単極性電流パルスが前記分極層を直交して通して流れ、負の極性を有し、
前記自由磁性層の前記磁化ベクトルの前記第一の安定状態から前記第二の安定状態への反転が前記第一の単極性電流パルスの印加によって引き起こされ、
前記自由磁性層の前記磁化ベクトルの前記第二の安定状態から前記第一の安定状態への反転が前記第二の単極性電流パルスの印加によって引き起こされ、
前記第二の安定状態への反転が前記第一の単極性電流パルスの前記第一の持続時間とは独立しており、
前記第一の安定状態への反転が前記第二の単極性電流パルスの前記第二の持続時間とは独立している、磁気装置。 - β>1が前記第一の単極性電流パルスについては直接平行から反平行へ、前記第二の単極性電流パルスについては反平行から平行へ行われる、前記自由磁性層の前記磁化ベクトルの反転を提供する、請求項2に記載の磁気装置。
- 前記自由磁性層の前記磁化ベクトルの反転が、前記第一の単極性電流パルス及び前記第二の単極性電流パルスの両方について歳差的で双極的である、請求項2に記載の磁気装置。
- 前記βが1未満である、請求項2に記載の磁気装置。
- 1未満の前記βに対して、磁化方向が歳差的となり、これにより、より高い電流振幅に対しては、より高い歳差周波数を提供する、請求項2に記載の磁気装置。
- βが1または1よりも大きい群から選択され、パルス極性が、前記自由磁性層の最終的磁化状態を制御し、前記最終的磁化状態が前記電流パルスの持続時間とは独立している、請求項2に記載の磁気装置。
- 前記基準層のスピン分極が前記基準層とそれに隣接する磁性トンネル接合層との接合材を選択することによって増大され、前記接合材が(a)CoFeB及びMgO、(b)NiFe及びMgO並びに(c)CoFe及びMgOの群から選択される、請求項7に記載の磁気装置。
- 前記Co/Niの厚みを変えて前記分極層の前記スピン分極を制御する、請求項1に記載の磁気装置。
- 前記分極層と前記自由磁性層との間に配置された非磁性層を更に含むことによって前記分極層のスピン分極が低減され、それによって前記分極層からのキャリアのスピン分極を制御する、請求項7に記載の磁気装置。
- 前記非磁性層が、制御された欠陥を有するCuを含み、これによりスピン分極を減少させる、請求項10に記載の磁気装置。
- 前記非磁性層が、その層の厚さを変えることができ、それによって前記自由磁性層上に付随的に存在する前記分極層からのスピン分極を減少させる、請求項10に記載の磁気装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US41472410P | 2010-11-17 | 2010-11-17 | |
US61/414,724 | 2010-11-17 | ||
US13/041,104 | 2011-03-04 | ||
US13/041,104 US8363465B2 (en) | 2003-08-19 | 2011-03-04 | High speed low power magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer |
PCT/US2011/061077 WO2012068309A2 (en) | 2010-11-17 | 2011-11-16 | Bipolar spin-transfer switching |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014502423A JP2014502423A (ja) | 2014-01-30 |
JP5847190B2 true JP5847190B2 (ja) | 2016-01-20 |
Family
ID=46084630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013539989A Expired - Fee Related JP5847190B2 (ja) | 2010-11-17 | 2011-11-16 | 双極性スピン転移反転 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2641247B1 (ja) |
JP (1) | JP5847190B2 (ja) |
KR (1) | KR101559216B1 (ja) |
CN (1) | CN103299370B (ja) |
WO (1) | WO2012068309A2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8941196B2 (en) * | 2012-07-10 | 2015-01-27 | New York University | Precessional reversal in orthogonal spin transfer magnetic RAM devices |
JP5576449B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2014-08-20 | 株式会社東芝 | 不揮発性記憶装置 |
US9721631B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-08-01 | New York University | Precessional magnetization reversal in a magnetic tunnel junction with a perpendicular polarizer |
US9337412B2 (en) * | 2014-09-22 | 2016-05-10 | Spin Transfer Technologies, Inc. | Magnetic tunnel junction structure for MRAM device |
JP5932960B1 (ja) | 2014-12-22 | 2016-06-08 | 株式会社東芝 | 磁気記録装置 |
US9773974B2 (en) | 2015-07-30 | 2017-09-26 | Spin Transfer Technologies, Inc. | Polishing stop layer(s) for processing arrays of semiconductor elements |
US10115443B2 (en) | 2016-03-15 | 2018-10-30 | National University Of Singapore | Techniques to improve switching probability and switching speed in SOT devices |
JP6820572B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-01-27 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 磁気記憶装置 |
CN109473543A (zh) * | 2017-09-07 | 2019-03-15 | 中电海康集团有限公司 | 存储单元与具有其的存储器 |
KR102073467B1 (ko) * | 2018-01-30 | 2020-02-04 | 고려대학교 산학협력단 | 교류전류를 이용한 스핀 궤도 토크 자기 메모리 소자 |
US11988702B2 (en) | 2018-04-04 | 2024-05-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for inspection of defective MTJ cell in STT-MRAM |
CN112186097B (zh) * | 2019-07-01 | 2023-10-27 | 上海磁宇信息科技有限公司 | 一种优化磁性随机存储器写性能的结构及其制备方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6980469B2 (en) * | 2003-08-19 | 2005-12-27 | New York University | High speed low power magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer |
US7573737B2 (en) * | 2003-08-19 | 2009-08-11 | New York University | High speed low power magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer |
US7911832B2 (en) | 2003-08-19 | 2011-03-22 | New York University | High speed low power magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer |
JP4682585B2 (ja) * | 2004-11-01 | 2011-05-11 | ソニー株式会社 | 記憶素子及びメモリ |
US7508042B2 (en) * | 2006-12-22 | 2009-03-24 | Magic Technologies, Inc. | Spin transfer MRAM device with magnetic biasing |
FR2924261A1 (fr) * | 2007-11-26 | 2009-05-29 | Commissariat Energie Atomique | Support d'enregistrement magnetique |
JP2011175987A (ja) * | 2008-05-09 | 2011-09-08 | Fuji Electric Co Ltd | スピンバルブ素子および記憶装置 |
US8233319B2 (en) * | 2008-07-18 | 2012-07-31 | Seagate Technology Llc | Unipolar spin-transfer switching memory unit |
KR101178767B1 (ko) * | 2008-10-30 | 2012-09-07 | 한국과학기술연구원 | 이중 자기 이방성 자유층을 갖는 자기 터널 접합 구조 |
US7936592B2 (en) * | 2009-02-03 | 2011-05-03 | Seagate Technology Llc | Non-volatile memory cell with precessional switching |
ATE544153T1 (de) * | 2009-05-08 | 2012-02-15 | Crocus Technology | Magnetischer speicher mit wärmeunterstütztem schreibverfahren und niedrigem schreibstrom |
-
2011
- 2011-11-16 KR KR1020137015305A patent/KR101559216B1/ko active IP Right Grant
- 2011-11-16 CN CN201180063255.7A patent/CN103299370B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-11-16 WO PCT/US2011/061077 patent/WO2012068309A2/en active Application Filing
- 2011-11-16 EP EP11841445.7A patent/EP2641247B1/en active Active
- 2011-11-16 JP JP2013539989A patent/JP5847190B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103299370B (zh) | 2016-01-20 |
EP2641247B1 (en) | 2016-01-20 |
JP2014502423A (ja) | 2014-01-30 |
KR101559216B1 (ko) | 2015-10-13 |
WO2012068309A3 (en) | 2012-07-19 |
EP2641247A4 (en) | 2014-08-27 |
WO2012068309A2 (en) | 2012-05-24 |
CN103299370A (zh) | 2013-09-11 |
EP2641247A2 (en) | 2013-09-25 |
KR20130107330A (ko) | 2013-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5847190B2 (ja) | 双極性スピン転移反転 | |
US9236103B2 (en) | Bipolar spin-transfer switching | |
US9947382B2 (en) | Electrically gated three-terminal circuits and devices based on spin hall torque effects in magnetic nanostructures apparatus, methods and applications | |
US9812184B2 (en) | Current induced spin-momentum transfer stack with dual insulating layers | |
US9691458B2 (en) | Circuits and devices based on spin hall effect to apply a spin transfer torque with a component perpendicular to the plane of magnetic layers | |
US10460786B2 (en) | Systems and methods for reducing write error rate in magnetoelectric random access memory through pulse sharpening and reverse pulse schemes | |
US7573737B2 (en) | High speed low power magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer | |
US7307876B2 (en) | High speed low power annular magnetic devices based on current induced spin-momentum transfer | |
JP2014064033A (ja) | 電流誘起スピン−運動量移動に基づく高速低電力磁気デバイス | |
TWI422083B (zh) | Magnetic memory lattice and magnetic random access memory |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140722 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20141017 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20141024 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151026 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5847190 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |