JP5844269B2 - 調整装置を有する荷電粒子複数ビームレット・リソグラフィ・システム - Google Patents
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Description
以下に、本願出願時の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]ターゲットの表面上にパターンを転写するための荷電粒子リソグラフィ・システムであって、
複数の荷電粒子ビームレットを生成するためのビーム発生器であって、前記複数のビームレットは列を定義する、ビーム発生器と、
複数のビームレットを前記ターゲット表面に達することから遮断するための表面と、前記複数のビームレットが前記ターゲット表面に達することを可能にするための前記表面におけるアパーチャのアレイを有するビーム・ストップ・アレイと、
前記複数のビームレットが前記ビーム・ストップ・アレイによって遮断されるか遮断されないように前記複数のビームレットを偏向させるか偏向させないことによって、前記複数のビームレットのうちの1または複数が前記ターゲット表面に達することを防ぐか前記複数のビームレットのうちの1または複数が前記ターゲット表面に達することを可能にするためのビームレットを調整するための調整装置であって、
前記複数のビームレットに前記調整装置を通過させるためのアレイ状に配置された複数のアパーチャと、
アレイ状に配置された複数の調整器であって、各調整器がアパーチャの両側で延びる前記アパーチャを横切る電位差を生成するための電極を設けられている、複数の調整器と、
調整された複数の光ビームを受け取るとともに前記複数の光ビームを前記複数の調整器を作動させるための電気信号に変換するためのアレイ状に配置された複数の感光素子であって、前記複数の感光素子は前記列の内側に位置する、複数の感光素子と、
を具備する調整装置と、
を具備し、
前記調整装置は交互の複数のビーム領域および複数の非ビーム領域へ分割されており、
前記アパーチャのアレイおよび前記調整器のアレイは前記複数のビーム領域内に位置し、
前記感光素子のアレイは前記複数の非ビーム領域内に位置し、隣接のビーム領域内の前記複数の調整器と通信する。
荷電粒子リソグラフィ・システム。
[2]前記複数の非ビーム領域のうちの複数は前記ビームレット列の内側に位置し、前記複数の荷電粒子ビームレットが前記装置の前記複数のビーム領域のみにおいて前記調整装置と交差するように配置されている、
[1]のシステム。
[3]1つのビーム領域内の前記複数の調整器が、このビーム領域の1または複数の側に位置する複数の非ビーム領域内に配置された複数の感光素子によって制御される、
[1]または[2]のシステム。
[4]前記複数のビーム領域内の前記複数の調整器が前記複数の非ビーム領域内の前記複数の感光素子より密に詰め込まれている、
先行する請求項のいずれかのシステム。
[5]前記複数のビームレットが複数のグループに構成され、前記複数の調整器が複数のグループに構成され、
各調整器のグループが前記複数のビームレットのグループのうちの1つを偏向させるか偏向させないためのものであって、
各調整器のグループが前記調整装置の前記複数のビーム領域の1つの中に位置する、
先行する請求項のいずれかのシステム。
[6]各ビームレットのグループが共通点に集束するように構成されている、
[5]のシステム。
[7]1つのビームレットのグループのための前記共通の集束点が前記ビームレットのグループの光学軸上にある、
[6]のシステム。
[8]各調整器のグループの前記複数の調整器の各々が、1つのビームレットのグループの前記複数のビームレットを偏向させるために、このビームレットのグループの前記集束点から延びる放射状線に沿って回転させられる、
[6]または[7]のシステム。
[9]各ビームレットのグループが、前記ビーム・ストップ・アレイ中の1つのアパーチャの方へ向けられるように構成されている、
[5]乃至[8]のいずれかのシステム。
[10]各調整器のグループが、前記複数のビーム領域のうちの1つにおいて長方形アレイ状に配置され、隣接する非ビーム領域中の1つの感光素子によって制御される、
[5]乃至[9]のいずれかのシステム。
[11]各調整器のグループが、前記対応する複数のビームレットのグループの中心に位置する軸のまわりに放射状に配置されている、
[5]乃至[9]のいずれかのシステム。
[12]前記複数のビーム領域および前記複数の非ビーム領域が複数の長方形のスリットの形態にある、
先行する請求項のいずれかのシステム。
[13]前記複数のスリットが実質的に前記ビームレットの列の全体の幅にわたって延びる、
[12]のシステム。
[14]前記複数の非ビーム領域が前記複数のビーム領域より大きな幅を有する、
[12]または[13]のシステム。
[15]前記複数のスリットの方向が前記リソグラフィ・システムのウェハ位置決めシステムの相対的な移動方向と実質的に交わるか、前記複数のビームレットの偏向を走査する方向と実質的に平行である、
[12]乃至[14]のいずれかのシステム。
[16]前記複数の感光素子の各々が前記複数の調整器の複数を制御するための信号を提供する、
先行する請求項のいずれかのシステム。
[17]前記複数の感光素子によって受信された前記複数の調整された光信号が複数の調整器を制御するための情報を提供するように多重化され、
各感光素子は複数の調整器を制御するための前記受信された信号の逆多重化するためのデマルチプレクサと通信する、
[16]のシステム。
[18]対応する感光素子のための前記デマルチプレクサが、前記感光素子と前記感光素子によって受信された前記信号によって制御される前記複数の調整器を含んだ前記ビーム領域との間に位置する、
[17]のシステム。
[19]前記調整装置が前記複数のビーム領域内に位置する複数の記憶素子を含んでおり、
各記憶素子が前記複数の調整器の1つの制御のための信号を格納する、
[16]乃至[18]のいずれかのシステム。
[20]前記複数の調整器が2次元アレイ状に配置され、
行と列がビット線とワード線によってアドレス指定される、
[16]乃至[19]のいずれかのシステム。
[21]前記複数の感光素子の各々が少なくとも25の調整器を制御するための信号を提供する、
[16]乃至[20]のいずれかのシステム。
[22]前記調整装置の前記複数の非ビーム領域が前記複数のビーム領域より大きな構造的強度を有する、
先行する請求項のいずれかのシステム。
[23]パターンに従って複数の荷電粒子ビームレットをパターン化するための荷電粒子リソグラフィ・システムで使用される調整装置であって、前記複数のビームレットは列を定義し、前記調整装置は前記複数のビームレットを偏向させるか偏向させないことによって前記複数のビームレットの1または複数が前記ターゲット表面に達することを防ぐか前記複数のビームレットの1または複数が前記ターゲット表面に達するように前記複数のビームレットを調整することに役立ち、
前記複数のビームレットに前記調整装置を通過させるためのアレイ状に配置された複数のアパーチャと、
アレイ状に配置された複数の調整器であって、各調整器がアパーチャの両側で延びる前記アパーチャを横切る電位差を生成するための電極を設けられている、複数の調整器と、
調整された複数の光ビームを受け取るとともに前記複数の光ビームを前記複数の調整器を作動させるための電気信号に変換するためのアレイ状に配置された複数の感光素子であって、前記複数の感光素子は前記列の内側に位置する、複数の感光素子と、
を具備し、
前記調整装置は交互の複数のビーム領域および複数の非ビーム領域へ分割されており、
前記アパーチャのアレイおよび前記調整器のアレイは前記複数のビーム領域内に位置し、
前記感光素子のアレイは前記複数の非ビーム領域内に位置し、隣接のビーム領域内の前記複数の調整器と通信する、調整装置。
[24]前記複数の非ビーム領域のうちの複数は前記ビームレット列の内側に位置し、前記複数の荷電粒子ビームレットが前記装置の前記複数のビーム領域のみにおいて前記調整装置と交差するように配置されている、
[23]の調整装置。
[25]1つのビーム領域内の前記複数の調整器が、このビーム領域の1または複数の側に位置する複数の非ビーム領域内に配置された複数の感光素子によって制御される、
[23]または[24]の調整装置。
[26]前記複数のビーム領域内の前記複数の調整器が前記複数の非ビーム領域内の前記複数の感光素子より密に詰め込まれている、
[23]乃至[25]のいずれかの調整装置。
[27]前記複数のビームレットが複数のグループに構成され、前記複数の調整器が複数のグループに構成され、
各調整器のグループが前記複数のビームレットのグループのうちの1つを偏向させるか偏向させないためのものであって、
各調整器のグループが前記調整装置の前記複数のビーム領域の1つの中に位置する、
[23]乃至[26]のいずれかの調整装置。
[28]各ビームレットのグループが共通点に集束するように構成されている、
[27]の調整装置。
[29]1つのビームレットのグループのための前記共通の集束点が前記ビームレットのグループの光学軸上にある、
[28]の調整装置。
[30]各調整器のグループの前記複数の調整器の各々が、1つのビームレットのグループの前記複数のビームレットを偏向させるために、このビームレットのグループの前記集束点から延びる放射状線に沿って回転させられる、
[28]または[29]の調整装置。
[31]各ビームレットのグループが、前記ビーム・ストップ・アレイ中の1つのアパーチャの方へ向けられるように構成されている、
[23]乃至[30]のいずれかの調整装置。
[32]各調整器のグループが、前記複数のビーム領域のうちの1つにおいて長方形アレイ状に配置され、隣接する非ビーム領域中の1つの感光素子によって制御される、
[23]乃至[31]のいずれかの調整装置。
[33]各調整器のグループが、前記対応する複数のビームレットのグループの中心に位置する軸のまわりに放射状に配置されている、
[23]乃至[31]のいずれかの調整装置。
[34]前記複数のビーム領域および前記複数の非ビーム領域が複数の長方形のスリットの形態にある、
[23]乃至[32]のいずれかの調整装置。
[35]前記複数のスリットが実質的に前記ビームレットの列の全体の幅にわたって延びる、
[34]の調整装置。
[36]前記複数の非ビーム領域が前記複数のビーム領域より大きな幅を有する、
[34]または[35]の調整装置。
[37]前記複数のスリットの方向が前記リソグラフィ・調整装置のウェハ位置決め調整装置の相対的な移動方向と実質的に交わるか、前記複数のビームレットの偏向を走査する方向と実質的に平行である、
[34]乃至[36]のいずれかの調整装置。
[38]前記複数の感光素子の各々が前記複数の調整器の複数を制御するための信号を提供する、
[23]乃至[37]のいずれかの調整装置。
[39]前記複数の感光素子によって受信された前記複数の調整された光信号が複数の調整器を制御するための情報を提供するように多重化され、
各感光素子は複数の調整器を制御するための前記受信された信号の逆多重化するためのデマルチプレクサと通信する、
[38]の調整装置。
[40]対応する感光素子のための前記デマルチプレクサが、前記感光素子と前記感光素子によって受信された前記信号によって制御される前記複数の調整器を含んだ前記ビーム領域との間に位置する、
[39]の調整装置。
[41]前記調整装置が前記複数のビーム領域内に位置する複数の記憶素子を含んでおり、
各記憶素子が前記複数の調整器の1つの制御のための信号を格納する、
[38]乃至[40]のいずれかの調整装置。
[42]前記複数の調整器が2次元アレイ状に配置され、
行と列がビット線とワード線によってアドレス指定される、
[38]乃至[41]のいずれかの調整装置。
[43]前記複数の感光素子の各々が少なくとも25の調整器を制御するための信号を提供する、
[38]乃至[42]のいずれかの調整装置。
[44]前記調整装置の前記複数の非ビーム領域が前記複数のビーム領域より大きな構造的強度を有する、
[38]乃至[43]のいずれかの調整装置。
[45]特に先行する請求項のいずれかの荷電粒子リソグラフィ・システムを使用してターゲット表面上へパターンを転写する方法であって、
列を定義する複数のビームレットを生成するステップと、
制御ユニットの制御の下で、前記複数のビームレットが前記ターゲット表面に達するのを完全にまたは部分的に防ぐ目的で、前記複数のビームレットを偏向させるか偏向させないことによって前記複数のビームレットを調整するステップと、
前記通過した複数のビームレットを前記ターゲット表面に転送するステップと、
を具備し、
前記調整することは、
前記パターンを搬送する調整された複数の光ビームとしてデータを複数の感光素子に光学的に送信するステップと、
前記複数の感光素子によって受信された、前記調整された複数の光ビームを電気信号に変換するステップと、
電界中での偏向によって、前記複数のビームレットが前記ターゲット表面に達することから遮断するか遮断しないために前記複数のビームレットを選択的に偏向させるために、前記電気信号に基づいて1または複数の調整器を作動させるステップと、
を具備する方法。
Claims (13)
- パターンに従って複数の荷電粒子ビームレットをパターン化するための荷電粒子リソグラフィ・システムで使用される調整装置であって、前記複数のビームレットはビームレット列を規定し、前記調整装置は前記複数のビームレットを偏向させるか偏向させないかによって前記複数のビームレットの1または複数がターゲット表面に達しないか前記複数のビームレットの1または複数がターゲット表面に達するかするように前記複数のビームレットを調整することに役立ち、前記調整装置は、
前記複数のビームレットが前記調整装置を通過するようにアレイ状に配置された複数のアパーチャと、
二次元アレイ状に配置された複数の調整器であって、各調整器はアパーチャの対向する両側で延び、前記アパーチャを横切る電位差を生成するための複数の電極が設けられている、複数の調整器と、
調整された複数の光ビームを受け取るとともに前記複数の光ビームを前記複数の調整器を作動させるための電気信号に変換するためのアレイ状に配置された複数の感光素子であって、前記複数の感光素子は前記ビームレット列の内側に位置する、複数の感光素子と、
を具備し、
前記調整装置は交互の複数のビーム領域および複数の非ビーム領域へ分割されており、
複数の非ビーム領域は、前記ビームレット列の内側に位置し、前記複数の非ビーム領域は、前記複数のビーム領域の内側の複数の構成要素をサポートするために必要な構成要素のための領域を提供するように構成され、
前記複数のビーム領域内の構成要素は、前記複数のアパーチャのアレイと前記複数の調整器のアレイとを具備し、
前記複数の非ビーム領域内の構成要素は、前記複数の感光素子のアレイを具備し、隣接するビーム領域内の前記複数の調整器と通信し、
感光素子アレイを備える前記非ビーム領域の少なくとも1つは、アパーチャと調整器を備える2つの前記ビーム領域の間に配置され、
前記感光素子の各々は、前記複数の調整器を制御するための信号を供給し、
前記感光素子によって受信された前記調整された信号は、2つ以上の調整器を制御するための情報を提供するように多重化され、
各感光素子は複数の調整器を制御するための前記受信された信号を逆多重化するためのデマルチプレクサと通信し、
前記デマルチプレクサは、前記感光素子と、前記感光素子によって受信された前記信号によって制御される前記複数の調整器を含んだ前記ビーム領域との間に位置
する、調整装置。 - 1つのビーム領域内の前記複数の調整器が、このビーム領域の1または複数の側に位置する複数の非ビーム領域内に配置された複数の感光素子によって制御される、
請求項1の調整装置。 - 前記複数のビーム領域内の前記複数の調整器の数が前記複数の非ビーム領域内の前記複数の感光素子の数より多い、
請求項1乃至2のいずれか1項の調整装置。 - 前記複数のビームレットが複数のグループに構成され、前記複数の調整器が複数のグループに構成され、
複数の調整器のグループの各々が前記複数のビームレットのグループのうちの1つを偏向させるか偏向させないかのためのものであって、
複数の調整器のグループの各々が前記調整装置の前記複数のビーム領域の1つの中に位置する、
請求項1乃至3のいずれか1項の調整装置。 - 複数のビームレットのグループの各々が共通点に集束するように構成されている、
請求項4の調整装置。 - 複数のビームレットのグループの各々が、ビーム・ストップ・アレイ中の1つのアパーチャの方へ向けられるように構成されている、
請求項4または5の調整装置。 - 複数の調整器のグループの各々が、前記複数のビーム領域のうちの1つにおいて長方形アレイ状に配置され、隣接する非ビーム領域中の1つの感光素子によって制御される、
請求項4乃至6のいずれか1項の調整装置。 - 前記複数のビーム領域および前記複数の非ビーム領域が、実質的に前記ビームレット列の全体の幅にわたって延びる複数の長方形のスリットの形態にある、
請求項1乃至7のいずれか1項の調整装置。 - 前記複数の非ビーム領域が前記複数のビーム領域より大きな幅を有する、
請求項8の調整装置。 - 前記調整装置が前記複数のビーム領域内に位置する複数の記憶素子を含んでおり、
各記憶素子が前記複数の調整器の1つの制御のための信号を格納する、
請求項1乃至9のいずれか1項の調整装置。 - 前記複数の調整器が2次元アレイ状に配置され、
行と列がビット線とワード線によってアドレス指定される、
請求項1乃至10のいずれか1項の調整装置。 - ターゲットの表面上にパターンを転送するための荷電粒子リソグラフィ・システムであって、
複数の荷電粒子ビームレットを生成するためのビーム発生器であって、前記複数のビームレットはビームレット列を規定する、ビーム発生器と、
複数のビームレットが前記ターゲット表面に達しないように遮断するための遮断表面と、前記複数のビームレットが前記ターゲット表面に達するようにするための前記遮断表面中のアパーチャのアレイを有するビーム・ストップ・アレイと、
請求項1乃至11のいずれか1項の調整装置と、
を具備する、荷電粒子リソグラフィ・システム。 - 請求項1乃至12のいずれか1項の荷電粒子リソグラフィ・システムを使用してターゲット表面上へパターンを転送する方法であって、
ビームレット列を規定する複数のビームレットを生成するステップと、
制御ユニットの制御の下で、前記複数のビームレットが前記ターゲット表面に達するのを完全にまたは部分的に防ぐ目的で、前記複数のビームレットを偏向させるか偏向させないかによって前記複数のビームレットを調整するステップと、
前記通過した複数のビームレットを前記ターゲット表面に転送するステップと、
を具備し、
前記調整することは、
前記パターンを搬送する調整された複数の光ビームとしてデータを複数の感光素子に光学的に送るステップと、
前記複数の感光素子によって受け取られた、前記調整された複数の光ビームを電気信号に変換するステップと、
電界中での偏向によって、前記複数のビームレットが前記ターゲット表面に達するのを遮断するか遮断しないかするために前記複数のビームレットを選択的に偏向させるように、前記電気信号に基づいて1または複数の調整器を作動させるステップと、
を、さらに具備する方法。
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