JP5843622B2 - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5843622B2 JP5843622B2 JP2012004778A JP2012004778A JP5843622B2 JP 5843622 B2 JP5843622 B2 JP 5843622B2 JP 2012004778 A JP2012004778 A JP 2012004778A JP 2012004778 A JP2012004778 A JP 2012004778A JP 5843622 B2 JP5843622 B2 JP 5843622B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- blade
- fluid
- workpiece
- cutting blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
4 吸引テーブル
6 パッケージ基板
8 固定治具
20 切削ユニット
22 スピンドル
24 切削ブレード
50 ブレードカバー
62 冷却水ノズルアセンブリ
66 冷却水ノズル
74 バリ除去流体噴出ユニット
76 流体噴出口
90 切削水ノズルアセンブリ
96 切削水ノズル
100 混合流体
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、回転駆動されるスピンドルと該スピンドルの先端に装着され該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードとを有する切削手段と、該切削手段と該保持手段とを切削送り方向に相対移動させる切削送り手段とを備え、該切削ブレードが被加工物を切削して切削溝が形成される方向を加工進行方向とする切削装置であって、
該切削ブレードの該加工進行方向後方側に該切削ブレードに隣接して配設され、該切削ブレードで被加工物を切削して形成された切削溝に対向して流体を噴出して、該切削ブレードの切削で被加工物に発生したバリを除去する流体噴出口を有するバリ除去流体噴出手段を具備し、
前記流体は液体と気体の混合流体から構成され、
前記流体噴出口の直径はφ0.5〜2mmであり、
該液体の流量は0.3〜0.5l/分であり、
該気体の噴出圧力は0.3〜1.0MPaであり、
該流体噴出口と被加工物上面との距離は0.5〜5mmであることを特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012004778A JP5843622B2 (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012004778A JP5843622B2 (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013144324A JP2013144324A (ja) | 2013-07-25 |
JP5843622B2 true JP5843622B2 (ja) | 2016-01-13 |
Family
ID=49040450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012004778A Active JP5843622B2 (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5843622B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6318034B2 (ja) * | 2014-07-14 | 2018-04-25 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016131189A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 株式会社ディスコ | 切削方法及び切削装置 |
JP6486710B2 (ja) * | 2015-02-23 | 2019-03-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016157892A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2016162769A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-05 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
-
2012
- 2012-01-13 JP JP2012004778A patent/JP5843622B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013144324A (ja) | 2013-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5843622B2 (ja) | 切削装置 | |
KR102346492B1 (ko) | 워터 제트 가공 장치 | |
JP6173173B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5415184B2 (ja) | 切削装置 | |
JP7019241B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
JP6938087B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
TWI397955B (zh) | The cutting device of the workpiece | |
JP5220513B2 (ja) | ノズル調整治具 | |
JP2012064617A (ja) | 切削方法 | |
JP2012004414A (ja) | 切削装置 | |
JP2009285799A (ja) | 切削装置 | |
JP5769475B2 (ja) | 加工液供給ノズルの品質管理方法 | |
JP2019181584A (ja) | 加工装置 | |
JP6242162B2 (ja) | 切削装置及び切削方法 | |
JP5875331B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5947605B2 (ja) | ノズル調整治具 | |
JP5465064B2 (ja) | ノズル調整治具 | |
JP2017127910A (ja) | 切削装置 | |
JP6188411B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2011073080A (ja) | 撮像装置 | |
JP5486225B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5954978B2 (ja) | バイト切削装置 | |
JP2022064024A (ja) | 切削装置 | |
JP2011062778A (ja) | 切削装置 | |
JP6713195B2 (ja) | チャックテーブル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5843622 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |