JP5823880B2 - 板状物の研削方法 - Google Patents
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Description
4 研削ユニット(研削手段)
31 チャックテーブル
44 研削ホイール
51 ハイトゲージ(厚み測定手段)
52 接触子
72 型板
71 開口
91 リングフレーム
92 粘着テープ
93 分割面(辺)
94 外周円弧
W 板状物
W1 扇状個片
Claims (1)
- 上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
複数の円盤形状の板状物を4等分の扇状個片に分割する分割ステップと、
前記分割ステップで分割された複数の扇状個片の分割した辺同士を互い違いに当接し外周円弧が向かい合うように直線状に配置して辺を形成し4つの辺によって四角形を形成すると共に4隅には半円形状に配置し、該辺の外周縁と内周縁の間に真円が描けるように四角形状に複数の扇状個片を一体に粘着テープに貼着する一体貼着ステップと、
前記四角形状の対角線の交点を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された複数の扇状個片を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記四角形状の外周縁と内周縁の間に描ける真円に前記厚み測定手段を位置付け、前記チャックテーブルが回転し前記厚み測定手段によって前記複数の扇状個片の厚さを検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。
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JP2012006317A JP5823880B2 (ja) | 2012-01-16 | 2012-01-16 | 板状物の研削方法 |
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