JP5819978B2 - 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 - Google Patents
成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5819978B2 JP5819978B2 JP2013540651A JP2013540651A JP5819978B2 JP 5819978 B2 JP5819978 B2 JP 5819978B2 JP 2013540651 A JP2013540651 A JP 2013540651A JP 2013540651 A JP2013540651 A JP 2013540651A JP 5819978 B2 JP5819978 B2 JP 5819978B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film
- heater
- group iii
- epitaxial growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 224
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 111
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 388
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 240
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 114
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 55
- 230000012010 growth Effects 0.000 claims description 45
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 30
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 171
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 80
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 71
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 69
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 63
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 54
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 47
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 40
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 38
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 2
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 2
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 nitride compound Chemical class 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007773 growth pattern Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004969 ion scattering spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/10—Heating of the reaction chamber or the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02378—Silicon carbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
- C30B23/08—Epitaxial-layer growth by condensing ionised vapours
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02266—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by physical ablation of a target, e.g. sputtering, reactive sputtering, physical vapour deposition or pulsed laser deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02381—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/0242—Crystalline insulating materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02458—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02551—Group 12/16 materials
- H01L21/02554—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0066—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound
- H01L33/007—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound comprising nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/16—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
- H01L33/18—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous within the light emitting region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Led Devices (AREA)
Description
なお、チルトやツイストのモザイク広がりの大きさは、基板表面に平行に形成された特定の格子面(対称面)や、基板表面に垂直に形成された特定の格子面に対してXRC測定を行い、得られた回折ピークのFWHMを調べることで評価することができる。
すなわち、特許文献2には、スパッタリング法を用いて成膜したIII族窒化物半導体からなる緩衝層について、極性の制御方法が記載されていない。本発明者らが、特許文献2に開示された技術の確認実験を行なった結果においても、得られた発光素子では良好な発光特性を得ることができなかった。
本発明に関する主な特徴は、後述するエピタキシャル成長用基板(例えば、α−Al2O3基板、Si基板、Ge基板といった非極性表面(後述)を有する基板、4H−SiC基板といった有極性表面(後述)を有する基板など)上に、例えば高周波スパッタリング法といったスパッタリング法によりウルツ鉱構造を有する半導体薄膜(例えば、ウルツ鉱構造のIII族窒化物半導体薄膜、ZnO系半導体薄膜など)をエピタキシャル成長させる際に、ヒーターにより加熱された基板をヒーターの基板対向面から所定距離だけ離間して保持しながら、上記ウルツ鉱構造を有する半導体薄膜の成膜を行うことにある。以下、図面を参照して本発明を説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変できることは勿論である。
ヒーター103に内蔵されたヒーター電極203(または302)は図4A、4Bのような電極パターンを有している。この電極パターンに電源(不図示)を接続し、直流または交流の電圧を印加することで、ヒーター電極203(または302)に電流が流れ、発生したジュール熱によりヒーター103が加熱される。基板はヒーター103から放射される赤外線により加熱される。
図6は、基板保持装置の第二の構成例を示している。図6において、符号504は基板、符号603は基板保持装置である(ホルダー支持部550は不図示)。基板保持装置603は、同一断面を有する略リング状の部材であり、下方から基板504を保持するための絶縁部材からなる基板支持部603aと、基板支持部603aの外周に一体に構成された載置部603bとを備えている。載置部603bがヒーター103の基板対向面Pに配設された状態では、基板支持部603aの裏側(ヒーター103と対向する側)とヒーター103の基板対向面Pとの間には隙間d1が、基板504とヒーター103の基板対向面Pとの間には隙間d2がそれぞれ設けられる。隙間d1としては、0.4mm以上が望ましく、隙間d2としては、0.5mm以上が望ましい。
基板保持装置503、603、703の構造は、図5、図6、図7に示すいずれの構造を用いてもよいし、他の構造の基板保持装置を用いてもよい。本実施形態で重要なことは、III族窒化物半導体薄膜の成膜において、基板をヒーターの基板対向面Pから所定距離、離間して配置することである。本実施形態においては、ヒーターの基板対向面Pと基板との間の空間を隙間としているが、この隙間に絶縁部材を充填しても同様の効果が得られると考えられる。従って、基板をヒーターの基板対向面Pから所定距離、離間して配置できる構造であれば、図5〜図7に限らずいずれの構造の基板保持装置を用いても良いのである。例えば、リフトピンの昇降により基板受け渡しを行う機構を有する装置の場合、リフトピンを用いて基板をヒーター103の基板対向面Pから所定の隙間を有する位置に保持してもよい。ただしこの場合、基板の外周のヒーター103との隙間から膜が回り込み、ヒーター103の基板対向面Pに膜が付着して、ヒーター103からの輻射が経時的に変化してしまうので、本実施形態が望ましい形態である。
本発明の第一の実施例として、本発明の一実施形態にかかる、ウルツ鉱構造を有するIII族窒化物半導体薄膜の成膜方法を用いてAlN膜をα−Al2O3(0001)基板上に成膜する例、より詳しくは、基板保持装置によりヒーターの基板対向面との隙間を有して載置したα−Al2O3(0001)基板上にスパッタリング法を用いて、ウルツ鉱構造を有するAlN膜を形成する例について説明する。なお、本実施例において、AlN膜は図1と同様のスパッタリング装置を用いて成膜し、ヒーターの構造は図2、ヒーター電極のパターンは図4A、基板保持装置は図5と同様のものを用いる。また、図5における基板支持部503aとヒーター103の基板対向面Pとの間の隙間d1と基板504とヒーター103の基板対向面Pとの間の隙間d2は、それぞれ、1mm、2mmとする。
なお、検出器をオープンディテクタ状態とした場合が本来のXRC測定であるが、本実施例のように膜厚が薄い試料の場合には、膜厚効果や格子緩和によってXRCプロファイルのFWHMが広がり、モザイク広がりを正しく評価することが困難となる。そのため、近年では上記のように、検出器にアナライザー結晶を挿入した場合も広義のXRC測定として扱われている。以下、特に断らない限り、XRC測定ではオープンディテクタ状態を用いている。
次に、本発明の第二の実施例として、本発明の一実施形態に係るウルツ鉱構造を有するIII族窒化物半導体薄膜の成膜方法を用いて緩衝層としてウルツ鉱構造を有するAlN膜を作製し、その上に、MOCVD法を用いて、アンドープGaN膜を形成する例について説明する。
本発明の第三の実施例として、本発明の一実施形態に係るウルツ鉱構造を有するIII族窒化物半導体薄膜の成膜方法を用いてウルツ鉱構造を有するAlN膜を緩衝層として作製し、その上に、MOCVD法を用いて、アンドープGaNからなるIII族窒化物半導体中間層、SiドープGaNからなるn型III族窒化物半導体層、InGaNとGaNのMQW構造を有するIII族窒化物半導体活性層、MgドープGaNからなるp型III族窒化物半導体層を順次エピタキシャル成長し、更に、n型電極層、透光性電極、p型電極層、保護膜まで形成した後、ウェハーをスクライブにより分離しLED素子を作製した例について説明する。
本発明の第一の比較例として、本発明に特徴的な基板保持装置を用いずヒーター上に接して載置したα−Al2O3(0001)基板上にスパッタリング法を用いてAlN膜を形成する例について説明する。なお、本比較例において、AlN膜は載置方法(α−Al2O3(0001)基板をヒーターから隙間を有して配置すること)を除いて第一の実施例と同一のスパッタリング装置、ヒーター、ヒーター電極を用いる。また、AlN膜の成膜条件も第一の実施例と同一の条件を用いる。
一方、本比較例に係るAlN膜に対するCAICISS測定では、+c極性(Al極性)と−c極性(N極性)が混在した膜であることが示される。
次に、本発明の第二の比較例として、ヒーター上に接して載置したα−Al2O3(0001)基板上にスパッタリング法を用いてAlNからなる緩衝層を形成し、その上に、MOCVD法を用いて、アンドープGaN膜を形成した例について説明する。なお、本比較例において、AlNからなる緩衝層は第一の比較例と同一のスパッタリング装置、ヒーター、ヒーター電極および成膜条件にて成膜を行い、アンドープGaN膜は、第二の実施例と同様の条件にて成膜を行なう。
本発明の第三の比較例として、α−Al2O3(0001)基板をヒーターに接して載置したスパッタリング法によりAlNからなる緩衝層を形成し、その上に、MOCVD法を用いて、アンドープGaNからなるIII族窒化物半導体中間層、SiドープGaNからなるn型III族窒化物半導体層、InGaNとGaNとのMQW構造を有するIII族窒化物半導体活性層、MgドープGaNからなるp型III族窒化物半導体層を順次エピタキシャル成長させ、更に、n型電極層、透光性電極、p型電極層、保護膜まで形成した後、ウェハーをスクライブにより分離しLED素子を作製する例について説明する。なお、AlNからなる緩衝層の成膜方法は第一の比較例と同様であり、MOCVD法を用いて成膜するアンドープGaNからなるIII族窒化物半導体中間層、SiドープGaNからなるn型III族窒化物半導体層、InGaNとGaNとのMQW構造を有するIII族窒化物半導体活性層、MgドープGaNからなるp型III族窒化物半導体層と、その後形成するn型電極層、透光性電極、p型電極層、保護膜の材料や成膜方法、およびその後の、素子化の工程については全て第三の実施例と同様である。
本実施例では、フッ酸処理により表面の自然酸化膜を除去したSi(111)基板を用い、その他は、第一の実施例と同様の方法・条件によってウルツ鉱構造を有するAlN膜を形成する。ただし、本実施例における成膜温度(550℃)は、熱電対を埋め込んだSi(111)基板により、あらかじめ行う基板温度測定の結果に基づいて設定している。
本比較例では、基板をヒーターに接して載置し、その他は、第四の実施例と同様の方法・条件を用いて、Si(111)基板上にAlN膜を形成する。その結果、得られるAlN膜は、+c極性と−c極性の混在したエピタキシャル膜となる。また、得られるAlN膜上にMOCVD法を用いて2μmの膜厚のアンドープGaN膜を形成すると、得られるアンドープGaN膜の表面は白濁している。
本実施例では、ターゲット材料とプロセスガス、成膜温度および膜厚を除いて、第一の実施例と同様の方法・条件によって、ウルツ鉱構造を有するZnO膜をα−Al2O3(0001)基板上に形成する。ターゲット材料は金属Zn、プロセスガスはO2とArの混合ガス(O2/(O2+Ar):25%)、成膜温度は800℃、膜厚は100nmとした。
本比較例では、基板をヒーターに接して載置し、その他は、第五の実施例と同様の方法・条件を用いて、ZnO膜をα−Al2O3(0001)基板上に形成する。本比較例に係るZnO膜は、第五の実施例と同様にc軸配向したエピタキシャル膜として得られるが、その極性は+c極性と−c極性(O極性)とが混在している。また、第五の実施例と同様に、得られるZnO膜を利用してLED素子を作製したが、良好な素子特性を得ることはできない。
Claims (10)
- ヒーターを用いて任意の温度に加熱されたエピタキシャル成長用基板に対して、スパッタリング法によってウルツ鉱構造の半導体薄膜を成長させる成膜方法であって、
前記エピタキシャル成長用基板を、前記ヒーターの基板対向面と所定距離だけ離間して保持する工程と、
前記エピタキシャル成長用基板が、フローティング状態、かつ前記ヒーターの前記基板対向面と前記所定距離だけ離間して保持された状態で、前記エピタキシャル成長用基板上にウルツ鉱構造の半導体薄膜の+c極性のエピタキシャル膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする成膜方法。 - 真空排気可能な真空容器と、
エピタキシャル成長用基板を絶縁した状態で支持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された前記エピタキシャル成長用基板を任意の温度に加熱できるヒーターとを備えた真空処理装置を用いて、前記エピタキシャル成長用基板上にスパッタリング法によりウルツ鉱構造の半導体薄膜のエピタキシャル膜を形成する成膜方法であって、
前記基板保持手段に保持された前記エピタキシャル成長用基板を、前記ヒーターの基板対向面と所定距離だけ離間して保持した状態で、前記エピタキシャル成長用基板上にウルツ鉱構造の半導体薄膜の+c極性のエピタキシャル膜を形成することを特徴とする成膜方法。 - 前記エピタキシャル成長用基板を搬送して、前記エピタキシャル成長用基板を前記ヒーターの基板対向面と前記所定距離だけ離間して保持されるように前記基板保持手段に保持させる基板搬送工程と、
前記基板搬送工程によって前記基板保持手段に保持された前記エピタキシャル成長用基板を、前記ヒーターにより任意の温度に加熱する基板加熱工程と、
前記基板加熱工程によって加熱された前記エピタキシャル成長用基板上に前記+c極性のエピタキシャル膜を形成する成膜工程と
を有することを特徴とする請求項2に記載の成膜方法。 - 前記基板保持手段は、前記エピタキシャル成長用基板の重力方向下側の面に当接した状態で、前記エピタキシャル成長用基板を保持することを特徴とする請求項2に記載の成膜方法。
- 真空排気可能な真空容器と、
エピタキシャル成長用基板を絶縁した状態で支持するための基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された前記エピタキシャル成長用基板を任意の温度に加熱できるヒーターと、
前記真空容器内に設けられ、ターゲットを取り付けることが可能なターゲット電極とを備え、
前記基板保持手段は、前記真空容器内において、前記ターゲット電極の重力方向下側に設けられており、
前記ヒーターを用いて任意の温度に加熱された前記エピタキシャル成長用基板上にウルツ鉱構造の半導体薄膜の+c極性のエピタキシャル膜をスパッタリング法によってエピタキシャル成長させる真空処理装置であって、
前記エピタキシャル成長用基板を前記ヒーターの基板対向面と所定距離だけ離間して保持することを特徴とする真空処理装置。 - 前記基板保持手段は、成膜時に、前記エピタキシャル成長用基板の外縁部分を重力方向下側から支持するように構成されている基板支持部と、該基板支持部と一体に形成され、前記ヒーターに接して配設される載置部とを有し、
前記載置部を前記ヒーターに接して配設した際に、前記基板支持部は前記ヒーターの基板対向面と第2の所定距離だけ離間して配置されていることを特徴とする請求項5に記載の真空処理装置。 - 前記基板支持部は、前記エピタキシャル成長用基板の外縁部分を支持するように構成されたリング状の絶縁部材であることを特徴とする請求項6に記載の真空処理装置。
- 前記リング状の絶縁部材の外周部分を支持するリング状の導電材をさらに備え、
前記リング状の導電材には高周波電力が印加されることを特徴とする請求項7に記載の真空処理装置。 - 請求項1に記載された成膜方法を有することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
- 請求項2に記載された成膜方法を有することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013540651A JP5819978B2 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011236689 | 2011-10-28 | ||
JP2011236689 | 2011-10-28 | ||
JP2013540651A JP5819978B2 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 |
PCT/JP2012/006769 WO2013061572A1 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013061572A1 JPWO2013061572A1 (ja) | 2015-04-02 |
JP5819978B2 true JP5819978B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=48167425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013540651A Active JP5819978B2 (ja) | 2011-10-28 | 2012-10-23 | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9309606B2 (ja) |
JP (1) | JP5819978B2 (ja) |
KR (1) | KR101590496B1 (ja) |
CN (1) | CN103918060B (ja) |
DE (1) | DE112012004463T5 (ja) |
TW (1) | TWI505498B (ja) |
WO (1) | WO2013061572A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101484658B1 (ko) * | 2010-04-30 | 2015-01-21 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 에피텍셜 박막형성방법, 진공처리장치, 반도체 발광소자 제조방법, 반도체 발광소자, 및 조명장치 |
KR101650353B1 (ko) | 2012-06-26 | 2016-08-23 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 에피택셜막 형성 방법, 스퍼터링 장치, 반도체 발광 소자의 제조 방법, 반도체 발광 소자, 및 조명 장치 |
CN105190842B (zh) | 2013-03-14 | 2017-07-28 | 佳能安内华股份有限公司 | 成膜方法、半导体发光元件的制造方法、半导体发光元件和照明装置 |
WO2016017047A1 (ja) * | 2014-07-28 | 2016-02-04 | キヤノンアネルバ株式会社 | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、半導体電子素子の製造方法、半導体電子素子、照明装置 |
JP6112089B2 (ja) | 2014-09-17 | 2017-04-12 | カシオ計算機株式会社 | 加熱装置、加熱方法、及び、立体形成システム |
JP6375890B2 (ja) | 2014-11-18 | 2018-08-22 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体素子及びその製造方法 |
JP6724687B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2020-07-15 | 日亜化学工業株式会社 | ナノロッドの形成方法及び半導体素子の製造方法 |
JP6186067B1 (ja) * | 2016-12-13 | 2017-08-23 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体結晶膜の成膜方法および圧電体結晶膜成膜用トレイ |
US20240040672A1 (en) * | 2022-07-27 | 2024-02-01 | Applied Materials, Inc. | Transparent heaters for improved epitaxy reactor productivity |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3545123B2 (ja) * | 1996-01-26 | 2004-07-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ウエハ加熱器用成膜防護具 |
JP2000022205A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Tdk Corp | 半導体発光素子 |
JP2002020884A (ja) * | 2000-07-04 | 2002-01-23 | Canon Inc | 酸化亜鉛積層薄膜体およびその製造方法 |
JP3947443B2 (ja) | 2002-08-30 | 2007-07-18 | Tdk株式会社 | 電子デバイス用基板および電子デバイス |
JP4428105B2 (ja) * | 2004-03-23 | 2010-03-10 | 日立金属株式会社 | 化合物膜の製造方法および化合物半導体素子の製造方法 |
JP4712450B2 (ja) | 2004-06-29 | 2011-06-29 | 日本碍子株式会社 | AlN結晶の表面平坦性改善方法 |
JP4792802B2 (ja) | 2005-04-26 | 2011-10-12 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶の表面処理方法 |
JP2008109084A (ja) | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物化合物半導体発光素子の製造方法、及びiii族窒化物化合物半導体発光素子、並びにランプ |
JP5300345B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2013-09-25 | キヤノン株式会社 | 発光膜、発光素子およびその製造方法 |
JPWO2009084441A1 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-05-19 | 株式会社アルバック | 透明導電膜の成膜方法及び成膜装置 |
WO2009096270A1 (ja) | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Canon Anelva Corporation | AlNヘテロエピタキシャル結晶体とその製造方法、該結晶体を用いてなるIII族窒化物膜用下地基板、発光素子、表面弾性波デバイス、及びスパッタリング装置 |
WO2009110187A1 (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | パナソニック株式会社 | 発光素子 |
TWM373005U (en) * | 2009-06-26 | 2010-01-21 | Sino American Silicon Prod Inc | Gallium-nitride LED structure |
JP5648289B2 (ja) * | 2010-01-14 | 2015-01-07 | 豊田合成株式会社 | スパッタリング装置および半導体発光素子の製造方法 |
KR101484658B1 (ko) | 2010-04-30 | 2015-01-21 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 에피텍셜 박막형성방법, 진공처리장치, 반도체 발광소자 제조방법, 반도체 발광소자, 및 조명장치 |
KR101564251B1 (ko) | 2010-12-27 | 2015-10-29 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 에피텍셜 막 형성방법, 스퍼터링 장치, 반도체 발광소자 제조방법, 반도체 발광소자, 및 조명장치 |
-
2012
- 2012-10-23 DE DE112012004463.0T patent/DE112012004463T5/de active Pending
- 2012-10-23 CN CN201280053158.4A patent/CN103918060B/zh active Active
- 2012-10-23 KR KR1020147013787A patent/KR101590496B1/ko active IP Right Grant
- 2012-10-23 WO PCT/JP2012/006769 patent/WO2013061572A1/ja active Application Filing
- 2012-10-23 JP JP2013540651A patent/JP5819978B2/ja active Active
- 2012-10-26 TW TW101139723A patent/TWI505498B/zh active
-
2014
- 2014-04-15 US US14/253,169 patent/US9309606B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9309606B2 (en) | 2016-04-12 |
CN103918060A (zh) | 2014-07-09 |
KR101590496B1 (ko) | 2016-02-01 |
WO2013061572A1 (ja) | 2013-05-02 |
KR20140079507A (ko) | 2014-06-26 |
US20140225154A1 (en) | 2014-08-14 |
TWI505498B (zh) | 2015-10-21 |
JPWO2013061572A1 (ja) | 2015-04-02 |
CN103918060B (zh) | 2016-11-02 |
TW201340379A (zh) | 2013-10-01 |
DE112012004463T5 (de) | 2014-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5444460B2 (ja) | エピタキシャル膜形成方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 | |
JP5819978B2 (ja) | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 | |
JP5886426B2 (ja) | エピタキシャル膜形成方法、スパッタリング装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、および照明装置 | |
US10844470B2 (en) | Epitaxial film forming method, sputtering apparatus, manufacturing method of semiconductor light-emitting element, semiconductor light-emitting element, and illumination device | |
KR101799330B1 (ko) | 성막 방법, 반도체 발광 소자의 제조 방법, 반도체 발광 소자, 조명 장치 | |
JP6196384B2 (ja) | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、半導体電子素子の製造方法、半導体電子素子、照明装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150625 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20150818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150915 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5819978 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |