JP5795095B2 - 重み付けを用いた格子画像の位相解析方法 - Google Patents
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よって、格子ピッチが大きく変化するような大変形している格子に対しても、重み付け位相解析法を用いた位相解析は、サンプリングモアレ法に比べて位相解析誤差が小さくなるので、精度よく位相解析が可能となる。
本願の請求項1に係る発明は、注目点を起点にして、注目点とその周辺の微小領域に含まれる各画素の画素値から求められる注目点の位相値を、解析領域を微小領域内で複数回変化させることにより、注目点の複素数値を複数個の解析領域でそれぞれ求め、得られた複数個の複素数値に対し、微小領域に含まれる各画素の位置に応じた重みを前記複数個の複素数値の実部と虚部にかけて積算し、さらに得られた複素数値の偏角を求めることで注目点の位相値を求める方法である。
請求項2に係る発明は、注目点を起点として、注目点の周辺の微小領域に含まれる各画素の画素値に、それぞれの画素の位置に応じた重みと、それぞれの画素の位置に応じた複素数値を掛け合わせ、それらを積算して得られた複素数値の偏角として注目点の位相値を求める方法である。
請求項3に係る発明は、2次元格子画像において、縦方向と横方向の位相値を複数個求め、請求項1または請求項2に係る位相値を求める方法を適用して、注目点の縦方向と横方向の位相値を求める、2次元格子の位相分布を求める方法である。
1.位相シフト法による格子の位相解析
位相シフト法とは、格子1周期の輝度情報から、その格子の位相を求めることができる手法である。格子画像が撮影された場合、位相シフト法を用いて位相解析することで、その格子の位相分布を求めることができる。
ここで、x軸方向に1画素ごと変化すると位相が1回位相シフトすると考えると、sはx軸方向の座標の変化と対応して変化しているため、sは座標(x,y)からのx方向への位相シフト回数と考えることができる。つまり、座標(x,y)からx軸方向に位相シフトしていると考えたとき、座標(x,y)の位相シフト回数nは0回となり、座標(x+s,y)における位相シフト回数nはs回となる。
重み付け位相解析法とは、注目画素の周辺画素に対して重み付けを行い、位相シフト法の原理を利用した計算式から、高精度に位相解析することができる手法である。
数8式のnの範囲を0≦n≦N−1と定義した場合における位相解析について説明する。nの範囲が0≦n≦N−1の場合は、数8式の位相算出パターンはN通り考えることができ、その場合の数8式は数17式で表される。
nの範囲が0≦n≦N−1の場合における、図7と図9の画素への重み付け関数は、余弦波状に似た分布になることから、重み付け位相解析法では一般的に、数24式に示す余弦波の重み付け関数を用いて位相解析を行う。また、数25式に数24式の重み付け関数を用いた重み付け位相解析法による位相算出式を示す。数25式はハニング窓を用いた窓関数付フーリエ変換の周波数2の位相算出式と同じ計算式となる。
数25式を用いた重み付け位相解析法の位相解析精度のシミュレーションをおこなった。位相解析精度の精度評価の方法について説明する。まず、図10(a)に示すコンピュータで作成した200×200[pixel]、格子間ピッチ10[pixel]の理想的な2次元矩形波格子画像に対して、縦方向に20[pixel]の領域の平滑化処理を行い、図10(b)に示す、x方向格子画像の作成を行った。その後、x方向格子画像に対して、重み付け位相解析法(数25式)と線形補間を用いたサンプリングモアレ法(数21式)それぞれで位相解析を行った。位相解析は、解析パラメータである格子1ピッチの間隔N(サンプリングモアレ法の場合は間引き間隔)を6〜19[pixel]に変化させて、x方向格子の位相解析を重み付け位相解析法とサンプリングモアレ法を用いて行った。
図10(d)の座標(95,100)〜(104,100)のサンプリングモアレ法と重み付け位相解析法の位相解析結果の位相解析誤差と解析格子ピッチの関係を表にまとめたものを図11に示し、位相解析誤差の標準偏差と解析格子ピッチの関係をグラフにしたものを図12に示す。また、解析格子ピッチNが8〜12[pixel]であった場合のサンプリングモアレ法の位相解析誤差のグラフを図13に示し、重み付け位相解析法の位相解析誤差のグラフを図14に示す。
2次元格子シートを貼付した移動ステージを用いた変位量計測実験をおこなった。実験環境の風景と装置の位置関係を図15に示す。移動ステージに変位を与える際に、Mitutoyo社製のマイクロメーターを、カメラは、画像サイズ640×480[pixel]のDragonflyExpressを使用した。また、2次元格子シートには4.0[mm]ピッチの2次元矩形波格子を使用した。
計測結果をグラフにしたもので、重み付け位相解析法を用いた場合を図17に、サンプリングモアレ法を用いた場合を図18に示す。また、図19に、移動ステージに0.5[mm]の変位を与えた場合の変位量計測結果に対して、計測結果のx方向21[pixel]の標準偏差の計算を行い、グラフにしたものを示す。
また、格子ピッチは位相分布から数31式を用いて計算することができる。撮影されたx方向格子のピッチを位相分布から計算した結果をグラフにしたものを図20に示す。
重み付け位相解析法は従来手法であるサンプリングモアレ法に比べ、解析格子ピッチと実際のピッチが大きく異なる場合でも、位相解析誤差が少ない手法であることが、シミュレーションによる解析結果と変位量計測実験の計測結果から確認できた。
上述したように、本願発明により、格子画像の位相解析に要する時間が短縮される、格子画像の位相解析の解析精度が向上する、FPGAで解析する場合に、容量が小さくて済むために、安価なものを利用することができる。格子画像を用いた三次元計測、変位計測、ひずみ計測の計測精度が向上する。
Claims (3)
- 注目点を起点にして、注目点とその周辺の微小領域に含まれる各画素の画素値から求められる注目点の位相値を、解析領域を微小領域内で複数回変化させることにより、注目点の複素数値を複数個の解析領域でそれぞれ求め、得られた複数個の複素数値に対し、微小領域に含まれる各画素の位置に応じた重みを前記複数個の複素数値の実部と虚部にかけて積算し、さらに得られた複素数値の偏角を求めることで注目点の位相値を求める方法。
- 注目点を起点として、注目点の周辺の微小領域に含まれる各画素の画素値に、それぞれの画素の位置に応じた重みと、それぞれの画素の位置に応じた複素数値を掛け合わせ、それらを積算して得られた複素数値の偏角として注目点の位相値を求める方法。
- 2次元格子画像において、縦方向と横方向の位相値を複数個求め、請求項1または請求項2に係る位相値を求める方法を適用して、注目点の縦方向と横方向の位相値を求める、2次元格子の位相分布を求める方法。
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