JP5783236B2 - センサ素子モジュール - Google Patents
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- 開口部を有した絶縁層である第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の前記開口部上を含むように該第1の絶縁層に対して積層状に位置した絶縁層である第2の絶縁層と、
前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層との間に挟設された導電体パターンと、
機能面を有し、該機能面が前記第1の絶縁層の前記開口部からのぞくようにかつ該機能面を除き前記第2の絶縁層に空隙なく覆われるように前記第2の絶縁層中に埋め込まれて位置する、前記導電体パターン上に突起電極を介してフリップ接続されたセンサ素子チップと、
前記突起電極を内部に含むように、前記センサ素子チップと前記第1の絶縁層との間に設けられた接着樹脂と、を具備し、
前記第2の絶縁層が、前記センサ素子チップの前記機能面とは反対の側の面に対向して補強材を含有する絶縁層であること
を特徴とするセンサ素子モジュール。 - 前記第2の絶縁層が、前記センサ素子チップが位置する水準の平面図における位置として、前記センサ素子チップが埋め込まれた領域を除き該領域以外の領域に第2の補強材を含有することを特徴とする請求項1記載のセンサ素子モジュール。
- 前記第2の絶縁層の前記補強材と前記第2の補強材との間には、配線層が設けられていないことを特徴とする請求項2記載のセンサ素子モジュール。
- 前記第2の絶縁層の、前記第1の絶縁層に対向する側とは反対の側の面上に設けられた第2の導電体パターンと、
前記第2の絶縁層を貫通して前記導電体パターンの面と前記第2の導電体パターンの面との間に挟設され、かつ導電性組成物からなり、かつ貫通方向に一致する軸を有し該軸の方向に径が変化している形状である層間接続体と
をさらに具備することを特徴とする請求項1記載のセンサ素子モジュール。 - 前記層間接続体が、前記導電体パターンの側より前記第2の導電体パターンの側でより太いことを特徴とする請求項4記載のセンサ素子モジュール。
- 前記第2の絶縁層の前記補強材と前記第2の補強材との間に設けられた配線層をさらに具備することを特徴とする請求項2記載のセンサ素子モジュール。
- 前記センサ素子チップが、固体撮像素子チップであり、該センサ素子チップの前記機能面に受光部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のセンサ素子モジュール。
- 前記固体撮像素子チップの前記受光部に対向して設けられたレンズを含むレンズユニットをさらに具備することを特徴とする請求項4記載のセンサ素子モジュール。
- 前記センサ素子チップが、圧電変換素子チップまたはMEMSチップであることを特徴とする請求項1記載のセンサ素子モジュール。
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