JP5780593B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態の超音波洗浄装置を説明する図であり、図2は、第1の実施形態の超音波洗浄装置の変形例を説明する図である。
図3は、本発明の第2の実施形態の超音波洗浄装置を説明する図である。
4 第一の供給口
5 第一の排出口
6 筐体
7 超音波振動子
8 第二の供給口
9 第二の排出口
10 第一の洗浄液供給経路
11 第二の洗浄液供給経路
13、14、15 超音波洗浄装置
16 第一の洗浄液供給ノズル
17 第二の洗浄液供給ノズル
18 基板ホルダー
19 第一の洗浄液
20 第二の洗浄液
54 第一の供給部
55 第一の排出部
58 第二の供給部
59 第二の排出部
Claims (4)
- 被洗浄物の一面に超微細気泡を含有するナノバブル水である第一の洗浄液を供給する第一の洗浄液供給経路と、前記被洗浄物の他面に微細気泡を含有しない第二の洗浄液を供給する第二の洗浄液供給経路と、前記被洗浄物の他面側から前記被洗浄物を通して前記第一の洗浄液と接する前記被洗浄物の一面に超音波を付与する超音波振動子とを有し、
前記超音波が前記第一の洗浄液の気泡によって減衰することなく前記第一の洗浄液と前記被洗浄物の界面に伝わるようにしたことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 請求項1に記載の超音波洗浄装置において、前記第二の洗浄液が脱気水であることを特徴とする超音波洗浄装置。
- 請求項1または請求項2に記載の超音波洗浄装置において、前記第一の洗浄液供給経路と前記第二の洗浄液供給経路とが前記被洗浄物によって分離されていて、超音波照射領域において、第一の洗浄液と第二の洗浄液とが混合しないことを特徴とする超音波洗浄装置。
- 請求項3に記載の超音波洗浄装置において、前記第一の洗浄液供給経路および第二の洗浄液供給経路に、それぞれの洗浄液の供給口および排出口が設けられて、それぞれの洗浄液供給経路内の圧力調整機構を有することを特徴とする超音波洗浄装置。
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