JP2009011879A - 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽5と、前記外槽5の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽3からなると洗浄槽とを備え、前記内槽の底板3aは、超音波振動数の2分の1波長(半波長)の整数倍の板厚を有し、前記内槽の底板3aと前記外槽の底板5aとが平行とならないように前記内槽の底板3aを傾斜するように配置する。
【選択図】 図1
Description
t=n×λ/2・・・式(1)
で表される。
3 内槽
3a 内槽の底板
5 外槽
5a 外槽の底板
7 振動板
9 振動子
11 発振器
13 発振部
15 パワーアンプ
w 被洗浄物(ウエハ)
Claims (10)
- 超音波振動により被洗物を洗浄する超音波洗浄装置であって、
超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、
前記超音波振動発生手段が装着され、前記超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽と、前記外槽の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽とからなる洗浄槽とを備え、
前記内槽の底板は、超音波振動数の2分の1波長(半波長)の整数倍の板厚を有し、
前記内槽の底板と前記外槽の底板とが平行とならないように前記内槽の底板を傾斜するように配置したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記超音波振動数は、900KHz(キロヘルツ)以上であることを特徴とする請求項1記載の超音波洗浄装置。
- 前記内槽の底板は、超音波振動数の半波長の3から5の整数倍の板厚を有することを特徴とする請求項1又は2記載の超音波洗浄装置。
- 前記内槽の底板の傾斜の角度は、1°以上10°以内であることを特徴とする請求項1乃至3記載の超音波洗浄装置。
- 前記内槽の底板は、超音波振動の2次的音源として作用するように構成したことを特徴とする請求項1乃至4記載の超音波洗浄装置。
- 超音波振動により被洗物を洗浄する超音波洗浄方法であって、
超音波振動を発生する超音波振動発生手段と、
前記超音波振動発生手段が装着され、前記超音波振動を伝達する伝達媒体を貯留するための外槽と、前記外槽の内部に配置され、内部に貯留される洗浄液内に浸漬される前記被洗浄物を、前記伝達媒体を介して伝達される超音波振動により洗浄するための内槽とからなる洗浄槽とを備え、
前記内槽の底板は、超音波振動数の2分の1波長(半波長)の整数倍の板厚を有し、
前記内槽の底板と前記外槽の底板とが平行とならないように前記内槽の底板を傾斜するように配置したことを特徴とする超音波洗浄方法。 - 前記超音波振動数は、900KHz以上であることを特徴とする請求項6記載の超音波洗浄方法。
- 前記内槽の底板は、超音波振動数の半波長の3から5の整数倍の板厚を有することを特徴とする請求項6又は7記載の超音波洗浄方法。
- 前記内槽の傾斜の角度は、1°以上10°以内であることを特徴とする請求項6乃至8記載の超音波洗浄方法。
- 前記内槽の底板は、超音波振動の2次的音源として作用するように構成したことを特徴とする請求項6乃至9記載の超音波洗浄方法。
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