JP5169264B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
被洗浄物上に配置される円柱形状の振動体と、
前記振動体の側面を囲う円筒形状を有し、前記被洗浄物上に吐出された前記洗浄液が、前記振動体の中心軸方向に流れる第1の流れと、前記第1の流れと逆向きに流れる第2の流れとに分流するように、前記洗浄液を通過させる流路と、
前記振動体中に前記振動体の中心軸を含む領域に形成され、前記第1の流れを形成する前記洗浄液を回収する通路と、
を備えたことを特徴とする洗浄装置。
被洗浄物を支持する支持体と、
前記流路と前記被洗浄物とが第1の間隔をもって対向するように位置決めする移動手段とを更に備えたことを特徴とする。
前記通路と前記被洗浄物とは、前記第1の間隔よりも大きい第2の間隔をもって対向することを特徴とする。
前記通路は、吸引手段に接続されてなることを特徴とする。
図1に、本発明の一実施形態になる、超音波振動をウエハ表面に接する洗浄液を介して伝播するための振動体とその外囲材、および洗浄液の流路の基本的構成を説明するための断面模式図を示す。
図4に、本発明の第二の実施例になる、超音波振動をウエハ1の表面に接する洗浄液を介して伝播するための振動体2とその外囲材3、および洗浄液の流路の基本的構成を説明するための断面模式図を示す。本実施例と第一の実施例(図1参照)との相違は、通路5を有する円柱状の振動体2の下側円面とウエハ2との間隙、すなわち振動体間隙4−1の間隙距離S1と、外囲体3の下側面とウエハ2との間隙、すなわち外囲体間隙4−2の間隙距離S2とが異なり、S2をS1より小さくしている点にある。言い換えると、こうすることによって、洗浄液の供給経路であるギャップ6からの方向Aの流れのうち、外囲体の下側面からの方向Cへ流れ出す洗浄液の流量をより少なくし、より多くの部分が方向Bの流れとなり、そして吸収経路である通路5を通る方向Dの流れとなるようにする。その結果、振動体2の直下で生じた浮遊異物を含む洗浄液が方向Cの流れに混じって外に流出するのをより困難にし、かつ通路5からの吸い上げ流量を多くして、吸い上げを容易にするといった効果を期待できる。
図5は、本発明の第三の実施例になる、振動体2及び外囲体3の構成体の下面模式図である。第一の実施例(図2参照)と異なる点は、振動体2の下側円面のウエハに面する箇所に、吸収経路である円柱中心を通る通路5の開口部から放射状に伸びる複数(この例では8本)の溝、すなわち振動体溝16を設けたことである。こうすることで、第二の実施例と同様に、多くの異物を含む、振動体2の直下における洗浄液の方向Bの流れを、通路5を通って方向Dの流れとして吸引する流量をより多くし、外部に流出させるのを容易にすることが可能となる。異物が浮遊する洗浄液(図1における方向Bの流れの洗浄液)は、滞留してウエハ表面に再付着すること無くなり、洗浄時間の短縮に有効に作用することが期待できる。勿論、第二の実施例と第三の実施例とを併用する構成にしても構わない。
2 振動体
3 外囲体
4 間隙
5 通路
6 ギャップ
7 洗浄液
8 超音波振動子
9 供給管
10 吸引管
11 アーム支持軸
12 洗浄アーム
13 クランプ
14 ウエハ回転支持軸
15 ウエハ支持テーブル
16 振動体溝
101 超音波ノズル
102 ウエハ
103 洗浄液
104 超音波照射領域
105 振動体
106 超音波振動子
107 振動体支持手段
108 洗浄液ノズル
Claims (4)
- 被洗浄物上に配置される円柱形状の振動体と、
前記振動体の側面を囲う円筒形状を有し、前記被洗浄物上に吐出された前記洗浄液が、前記振動体の中心軸方向に流れる第1の流れと、前記第1の流れと逆向きに流れる第2の流れとに分流するように、前記洗浄液を通過させる流路と、
前記振動体中に前記振動体の中心軸を含む領域に形成され、前記第1の流れを形成する前記洗浄液を回収する通路と、
を備えたことを特徴とする洗浄装置。 - 被洗浄物を支持する支持体と、
前記流路と前記被洗浄物とが第1の間隔をもって対向するように位置決めする移動手段とを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 前記通路と前記被洗浄物とは、前記第1の間隔よりも大きい第2の間隔をもって対向することを特徴とする請求項1ないし2のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記通路は、吸引手段に接続されてなることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の洗浄装置。
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JP2008023994A JP5169264B2 (ja) | 2008-02-04 | 2008-02-04 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008023994A JP5169264B2 (ja) | 2008-02-04 | 2008-02-04 | 洗浄装置 |
Publications (2)
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JP5169264B2 true JP5169264B2 (ja) | 2013-03-27 |
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