JP5775765B2 - 光偏向器 - Google Patents
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Description
まず、図1〜図4を参照しながら第一の実施形態の光偏向器の構成について説明する。図1は、第一の実施形態の光偏向器の分解斜視図である。図2は、図1に示された光偏向器の平面図である。図3は、図1に示された光偏向器のA−A線に沿った接合断面を示している。図4は、図1に示された光偏向器の複合トーションバーの拡大斜視図である。
図13と図14を参照しながら第一の実施形態の第一の変形例の光偏向器について説明する。図13は、第一の実施形態の第一の変形例の光偏向器の分解斜視図である。図14は、図13に示された光偏向器のB−B線に沿った接合断面を示している。
図15と図16を参照しながら第一の実施形態の第二の変形例の光偏向器について説明する。図15は、第一の実施形態の第二の変形例の光偏向器の分解斜視図である。図16は、図15に示された光偏向器のC−C線に沿った接合断面を示している。
図17を参照しながら第一の実施形態の第三の変形例の光偏向器について説明する。図17は、第一の実施形態の第三の変形例の光偏向器の斜視図である。
図18を参照しながら第一の実施形態の第四の変形例の光偏向器について説明する。図18は、第一の実施形態の第四の変形例の光偏向器の斜視図である。
図19を参照しながら第一の実施形態の第五の変形例の光偏向器について説明する。図19は、第一の実施形態の第五の変形例の光偏向器の斜視図である。
図20を参照しながら第一の実施形態の第六の変形例の光偏向器について説明する。図20は、第一の実施形態の第六の変形例の光偏向器の斜視図である。
図21を参照しながら第一の実施形態の第七の変形例の光偏向器について説明する。図21は、第一の実施形態の第七の変形例の光偏向器の斜視図である。
次に図22を参照しながら第二の実施形態について説明する。この第二の実施形態は、第一の実施形態の複合トーションバーに代えて適用可能な別の複合トーションバーに向けられている。図22は、第二の実施形態による一つの複合トーションバーの平面図である。
次に図23を参照しながら第三の実施形態について説明する。この第三の実施形態は、第一の実施形態の複合トーションバーに代えて適用可能な別のトーションバーに向けられている。図23は、第三の実施形態による一つの複合トーションバーの平面図である。
Claims (10)
- ミラー面を有する可動部と、
固定部と、
前記可動部が前記固定部に対して回転軸の周りに回転変位し得るように前記可動部と前記固定部を接続している一対の複合トーションバーと、
前記可動部を駆動するための駆動手段とを備え、
各複合トーションバーは、前記回転軸に平行に延びた複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成され、前記複数のトーションバーは、前記回転軸に近いトーションバーよりも前記回転軸から遠いトーションバーの方が高いねじり剛性を有している光偏向器。 - 前記各複合トーションバーは、前記複数のトーションバーの整列方向に並んだ三つの領域を有し、前記三つの領域は、中央に位置する中央領域と、前記中央領域の両側に対称的に配置された一対の領域からなり、端に位置する二つの領域内のトーションバーは、中央に位置する領域内のトーションバーよりも高いねじり剛性を有している請求項1に記載の光偏向器。
- 前記複数のトーションバーは、前記回転軸から遠いものほど高いねじり剛性を有している請求項1に記載の光偏向器。
- 前記各複合トーションバーは、前記複数のトーションバーの整列方向に並んだ奇数の複数の領域を有し、前記奇数の複数の領域は、中央に位置する中央領域と、前記中央領域の両側に対称的に配置された複数対の側方領域からなり、各領域内のトーションバーはそれぞれ互いに等しいねじり剛性を有し、前記中央領域内のトーションバーが最も低いねじり剛性を有し、前記中央領域から遠い側方領域内のトーションバーほど高いねじり剛性を有している請求項1に記載の光偏向器。
- 各トーションバーのねじり剛性は、各トーションバーの幅で調整されている請求項1〜4のいずれかひとつに記載の光偏向器。
- ミラー面を有する可動部と、
可動支持部と、
固定部と、
前記可動部が前記可動支持部に対して第一の回転軸の周りに回転変位し得るように前記可動部と前記可動支持部を接続している一対の第一の複合トーションバーと、
前記可動支持部が前記固定部に対して第二の回転軸の周りに回転変位し得るように前記可動支持部と前記固定部を接続している一対の第二の複合トーションバーと、
前記可動部を駆動するための駆動手段とを備え、
前記第一と第二の複合トーションバーのおのおのは、それぞれ、前記第一と第二の回転軸に平行に延びた複数のトーションバーと、隣接する各二つのトーションバーの一端を互いに連結している複数の連結バーで構成され、前記複数のトーションバーは、前記回転軸に近いトーションバーよりも前記回転軸から遠いトーションバーの方が高いねじり剛性を有している光偏向器。 - 前記駆動手段は、静電力を用いて前記可動部を駆動する請求項1〜6のいずれかひとつに記載の光偏向器。
- 前記駆動手段は固定電極を備えており、
前記固定電極は、前記可動部の側面方向から見て、前記可動部から間隔をおいて配置され、
前記固定電極は、前記可動部の正面方向から見て、可動部と重なる位置に配置されている請求項7に記載の光偏向器。 - 前記駆動手段は固定電極を備えており、
前記固定電極は、前記可動部の正面方向から見て、前記可動部と重ならない位置に配置されている請求項7に記載の光偏向器。 - 前記駆動手段は固定電極を備えており、
前記第一の回転軸と前記第二の回転軸の少なくとも一方の周りに回転させるための固定電極は、前記可動部の正面方向から見て、可動部と重ならない位置に配置されている請求項6に記載の光偏向器。
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