JP5772256B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る弾性波装置の部分切欠略図的斜視図である。図2は、図1の線II−IIにおける略図的断面図である。
図10は、第2の実施形態における空洞部とIDT電極との模式的平面図である。なお、図10及び下記の図11〜図15において、電極指12a2,12b2は描画を省略している。
図11は、第3の実施形態における空洞部とIDT電極との模式的平面図である。
図12は、第4の実施形態における空洞部とIDT電極との模式的平面図である。図13は、第5の実施形態における空洞部とIDT電極との模式的平面図である。
図14は、第6の実施形態における空洞部とIDT電極との模式的平面図である。
図15は、第7の実施形態における空洞部とIDT電極との模式的平面図である。なお、第7の実施形態においては、図1及び図2を第1の実施形態と共通に参照する。
図16は、第1の変形例における空洞部の一部分を表す模式的断面図である。図17は、第2の変形例における空洞部の一部分を表す模式的断面図である。図18は、第3の変形例における空洞部の一部分を表す模式的断面図である。具体的には、図16〜図18は、図9のA部分に対応する部分の模式的断面図である。第1〜第3の変形例は、上記第1〜第7の実施形態のいずれにも適用可能なものである。
10…支持体
10a…空洞部
10a1〜10a6…端縁部
10b…主面
11…圧電基板
12…IDT電極
12a、12b…くし歯状電極
12a1,12b1…バスバー
12a2,12b2…電極指
13,14…反射器
Claims (7)
- 空洞部が形成された支持体と、
前記支持体の上に前記空洞部と重なるように設けられている圧電基板と、
前記圧電基板の上に前記空洞部と重なるように設けられているIDT電極と、
を備え、
前記IDT電極により板波が励振される弾性波装置であって、
前記空洞部の端縁部は、前記IDT電極により励振される板波の伝搬方向と平行に延びる直線部を含まない、弾性波装置。 - 前記空洞部の前記板波の伝搬方向と垂直な交差幅方向における幅の最大値が前記IDT電極の電極指ピッチにより定められる波長の50倍以下である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極は、バスバーと、前記バスバーから前記板波の伝搬方向と垂直な交差幅方向に沿って延びる複数の電極指とを有し、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極を備え、
前記空洞部の辺縁の少なくとも一部が前記バスバーと重なるように設けられている、請求項1または2に記載の弾性波装置。 - 前記空洞部は、前記複数の電極指が設けられた領域の少なくとも一部が前記空洞部の辺縁部と重なるように設けられている、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記空洞部の端縁部は、複数の凹凸を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極は、バスバーと、前記バスバーから前記板波の伝搬方向と垂直な交差幅方向に沿って延びる複数の電極指とを有し、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極を備え、
前記バスバーは、前記板波の伝搬方向と傾斜した方向に延びる部分を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波装置。 - 前記バスバーは、前記板波の伝搬方向と平行に延びる直線部を含まない、請求項6に記載の弾性波装置。
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